レーザ光が開くワイドレンジ＆ナノ変位計測

輸出貨物 ： リスト規制該当品LV-2100A/LV-0121A

レーザ干渉変位計

Laser Measurement System

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価格価格： ： ￥2,500,0002,500,000 （税込税込￥2,625,0002,625,000）

1 MHzサンプリング、0.155 nm分解能で非接触レーザ検出。変位による振動計測をレーザ干渉変位計『LV-2100A』が登場です。

変位分解能0.155 nm振動周波数が高くなると、変位も小さくなり、従来のレーザ変位計では計測困難でした。LV-2100Aは0.155 nmの分解能で変位を検出。

Laser Measurement System

拡大

拡大

小型リレーの接触片の変位※変位解析ソフトウェア（LV-0930）使用

振動の変位計測は意外にむずかしいテーマです。変位オフセットを伴う振動やMEMS・圧電素子などで矩形に駆動する対象は、加速度（m/s2）や速度（m/s）信号の積分処理では正しい変位計測ができませんでした。

『振動現象を変位（m）で評価したい』この単純で難しいテーマへの回答がLV-2100Aです。

価格： ￥2,500,000 （税込￥2,625,000）

5 m/s

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データはアナログ＆ディジタルLV-2100Aは検出したデータをアナログ電圧とディジタルデータの両方を出力できます。アナログ電圧はDC～100 kHz、ディジタルデータはUSB2.0でPCに高速転送されます。ディジタルデータは伝送誤差やインピーダンスの影響を受けず、PC上で即データ処理を行えます。※ディジタル変位データの受信には変位解析ソフトウェア（LV-0930）が必要です。

レーザ光は安全なクラス2レーザ光線はクラス2※でわずか出力1 mW以下の赤色（約633 nm）可視光です。操作や設置の制限をほとんど受けません。屋外の太陽光や強い照明の影響もないので、様 な々環境でご使用いただけます。※ 本器は以下の規格にしたがって設計、検査されています。 「JIS C 6802（レーザ製品の放射安全基準）」 「IEC60825-1：2001」「FDA（CDRH）」 「CEマーキング（低電圧指令：EN61010-1）（EMC指令：EN61326）」 「FCC（Part 15B）」「CANADA EMI規制（ICES-003）」

検出感度切替を装備LV-2100Aは、3段の感度切替スイッチを装備。鏡面体から反射率の低いセラミックスなど様々な対象物を幅広くカバーします。

CCDカメラで微小物体も簡単検出LV-2100Aはビデオ観察ユニット（LV-0180）を装着する事でレーザ光の同軸位置で照射位置を確認できます。レーザ光を正確に小型部品や微小部位に位置決め照射可能です。また対物レンズ（LV-0155）を装着する事で、観察倍率アップとレーザスポットを約φ3 μmに絞る事が可能です。

最大1 MHzの高速サンプリングLV-2100Aは1 MHzの高速サンプリングで振動変位を検出します。0.155 nm分解能の性能で、一般機械振動からMEMSや圧電素子まで広い測定対象の振動変位の検出が可能です。

ファン・レスで自己振動対策LV-2100Aは自然対流による空冷方式を採用。ファンレスで変位計自体が振動ノイズ源にならない設計です。

ディジタル変位出力（USB2.0）

50 kHz, 60 nmp-pで振動するダイヤフラムの変位波形

アナログ変位出力（±10 V）

豊富なデータ解析ツール、ハード＆ソフトLV-2100Aで検出した振動変位データを、変位解析ソフトウェア（LV-0930）やFFTアナライザなど解析ソフトウェアがレポート製作までサポート。振動波形のディジタル処理や周波数解析まで豊富で多機能なソフトウェアが微小な変位の可視化や信号の抽出まで可能にします。※詳細は専用カタログ「O-Chart ＋ Oscopeセレクションガイド」をご覧下さい。

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高速サンプリングと0.155 nm分解能が実現する超音波機器・素子の変位計測

