固体物理学2 第7章 半導体 (第3回) · 2016. 10. 2. · 固体物理学2 第7章...
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固体物理学2 第7章 半導体 (第3回)
○ 半導体のバンド構造
○ 真性半導体
○ キャリア数密度
○ フェルミ準位
○ 導電率と禁制帯幅(バンドギャップ) 1
周期律表中の半導体
7.1 真性半導体
2
元素半導体、化合物半導体
3
7.1.1 元素半導体(IV族元素)
4
5
6
7
8
9
10
真性半導体の電導度
真性半導体は両極性伝導(電子と正孔の両方がキャリアとして働く)
真性半導体では、 pn (7.1.1)
pp
ee
qp
qn
電子、正孔の導電率との関係は、
(7.1.2)
(7.1.3)
11
(7.1.4)
真性半導体の導電率は、
)( pei
pe
pei
qn
qpqn
pnni
ただし、
12
7.1.2 真性半導体のキャリア数密度
dgfn )()(
フェルミ分布関数、状態密度関数であらわされる。
(7.1.5)
自由電子モデルでは、
1
1)(
/)(
TkBFe
f
2/12/3
22)
2(
)2(
12)(
m
g
13
14
真性半導体中の電子数密度
1
1)(
/)(
Tke
BFef
2/12/3
22)()
2(
)2(
12)( g
ec
mg
ct
g
dgfdgfn ce
)()()()(
Tk
TkeBF
BFe
ef
/)(
/)(1
1)(
ct
関数近似 フェルミ→マックスウェル
積分範囲の変更 最終的に(7.1.18)へ 15
真性半導体中の正孔数密度
1
11)(1)(
/)(
Tkep
BFeff
2/12/3
22)()
2(
)2(
12)(
p
c
mg
0
)()()()(vb
dgfdgfn vp
Tk
TkpBF
BFe
ef
/)(
/)(1
11)(
vb
関数近似 フェルミ→マックスウェル
積分範囲の変更 最終的に(7.1.20)へ 16
適宜、積分範囲を決めて算出すれば、電子について、
2/3
2
2/3
/)(
)2
(2
)(
h
kmN
TNN
fNeNn
Bece
cee
gee
Tk
cBFg
2/3
2
2/3
/
)2
(2
)0(
h
kmN
TNN
fNeNp
Bp
vp
vpv
pv
Tk
vBF
正孔について、
(7.1.20)
(7.1.21)
(7.1.19)
(7.1.18)
17
電子、正孔のいずれも数密度の温度依存性は、
TkBgeTp2/2/3
TkBg
eTn2/2/3
gF 2
1真性半導体 であれば、
18
19
7.1.3 真性半導体のファルミ準位
○ 真性半導体のフェルミ準位 ○ np積の一定性 ○ 禁制帯幅(バンドギャップ)とキャリア数密度 (電導度)との関係
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7.1.3 真性半導体のファルミ準位
○ 真性半導体のフェルミ準位 禁制帯の中央 ○ np積の一定性 水溶液のpHに類似(不純物半導体でも成立) ○ 禁制帯幅(バンドギャップ)とキャリア数密度 (電導度)との関係 キャリア数密度のアレニウスプロット ↓ 勾配の大きさがバンドギャップを表す。
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○ 真性半導体のフェルミ準位
電子・正孔の数密度の式(7.1.18)、(7.1.20)より、
Tk
cBFgeNn
/)(
Tk
vBFeNp
/
Tk
v
Tk
cBFBFg eNeN
//)(
これを、Fについて解けば、
)ln(4
3
2
1
e
p
BgFm
mTk (7.1.25)
22
○ np積の一定性
電子・正孔の数密度の式(7.1.18)、(7.1.20)より、
Tk
peBTk
vciBgBg emm
h
TkeNNnnp
/2/33
2
/2 )()2
(4
Tk
peB
iBgemm
h
Tkn
2/4/32/3
2)()
2(2
np積の一定性は、不純物半導体でも成立
(7.1.29)
(7.1.28)
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Tkemm
h
kq
T B
g
pe
Tk
peBi Bg
1
2
434.0)()()
2(2log)log(
2/4/32/3
22/3
(7.1.30)
変形して、
Tk
peB
peii
Bgemmh
Tk
qn
2/4/32/3
2)()
2(2
)(
(7.1.31)
24
25
禁制帯幅(バンドギャップ)の温度依存性
Tgg 0(7.1.32)
バンドギャップは温度上昇とともに小さくなる。 (格子の熱膨張の結果)
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31
真性半導体の室温(298K)におけるキャリア数密度
g (eV) exp(-g/2kT) 1019exp(-g/2kT) (/cm3)
0.5 5x10-5 5x1014
1.0 2x10-9 2x1010
2.0 4x10-18 40
3.0 9x10-27 9x10-8
参考: 金属 n~1022/cm3
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まとめ
○ 真性半導体の伝導機構 ○ 半導体のフェルミ準位 ○ 電気伝導度(キャリア数密度)の 温度依存性とバンドギャップ ○ np積の一定性
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演習
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図からSiとGaAs
のバンドギャップを求め、テキストの表の値と比較せよ。