ti tán alapú implantátumok optimalizálása porlasztott vékonyrétegek segítségével

9
Ti Ti tán tán alapú implantátumok alapú implantátumok optimalizálása optimalizálása porlasztott vékonyrétegek porlasztott vékonyrétegek segítségével segítségével Készítette: Dénes Karin (Ipolyság) és Patyi Gábor Készítette: Dénes Karin (Ipolyság) és Patyi Gábor (Szabadka) (Szabadka) Tanára: dr. Balázsi Katalin és Oláh Nikolett, Tanára: dr. Balázsi Katalin és Oláh Nikolett, Vékonyrétegfizika Oszt. Vékonyrétegfizika Oszt.

Upload: lilah-buckner

Post on 04-Jan-2016

41 views

Category:

Documents


0 download

DESCRIPTION

Ti tán alapú implantátumok optimalizálása porlasztott vékonyrétegek segítségével. Készítette: Dénes Karin (Ipolyság) és Patyi Gábor (Szabadka) Tanára: dr. Balázsi Katalin és Oláh Nikolett, Vékonyrétegfizika Oszt. A kutatás célja. - PowerPoint PPT Presentation

TRANSCRIPT

Page 1: Ti tán alapú implantátumok  optimalizálása  porlasztott vékonyrétegek segítségével

TiTitántán alapú implantátumokalapú implantátumok optimalizálása optimalizálása

porlasztott vékonyrétegek porlasztott vékonyrétegek segítségévelsegítségével

Készítette: Dénes Karin (Ipolyság) és Patyi Gábor Készítette: Dénes Karin (Ipolyság) és Patyi Gábor (Szabadka)(Szabadka)

Tanára: dr. Balázsi Katalin és Oláh Nikolett, Tanára: dr. Balázsi Katalin és Oláh Nikolett, Vékonyrétegfizika Oszt.Vékonyrétegfizika Oszt.

Page 2: Ti tán alapú implantátumok  optimalizálása  porlasztott vékonyrétegek segítségével

A kutatás céljaA kutatás céljaA fémből készült orvosi A fémből készült orvosi

implantátumok nagy részét implantátumok nagy részét titánból készítik annak kedvező titánból készítik annak kedvező biokompatibilitása miatt.biokompatibilitása miatt.

A titánnak kiváló kémiai, A titánnak kiváló kémiai, mechanikai, és egyéb fizikai mechanikai, és egyéb fizikai tulajdonságai vannak. tulajdonságai vannak.

Ennek ellenére az implantátum Ennek ellenére az implantátum beültetése után, a korrózió beültetése után, a korrózió vagy fémleválások miatt, titán vagy fémleválások miatt, titán ionokat lehet kimutatni a ionokat lehet kimutatni a szervezetben, amelyek allergiás szervezetben, amelyek allergiás tünetekhez is vezethetnek. tünetekhez is vezethetnek.

Page 3: Ti tán alapú implantátumok  optimalizálása  porlasztott vékonyrétegek segítségével

MintakészítésMintakészítés

A mintát a A mintát a porlasztóban porlasztóban állítottuk elő a Si állítottuk elő a Si hordozóra, melyen hordozóra, melyen egy pár nm egy pár nm nagyságban SiOnagyságban SiO2 2

védőrétegre titánt védőrétegre titánt és szenet és szenet porlasztottunk 1:1 porlasztottunk 1:1 arányban.arányban.

Page 4: Ti tán alapú implantátumok  optimalizálása  porlasztott vékonyrétegek segítségével

A porlasztó felépítéseA porlasztó felépítése

Page 5: Ti tán alapú implantátumok  optimalizálása  porlasztott vékonyrétegek segítségével

Szerkezeti vizsgálatokSzerkezeti vizsgálatokTranszmissziós Elektron Mikroszkópia (TEM)Transzmissziós Elektron Mikroszkópia (TEM)

Si hordozó

SiO2

TiC

50nm Si hordozó

SiO2

TiC

50nm

TiC kristályok

Page 6: Ti tán alapú implantátumok  optimalizálása  porlasztott vékonyrétegek segítségével

Szerkezeti vizsgálatokSzerkezeti vizsgálatok

Összetétel analízis (EDS)Összetétel analízis (EDS)Elem Atom % Hiba %

C 22 +/- 1.4

O 2 +/- 0.0

Ti 76 +/- 0.0

Page 7: Ti tán alapú implantátumok  optimalizálása  porlasztott vékonyrétegek segítségével

A példaként mért TiC A példaként mért TiC spespekktrtrumából a umából a következő következő információk információk nyerhetőknyerhetők

A felület A felület közelében és a közelében és a tömbi részen lévő tömbi részen lévő relatív kémiai relatív kémiai összetételösszetétel

Az összetevők Az összetevők kémiai kötödésekémiai kötödése

A kémiai A kémiai összetevők összetevők mélységi profiljamélységi profilja

O 1s Ti 2p C 1s Ar 2pO 1s Ti 2p C 1s Ar 2p

Felület-közeli mérés:Felület-közeli mérés: A titán oxidálódott, minimális mennyiségű titán található karbidos A titán oxidálódott, minimális mennyiségű titán található karbidos környezetben, a szén grafit-típusúkörnyezetben, a szén grafit-típusú

Tömbi anyag:Tömbi anyag: Az oxigén nyomokban található; a titán karbid kötést alkot a Az oxigén nyomokban található; a titán karbid kötést alkot a szén egy részével; a szén grafitos és karbidos összetevővel rendelkezik; szén egy részével; a szén grafitos és karbidos összetevővel rendelkezik; az Ar kimutatható mennyiségben van jelenaz Ar kimutatható mennyiségben van jelen

grafit karbidgrafit karbid

oxid-kötődésű Tioxid-kötődésű Ti

karbid-kötődésű karbid-kötődésű

TiTi

karbid-kötődéskarbid-kötődés

XPS speXPS spekktrtroszkópiaoszkópia

Page 8: Ti tán alapú implantátumok  optimalizálása  porlasztott vékonyrétegek segítségével

ÖsszefoglalásÖsszefoglalás

Magnetronos porlasztással TiC Magnetronos porlasztással TiC vékonyréteg előállítása (300nm)vékonyréteg előállítása (300nm)

Réteg szerkezete: 20nm vastag Réteg szerkezete: 20nm vastag TiC amorf szén mátrixbanTiC amorf szén mátrixban

A réteg felületén 2nm vastag TiOA réteg felületén 2nm vastag TiO22

Page 9: Ti tán alapú implantátumok  optimalizálása  porlasztott vékonyrétegek segítségével

Köszönjük a figyelmet!!!Köszönjük a figyelmet!!!

Köszönetnyilvánítás:Köszönetnyilvánítás:

- dr. Balázsi Katalin és Oláh Nikolettdr. Balázsi Katalin és Oláh Nikolett- Illés Levente (SEM)Illés Levente (SEM)- Gurbán Sándor (Auger)Gurbán Sándor (Auger)- Tóth Lajos (TEM)Tóth Lajos (TEM)- Radnóczi GyörgyRadnóczi György