LV-2100Aは、速度（m/s）や加速度（m/s2）の積分処理でしか得られなかった変位（m）を直接計測可能です。1 MHzの高速サンプリングと0.155 nmの変位分解能で高周波・微小振幅の高速振動を変位波形での検出・観測ができます。

LV-2100A

LV-2100A

ディジタル変位出力

USB2.0

アナログ変位出力±10 V

変位解析ソフトウェアLV-0930

PC

PC

超音波ツール／超音波素子

FFTアナライザ

ディジタル変位出力

駆動信号

・アクチュエータ・シリンダ・カンチレバー など

AMP

SIG

USB2.0

アナログ変位出力±10 V

変位解析ソフトウェアLV-0930

FFTアナライザ

パルス駆動圧電素子の変位計測LV-2100Aは、DCからの変位計測が可能です。パルス（矩形）波形で駆動される圧電素子やフィルムなどは速度（m/s）や加速度（m/s2）の積分処理では計測困難でした。LV-2100Aは一定時間変位を維持して変位を繰り返す対象の計測も観測できます。

オフセットを含む振動の同時計測LV-2100Aは直線変位を伴いながらの振動変位を観測可能です。アクチュエータやシリンダの飛び出し量、圧電素子、リレー（電磁継電器）など、伸長や移動変位と停止時に発生する過渡振動変位を同時に捕らえる事ができます。伸長やオフセット量が多くても、ディジタル出力なら0.155 nmの分解能で振動変位の観測ができます。

LV-2100A

PC

ディジタル変位出力

USB2.0

アナログ変位出力±10 V

変位解析ソフトウェアLV-0930

FFTアナライザ

拡大

22 kHzで振動する超音波ホーンの変位波形

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無負荷・非接触のダイナミック変位・振動計測

PC

MEMS・マイクロマシンの微小変位計測

差動（差分）変位計測

多彩な解析ソフトウエアLV-2100Aは、変位データを全てディジタルデータで出力できます※。出力した変位解析ソフトウェア（LV-0930）を使う事で大きな変位からそこに重畳する微小変位まで計測できます。変位データから速度、加速度に変換しての解析もできます。また時系列解析ツール『Oscope 2』を使う事でFFT解析や速度、加速度変換など多彩な解析が可能です。

※ディジタルデータをPCで受信するには変位解析ソフトウェア『LV-0930』が必要です。※Oscope 2へはCSV形式でのインポートになります。

LV-2100Aは、レーザ光を微小スポットにしてMEMSやマイクロマシンなど微小構造物の振動変位の計測が可能です。オプションの対物レンズ（LV-0155）や顕微鏡ユニット（LV-0148）など光学機器を使い、目的の微小部位にレーザ光を照射して無負荷・非接触で変位計測ができます。

LV-2100A

アナログ変位出力±10 V

USB2.0ディジタル変位出力

TVモニタ

除振台

サンプル

変位解析ソフトウェアLV-0930

FFTアナライザ

LV-2100Aは、最大4chを同期接続と変位解析ソフトウエア（LV-0930）での変位演算処理が可能です。この機能を使う事で、計測環境で目的の微小振幅変位に重畳する暗振動を差動（差分）演算で効果的にキャンセルする事ができます。また質量の大きい対象が駆動する際の本体のズレや沈み込み、懸下台の揺れ振動をキャンセルし、対象の正確な振幅を計測する事が可能になります。

顕微鏡ユニットLV-0148

Laser Measurement System LV-2100A

LV-2100A

PC

LV-2100A ディジタル変位出力×2

同期

Ch2

Ch1

USB2.0

変位解析ソフトウェアLV-0930

Ch1（対象変位　暗振動重畳）

Ch1-Ch2間差動（差分）演算

Ch2（暗振動変位）

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微小物体　観察システム

計測部位をTVモニタで拡大し、微小物体へのレーザ照射や位置決めを可能にします。微小物体や微小部位計測で、レーザ光の位置決めを簡単に行う事ができます。仕様・ビームスポット径 ： 約3 μm（LV-0155使用時）・測定距離 ： 約40 mm（LV-0155装着時）・ビデオ出力 ： 1.0 Vp-p（NTSC）（LV-0180使用時）

