sem 簡易マニュアル1 sem 簡易マニュアル 2010.03.24 圓山・小宮研究室 内線5244...
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SEM 簡易マニュアル
2010.03.24 圓山・小宮研究室 内線 5244
フローチャート 1. SEM 本体とパソコンの電源を入れる。
2. 本体にあるバキュームスイッチを 2 秒ほど押し、観察室を大気圧にする。（ランプがオ
レンジになる。）
3. パソコンの SEM 用ソフト「VE シリーズ観察アプリケーション」を起動する。
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4. オート観察 1 をクリックする。（試料セット方法はクリック後示されるフローチャート
参照）
5. 準備していた試料（p.7 参照）を入れる。（試料セット方法は画面で示されるフローチャ
ート参照）
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6. バキュームスイッチを 2 秒ほど押し、観察室を真空にする。（ランプが青色になる。）
7. 観察開始をクリックする。
8. キャンセルをクリックする。（カメラ撮影の必要があればフローチャートに従う。）
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9. 試料の分類を行い、「次へ」をクリック。
10. 位置と倍率を決め、「次へ」をクリック。（フルオートをクリックすると画像調整が簡易
で行える。）
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11. e プレビューを行う。（最適加速電圧を簡易で検討可能）
12. 四種の条件の中から最適画像を選択し、「次へ」をクリック後、観察を行う。
13. [撮影／保存]をクリックし、画像を撮影する。継続して画像を撮りたいときは[静止／解
除]をクリックし、観察を行う。
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14. アルバムにて画像を取得する。
※ 使用者は研究室名を記載したフォルダ内に自己の名前のフォルダを作成後、一時保存フ
ォルダから画像を移動すること。
15. メニューに戻り、アプリケーションを終了し、パソコンの電源を切る。
16. 本体のバキュームスイッチを 2 秒ほど押し、観察室を大気圧にする。（オレンジランプ
の点灯を確認後、20 秒程度待つ。）
17. 試料を取り出し、扉をしめ、バキュームスイッチを 2 秒ほど押し、観察室を真空にする。
18. 真空ポンプ作動後、（青いランプ点滅後）10 秒ほど待ち、本体の電源を切る。
19. 試料台からカーボンテープを取り除き、元の位置に戻す。
※ 次の人を考えて掃除を行う。
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計測 画像の対象の測定を行う際には、計測をクリックする。
試料作製 1. 試料台にカーボンテープを貼る。
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2. 試料を乗せ、固定する。
3. 試料台ホルダに試料台を固定する。試料台ホルダと試料の観察面の高さを合わせる。
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4. 試料台ホルダをステージに固定する。