第１９回プラズマ技術研究会 講演会

第９回ミニマル3DICファブ開発研究会 講演会

2017年7月21日発行

開催報告

開催日時： 2016年10月25日（火）13:00～17:00

開催場所： リファレンス駅東ビル5階 会議室V-2 （福岡市博多区博多駅東1丁目16－14）

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第135号

主 催： プラズマ技術研究会、ミニマル3DICファブ開発研究会

共 催： 九州半導体・エレクトロニクスイノベーション協議会

協 賛： 新学術領域研究『プラズマ医療科学の創成』、応用物理学会九州支部、プラズマ・核融合学会

九州・沖縄・山口支部、九州・山口プラズマ研究会、西日本放電懇談会、九州大学・プラズマ

ナノ界面工学センター、名城大学・プラズマバイオ科学技術研究センター

開催報告 第1９回プラズマ技術研究会 講演会 ---------------------- １

第９回ミニマル3DICファブ開発研究会 講演会

講演１「プラズマの農業応用の現状と課題」 -------------------------- ２

講演２「プラズマ遺伝子導入；何がすごいのか！」-------------------- ２

講演３「プラズマ照射とナノ粒子の安全性評価」 ---------------------- ３

講演４「プラズマの新材料デバイス応用と課題」 ---------------------- ３

今後のイベント情報、事務局からのお知らせ ------------------------- ４

2016年10月25日（火）福岡市（リファレンス駅東ビル）にて、第1９回プラズマ技術研究会講演会および

第９回ミニマル3DICファブ開発研究会講演会を開催いたしました。

プラズマ技術研究会幹事の産総研九州センター 上杉文彦の開会挨拶およびテーマの主旨説明で始まり、

名城大学教授 伊藤昌文氏、愛媛大学大学院教授 神野雅文氏、九州大学医学研究院講師 田中昭代氏、

NEC／技術研究組合光電子融合基盤技術研究所主幹研究員 木下啓藏氏に、ご講演いただきました。最後

にミニマルファブ用プラズマプロセス開発WG幹事の九州大学教授 白谷正治氏より閉会の挨拶があり、本

講演会は盛会のうちに終了いたしました。講師の皆様をはじめ多数お集まりいただいた参加者の皆様、誠に

ありがとうございました。

『プラズマ技術、農工連携、医工連携、難加工材料応用の最前線』

※ なお、各講演のプレゼン資料のうち、講演者にご了解いただいたものは、会員専用ページにてご覧いただけます。

今年度のID、パスワード等がご不明の会員は、事務局（k-amic-ml@aist.go.jp）までご連絡ください。

要旨： 2002 年にプラズマ照射

により細胞に遺伝子や分子が導

入できるという、プラズマ遺伝

子導入現象が日本で発見されそ

の後、研究が続けられてきた。

愛媛大学では、様々なプラズマ

源を試し、極細の電極と対向電

極板の間に標的細胞を配置する

ことで、高導入効率と高生存率の両立に成功した。

その後、導入機序解明の試みを続け、導入の大半が

膜動輸送によるものであること、導入は電気的な要

因と化学的要因の両方が必要でシナジー効果に寄っ

ていること、等を明らかにした。つまり、エレクト

ロポレーションなど、一つの作用要因のみで導入を

行う既存の他の手法に比べて、それぞれの要因を弱

く押さえられるのが、プラズマ法で高導入効率と低

侵襲性が両立できる理由である。

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製造技術イノベーション協議会機関誌

講演２「プラズマ遺伝子導入；何がすごいのか！」

愛媛大学 大学院 理工学研究科 教授 神野 雅文

要旨： 近年、室温程度のプラ

ズマを大気圧下で生成できる

プラズマ源が多く開発され、

医療をはじめとするバイオへ

の応用が盛んに研究されてい

る。その中でも低温プラズマ

は熱に弱い農作物への利用も

可能であることから、農業分

野への応用も注目され、多くの国でその実用化に向

けた取組も始まりつつある。本講演では、プラズマ

の農業応用に関する世界の現状と課題について紹介

し、今後の更なる発展のためには何が必要かについ

て議論する。

講演１「プラズマの農業応用の現状と課題」

名城大学 大学院理工学部 教授/プラズマバイオ科学技術研究センター センター長 伊藤 昌文

要旨： プラズマプロセスは集積回路デバイス製造の基幹技術として、エッチン

グ、CVD等の製造工程で進化してきた。微細化進展に伴い集積度は急激に増加し、

デバイス性能もそれに伴って向上してきた。しかし近年では、単純な微細化だけで

性能を向上することが困難になってきている。そのため新材料を導入し、性能向上

を目指すアプローチが採られている。これら新材料は製造技術的に未知な物性を有

しているため、製造上の課題を数多く生じている。プラズマプロセス後に生じる材

料ダメージは端的な例である。講演では、集積回路デバイスへLow-k材料、磁性材料などの新材料導

入事例を参照しつつ、新材料デバイス技術開発における重要点を議論する。

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講演４「プラズマの新材料デバイス応用と課題」

NEC／技術研究組合 光電子融合基盤技術研究所 主幹研究員 木下 啓藏

要旨： 大気圧低温プラズマは

近年、止血、臓器癒着防止な

ど、近年、急速に医療に用いら

れ始め、さらに、液中プラズマ

法によって作成した金属ナノ粒

子の医療応用が検討されてい

る。一方、プラズマを安全に運

用するためには治療効果の評価

に加えて、プラズマの健康影響や安全性評価が求め

られている。今回、実験動物を用いて皮膚への大気

圧低温プラズマ照射を行い、照射終了後、皮膚組織

の経時的な病理学的評価を行った。さらに、液中プ

ラズマ法によって作製したインジウムナノ粒子を実

験動物に投与し、インジウムナノ粒子の体内動態お

よび健康影響評価を行い、プラズマ照射とナノ粒子

の安全性について検討した。

講演３「プラズマ照射とナノ粒子の安全性評価」

九州大学 医学研究院 環境医学分野 講師 田中 昭代

第135号

図１．シリル化処理によるLow-kボイドの抑制 図２．還元プラズマ処理によるMR比回復

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編集・発行：国立研究開発法人 産業技術総合研究所 九州センター

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今後のイベント情報

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費を徴収しない

入会について 会員制度

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製造技術イノベーション協議会機関誌

平成29年度より、新規研究会の立ち上げに伴いプラズマ技術研究会の活動はセンサシステム技術研究会へ

引き継ぎました。また、ミニマル3DICファブ開発研究会はミニマルファブの普及に重点を移しつつファブ

システム研究会（つくば）と連携した任意グループとして活動するため廃止となりました。

エレクトロニクス実装学会（JIEP）官能検査システム化研究会 第9回公開研究会開催のご案内

AIST製造技術イノベーション協議会 インスペクション技術研究会協賛

〈IoT時代における次世代の検査とは〉

◆開催日時： 平成29年7月26日（水）〈13：30～17：10〉

◆会場： 回路会館 地下会議室（東京都）