組み合わせ例・レーザ干渉変位計 ： LV-2100A・ビデオ観察ユニット ： LV-0180・対物レンズ ： LV-0155（必要に応じて使用）

幅50 μm のスリット（画像中央） φ=50 μm のピンホール（画像中央）

【モニタ】15型液TV（4：3 対角線380 mm）ファイバー冷光源にて照明

価格（基本構成）：

￥700,000（税込 ￥735,000）※LV-2100Aは含まれません。

LV-0148　顕微鏡ユニットLV-0148、はレーザ干渉変位計（LV-2100A）を装着可能な、落射照明光学系を備えた顕微鏡ユニットです。顕微鏡光学系で直径約2.5 μm以下まで集光させたレーザ光を対象物の任意の部位に照射し、照射部位をモニタしながら対象物の振動を検出する事が可能です。モニタ装置にはCCTVカメラもしくはディジタルスチルカメラを使用し、検出部位の映像記録も可能です。

価格（基本構成）：

￥3,500,000より（税込 ￥3,675,000より）

用 途・MEMS ／マイクロマシンの挙動検出・精密・微小機械・微小部位の振動検出・圧電素子の挙動検出　等

基本構成レーザ干渉変位計はLV-0148に付属しません。・顕微鏡本体 ：1台・対物レンズ ：1台※1

・照明装置 ：1台・CCTVカメラ ：1台※2

※1 任意の倍率の対物レンズを1本装着可能※2 ディジタルスチルカメラに交換可能

　□ 照明装置 ・照明方式 ： 同軸落射照明 ・光源 ： LED光源

　□ フォーカスユニット ・方式 ： 手動により粗動・微動 ・全ストローク ： 30 mm ・粗動ストローク ： 36 mm/回転 ・微動ストローク ： 0.2 mm/回転 ・微動最小目盛り ： 2 μm/1目

●画像観察装置　撮像装置： CCTVカメラ もしくはディジタルスチルカメラ　※詳細についてはお問い合わせ下さい。

型名 倍率 作動距離 レーザスポットサイズ 　 　 （mm） （μm） LV-0150 5× 36.1 7.0 LV-0152 20× 22.5 2.5＊ 別途、倍率・WDの対物レンズについてはご相談下さい。

装置の仕様●顕微鏡装置　□ 対物レンズ

質量 ： 約17 kg（レーザ干渉変位計センサ部質量を含む 基本構成）

ディジタルカメラアダプタ

振動計センサ部

顕微鏡本体

フォーカスユニット

対物レンズ

376

175

38.9

210300

20

100 105310

φ32

500

75

70

単位：mm

外形寸法図・質量

7

LV-0930変位解析ソフトウエア 価格：￥350,000（税込￥367,500）

変位解析ソフトウエア（LV-0930）を用いると、USB出力より変位計測データを読み込み、動作や位置決め計測を解析する事ができます。　LV-2100Aで取得した変位波形データを、速度（m/s）、加速度（m/s2）に簡単に変換し、元データと変換波形の同時比較や波形データの移動平均、CSVデータへのエクスポートなど対象の動特性解析をスピーディーに行えます。

Laser Measurement System LV-2100A

LV-0930仕様

動特性解析測定物がどのような変位で動作したか、また速度、加速度の変化など動特性解析が可能です。

周波数解析計測対象の変位に重畳する変位変動の成分を周波数解析を行うことが出来ます。

●変位

●速度 変位→速度変換

●加速度 変位→加速度変換

変位＆速度グラフ

環境補正入力 温度、気圧、湿度、波長 サンプリング周波数： 1 MHz, 500 kHz, 200 kHz, 100 kHz, 50 kHz, 20 kHz, 10 kHz, 5 kHz, 2 kHｚ, 時間計測 1 kHz, 500 Hz, 200 Hz, 100 Hz, 50 Hz, 20 Hz, 10 Hz, 5 Hz, 2 Hz, 1 Hz 点数最高：65535 点 時間̶変位、時間̶速度、時間̶加速度、 ±％グラフ、 ピッチング＆ヨーイング、 角度、差分計算、真直度、移動平均、周波数解析解析機能 ディジタルフィルターによる波形処理 ISO230-2に準拠した位置決め精度試験 最大４ｃｈまで同時サンプリング可能。 ＯＳ ： Windows® XP（SP2以降）, Windows® Vista（SP1）, Windows® 7

動作環境 ※ 32 bit版のみ ＣＰＵ ： Intel® Pentium® 4 ／ 2 GHz 以上 メモリー： 1 GB 以上 ＨＤＤ ： 1 GB 以上の空きディスプレイ解像度 1024×768（XGA）以上メモリー 512 MB 以上ハードディスク 空き容量 500 MB 以上インタフェース USB 2.0（Full Speed）

8

大振幅長距離変位計測を可能にします。測定対象に取付け、レーザ光をセンサヘッドへ反射します （質量 0.2 g 以下）。

LV-0801 コーナーキューブ φ4 mm

￥180,000（税込￥189,000）

LV-2100Aのレンズ先端に装着することでレーザスポットを約3 μmまで絞る事ができます。測定距離 ： 約40 mm※装着用変換アダプタ付属

LV-0155 対物レンズ

￥230,000（税込￥241,500）

大振幅長距離変位計測を可能にします。測定対象に取付け、レーザ光をセンサヘッドへ反射します （質量 2 g 以下）。

LV-0802 コーナーキューブ φ7 mm

￥150,000（税込￥157,500）

センサを設置するためのマグネットスタンドです。微動ステージLV-0015/LV-0016と組合わせて検出位置の微調整が可能です。

LV-0030 大型マグネットスタンド

￥55,000（税込￥57,750）

大型マグネットスタンドLV-0030

卓上型除振台LV-0200/0201

アクティブ除振台

顕微鏡ユニットLV-0148

ビデオ観察ユニットLV-0180

対物レンズLV-0155

90度反射ミラ－LV-0301 リセットスイッチ

LV-0125

細型90度反射ミラ－LV-0105

反射マークLV-0012A4サイズ 10枚／セット￥30,000（税込￥31,500）

コーナーキューブ φ4 mmLV-0801 USBケーブル 1.5 m

CF-0703￥5,000（税込￥5,250）

コーナーキューブ φ7 mmLV-0802

※波形解析装置（FFTアナライザ）

※詳細はFFTアナライザ各種カタログをご参照下さい。

LV-2100A

ディジタル変位出力USB2.0

アナログ変位出力

±10 V

変位解析ソフトウェアLV-0930￥350,000（税込￥367,500）

MEMSの微小高速変位から大型構造物の大変位まで。ダイナミック変位解析をトータルサポート。

アクセサリ

変位ゼロリセット信号入力

TRIG信号入力

CF-7200A

CF-3650/3850

AU-4300

マルチチャンネルDS-2000シリーズ

データステーションDS-3000シリーズ～100 kHz

～40 kHz

～40 kHz

～1.5 MHz

～100 kHz

Laser Measurement System LV-2100A

9

LV-2100Aのレンズに装着することでレーザ光を90度曲げ360°回転する事ができます。隙間などにレーザ光を照射できます。

LV-0301 90度反射ミラー

LV-0301の先端より更に狭い場所にレーザ光を誘導する90度反射ミラーです。LV-0301の先端部のミラーと交換して使用します。φ＝4 mm

LV-0105 細型90度反射ミラー

LV-2100Aのセンサ部に装着する事で微小部位のレーザスポットをTVモニタで確認できます。微小部品への位置あわせ、計測が簡単に行えます。モニタ倍率： 　約50倍（測定距離130 mm時）　※15インチTVモニタ使用時最大。出力：1.0 Vp-p（NTSC）

LV-0180 ビデオ観察ユニット

￥200,000（税込￥210,000）

￥80,000（税込￥84,000）

LV-2100Aの本体と大型マグネットスタンドなどオプションを収納可能なトランクです。質量 ： 約6.5 kg（トランク単体）

LV-0310 収納トランク

￥200,000（税込￥210,000）

床から伝わって来る暗振動を低減して検出精度を向上させます。フィルター付レギュレータが付属します。外形寸法 ： 500×600×56 mm質量 ： 約29 kgレベリング ： 0.3～0.7 MPaの圧縮空気 または窒素ガスで作動

LV-0200 卓上型除振台 自動レベリングタイプ

￥250,000（税込￥262,500）

圧縮空気が不要で設置場所を選ばない除振台です。床から伝わる暗振動を低減して検出精度を向上させます。天盤は大型マグネットスタンドの設置が可能なSUSです。外形寸法 ： 500×600×56 mm最大搭載質量 ： 120 kg質量 ： 約29 kgレベリング ： 手押しポンプ

LV-0201 卓上型除振台 手動レベリングタイプ

￥270,000（税込￥283,500）

センサの精密な位置合わせが可能なXY軸微動ステージです。ステージ面 ： 60×60 mm移動量 ： ±5 mm

LV-0015 XY軸微動ステージ

￥95,000（税込￥99,750）

手元や離れた場所で原点リセット操作とBNC端子によるトリガ信号入力が可能になります（ケーブル長：3 m）。

LV-0125 リセットスイッチ

￥100,000（税込￥105,000）

定盤をアクティブ制御する事で100 Hzまで無共振で除振を実現します。暗振動の影響を受けやすい微小変位計測で効果を発揮します。天板着磁タイプ

アクティブ除振台

受注生産品　別途お見積り

定盤が無い場所でのセンサやスタンドの設置に使用します。センサを直接三脚に装着するカメラネジアダプタ（LV-0019）と大型マグネットスタンドを着磁固定可能なスチールプレート（LV-0018A）が付属します。

LV-0017A 大型三脚

￥150,000（税込￥157,500）

センサの精密な上下位置合わせが可能なZ軸微動ステージです。ステージ面 ： 60×60 mm移動量 ： 0～10 mm

LV-0016 Z軸微動ステージ

￥80,000（税込￥84,000）

三脚に装着する事でマグネットスタンドを三脚上で使用できます（水平使用）。

LV-0018A スチールプレート

￥10,000（税込￥10,500）￥250,000（税込￥262,500）

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高精度型干渉変位計は、より高安定にDCから変位計測可能なアプリケーションです。先端の光学系を交換する事で5 mスパンの変位から微小物体の変位まで1 MHzサンプリング、0.155 nm分解能で計測する事が可能です。

高精度型干渉変位計 (受注対応)

LV-0155対物レンズ、LV-0180ビデオ観察ユニット組み合せの微小物体検出構成

可変焦点対物レンズ組み合せの構成

※価格、仕様についてはお問い合せ下さい。

センサ部

価 格 ￥2,500,000（税込￥2,625,000）

検出感度切替

モニタ出 力※干渉レベルを　電圧出力

表 示 器

セーフティロック

スライドスイッチ3段切替

アナログ出力 ：0～10 V

出力インピーダンス ：50 Ω以下

出力端子 ：BNC（C02型）

干渉レベル ：表示20セグメントLEDバー

レーザ放射 ：レーザ放射時に緑色LED点灯

エラー表示 ：計測エラー時に赤色LED点灯

レーザ光の光路を遮断（短絡時レーザ放射）

無電圧1 a接点入力

レーザユニット部

一般仕様

適合規格本器は以下の規格にしたがって設計、検査されています。「JIS C 6802（レーザ製品の放射安全基準）」「IEC60825-1：2001」「FDA（CDRH）」「CEマーキング（低電圧指令：EN61010-1）（EMC指令：EN61326）」「FCC（Part 15B）」「CANADA EMI規制（ICES-003）」

アナログ出力アナログ出力

遮断周波数

直 線 性

アナログリップル

出力インピーダンス

出 力 端 子

アナログ変位レンジ最大計測速度

レンジ 表 示

設 定レンジ

レンジオーバー表示

リセット表示

サンプリング周 波 数

ディジタル出力規 格

コネクタタイプ

その他入出力

EXT信号入力

SYNCHRONUS信号入出力

±10 V （入力インピーダンス100 kΩ以上にて）

DC：DC～100 kHz（fc=－3 dB）

AC：0.3～100 kHz（fc=－3 dB）

± 0.1 ％/F.S

2 mVp-p以下

50 Ω（最低入力インピーダンス100 kΩ以上）

BNC（C02型）

5 m/s（全レンジ）

選択レンジを７セグメントLEDで表示

各レンジ100 ％以上で赤色LED点灯

変位ゼロリセット操作・入力時に緑色LED点灯

アナログ出力 ： 1 ＭＨｚ固定

ディジタル出力 ： 変位解析ソフトウェア（LV-0930）にて可変可能 1 MHz, 500 kHz, 200 kHz, 100 kHz, 50 kHz, 20 kHz, 10 kHz, 5 kHz, 2 kHｚ, 1 kHz, 500 Hz, 200 Hz, 100 Hz, 50 Hz, 20 Hz, 10 Hz, 5 Hz, 2 Hz, 1 Hz

USB　Ver.2.0（Full Speed）

ミニBタイプ

変位ゼロリセット信号入力／TRIG信号入力

コネクタタイプ：R03-R5F

外部リセット信号：無電圧a接点信号入力/closeにてRESET動作

TRIG信号：ＴＴＬ（＋5 Ｖ信号）　※LV-0930使用時使用可能

A：外部リセット信号入力

B：外部リセット信号COM

ピンアサイン C：TRIG信号入力

D：TRIG信号COM

E：̶

同期用コネクタ（2台接続時）

RESET信号

信号 CLK信号

TRIG信号

変位変換部

レーザー干渉変位計 LV-2100A 仕様

使 用 電 源

消 費 電 力

動作温度範囲

使用湿度範囲

保存温度範囲

本 体 質 量

外 形 寸 法

AC100～240 V, 50/60 Hz

70 VA以下

5～＋40 ℃

30～80 %RH(ただし結露しない事)

－10～＋50 ℃

約12 kg（センサを含む）

393（W）×222（D）×135（H） mm

検 波 方 式

光 源

出射光出力

焦点調整範囲

レーザスポット径

レ ン ズ 部

表 示 器

センサ主固定穴

補助固定穴

信号ケーブル

センサ部質量

光ヘテロダイン検波による変位復調

Ｈｅ－Ｎｅレーザ（波長632.8 ｎｍ）

１ mW以下（クラス2　JISC6802 FDA規格適合）

100 mm～∞

焦点距離100 ｍｍでφ20 μｍ以下

設定可能範囲内で任意に手動による設定が可能

干渉レベル表示10セグメントLEDバー

検出ERROR表示（赤色LED）

M8×1（ヘリサート補強）

M4×2（ヘリサート補強）

長さ3 ｍ

ケーブル屈曲半径　50 ｍｍ以上

ケーブル外皮：難燃性UL認定材 PVC 黒色

500 ｇ（ケーブルを含まず）

最大測定範囲 アナログ最小分解能 ディジタル分解能 0.1 μm/V ±1 μm 0.15 nm 1 μm/V ±10 μm 0.3 nm 5 μm/V ±50 μm 1.5 nm 10 μm/V ±100 μm 3 nm 100 μm/V ±1 mm 30 nm 0.155 nm 2 mm/V ±20 mm 61 nm 0.1 m/V ±1.0 m 30 μm 0.5 m/V ±5.0 m 154 μm 1 m/V ±10 m 4.308 μm

Laser Measurement System LV-2100A

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価格： ￥2,500,000 （税込￥2,625,000）

レーザ光ビームをのぞきこまないこと（最大出力） 1mW　　　（波長） 633nm

クラス2　レーザ製品

周波数と計測可能な振幅範囲

レーザユニット部

単位：mm

L A S E R R A D I AT I O ND O N O T S TA R E I N T O B E A M

1 m W M A X . C W H e - N e 6 3 3 n mC L A S S 2 L A S E R P R O D U C T

I E C 6 0 8 2 5 - 1 : 2 0 0 1

●説明及び警告ラベルの貼付

●適合規格本器は以下の規格にしたがって設計、検査されています。「JIS C 6802（レーザ製品の放射安全基準）」「IEC60825-1：2001」「FDA（CDRH）」「CEマーキング（低電圧指令：EN61010-1）（EMC指令：EN61326）」「FCC（Part 15B）」「CANADA EMI規制（ICES-003）」

本製品は、外為法（外国為替及び

外国貿易法）のリスト規制該当品です。

輸出又は国外へ持ち出す場合には原則、

経済産業大臣の輸出許可が必要です。

This devise complies with Part 15 of the FCC Rules. Operation issubject to the following two Conditions:(1)This devise may not causeharmful interference,and (2) this devise must accept any interferencereceived inckuding interference that may cause undesired operation.

No.ONO SOKKI CO.,LTD.

SAFETY LOCKDO NOT REMOVE

EXT

POWER

DOPPLER IN

REF IN

OUT

INSYNC

CH ID

USB

100-240 V～50/60 Hz70 VA FUSE T 3. 15A

MADE IN JAPAN

No.

ON

O S

OK

KI C

O.,L

TD.

MA

DE

IN J

APA

N

This Class A digital apparatus complies with Canadian ICES---003.Cet appareil numerique de la class A est conforme a la normeNMB---003 du Canada.

383 (7)

135.4

(9.2)

Laser Measurement System LV-2100A

Laser Displacement Unit LV-0121

DISPLACEMENT

SIG LEVEL

SENSE

RANGEOVER

AC DC SEL

RESET

ERROR

LASER

MONITOR OUT

(9.8)

(59)

222.8

光ファイバケーブル巻取り部 センサヘッド収納部

CLASS 2 LASER PRODUCT ONO SOKKI CO.,LTD.1-16-1,Hakusan,Midori-ku,yokohama,226-8507,Japan

Manufactured CAUTION-LASER RADIATION

WHEN OPEN

Complies with 21 CFR 1040.10and 1040.11 except for deviationspursuant to Laser Notice No.50dated july 26 2001.

10－91 10 100 1 kHz 10 kHz 100 kHz

10－8

10－7

10－6

10－5

10－4

10－3

10－2

10－1

100

（1 nm）

（1 μm）

（1 mm）

1 m

変　

位

（ｍ）

周波数 （Hz）

5 m/s5 m/s5 m/s

LASER ON

OFF

LV-2100A 外形寸法図センサ部

33

cm

13

10

（16）

87

160

（73）

（5）

LEVELSIG

ERROR

44

18

5616

φ35φ16

2532

2-M4,深6

M8,深8

LASER RADIATIONDO NOT STARE INTO BEAM

IEC 60825-1:2001

CAUTION-LASER RADIATIONWHEN OPEN

1mW MAX. CW He-Ne 633nmCLASS 2 LASER PRODUCT

レーザ干渉変位計LV-2100A

※Microsoft® Windows®は米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。 その他記載されている会社名、 製品名は各社の商標または登録商標です。

CAT. NO. 1643-04 Printed in Japan 123（SUN）2K 12.3月改訂

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