Photon高精度レーザ計測におけるグローバルリーダーである Ophir Optoronics Ltd.

( イスラエル ) の一角を担う Photon Inc.( 米国カリフォルニア ) は 1984 年に設立

した革新的なレーザビームプロファイリングシステムの製造メーカーで、レーザ

のアライメント、レーザ光学システム、レーザのコリメーションや、ファイバや

レーザ などの光源の計測機器を製造販売してまいりました。初めてリアルタイム

でのレーザビーム径計測を実現したビームスキャンシリーズを初め、低ノイズが

特徴のスリットスキャン方式の NanoScan は、集光ビームを直接計測するのに

最適なビームプロファイラとして評価されています。また高速ゴニオメトリック

ラジオメータ ( 特許 取得済み ) はファーフィルドプロファイラで LD・LED・通信用

ファイバなどの拡がり角の大きい光源のコリメーションに利用されています。

Photon のシステムは様々なアプリケーションに採用され、レーザやレーザシステム

設計開発検証など、 広い分野で貢献しています。

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◆ スリットスキャン式ビームプロファイラ

◆ M2 計測

◆ ファーフィールドプロファイラ

NanoScan ( ナノスキャン )

ハイパワー NanoScan ( 高出力用ナノスキャン )

◆ ニアフィールドプロファイラ 　 NFP( スリットスキャン採用 )

NanoModeScan ( ナノモードスキャン )

ModeScan1780 ( モードスキャン )

LD 8900/ LD8900R LD 8900HDR

NIST トレーサブル校正Photon,Inc. は 20 年以上に渡り、高精度なビームプロファイラ

を製造・販売してきました。そして業界初の NIST(National

Institute of Standards and Technology) にトレースした校正を

行っております。NIST トレーサ ブルのあるビームプロファイラ

は Photon, Inc. の製品のみとなっています。

最適なビームプロファイラの選択

CCD カメラ、スリットスキャン、InGaAs、パイロ エレクトリック

アレイ、ピンホール、ナイフエッジ方式 といった多様な種類の

ビームプロファイラから、アプリケーションに最適な機種を選択

するにはどうしたら 良いのでしょうか。

それにはまず、次の 4 つの基本的なパラメータが必要です。

1. 波長

どの波長帯域を計測したいかにより、ディテクタ の選択がある

程度絞り込まれます。例えば、UV や可視光波長領域である

<250nm から NIR1100nm 付近までの光源を計測するには、その

波長領域に感度のあるシリコンディテクタが最適です。これら

の波長に対しては安価で計測可能な CCD カメラやシリコン

ディテクタ採用のスキャニング方式が有効です。

2. ビームサイス

波長の次に必要なパラメータは計測したいビームサイズです。

これによりプロファイラのタイプが 決まり、ピクセルサイズに

よってアレイが決まり ます。

3. パワー

光源の出力によって、ディテクタのタイプと減衰 光学系やビーム

スプリッタの必要性が決まります。 特に CCD カメラはアッテ

ネータを必要とすることが 多い一方で、スリットスキャン方式

ではアッテネータ なしで計測可能です。

4.CW とパルスレーサ

1KHz 以下の周波数で発振するパルスレーザにおいてはスリット

スキャンでは十分なデータが取得できない為リアルタイムの測定

が行えません。その為 CCD カメラなどの 2 次元アレイのセンサが

好ましく、CW( 連続波 ) もしくは 1KHz 以上のパルスレーザの

測定にスリットスキャンが使用できます。

3

計測精度

4 つのパラメータに加え、重要なのが計測精度です。カメラセンサ

の精度は様々なファクタによって決定づけられます。例えばビーム

径の小さい光源を計測すると ピクセルサイズと分解能の問題が

あったり、減衰光学系、 バックグラウンド信号、ゼロイングなど

による計測値への影響が考えられます。スリットスキャン方式で

は拡大光学系等の設置が必要 なく、最小 4 μ m のスポットビーム

の測定がダイレクトに行え、その測定精度は 2% 以下です。

Photon のテクノロジー

Photon の製品には優れた技術が採用されています。代表製品である

NanoScan は、スリットスキャン方式のビームプロファイル計測

では大口径のディテクタで 受光されたレーザビームを、1 つ又

は 2 つのスリットで端から端までスキャニングして、スリット

を透過した 光をディテクタでモニタリングします。レーザパワー

の一部分がスリットから入射するので、高出力レーザビームで

あっても、減衰系不要でレーザビームをダイ レクトに計測でき

ます。

2 つの精巧なスリットがそれぞれに適切な位置でマウントされて

おり、ドラムのスキャンプレートに対して 45°に設計されていま

す。第一スリットは楕円ビームの狭い軸に対して移動して狭い幅

のビームプロファイルします。 第 2 スリットは楕円スポットの幅

のプロファイルを行います。

このことにより、2 つの横断した光のプロファイルのサンプリング

が可能となり、ドラムのミクロンレベル で直交ビーム位置が決定

されるので、ビーム径が細くても高精度にビームプロファイル

計測が可能です。

NanoScan

スキャンヘッド

アパチャ 1：ビームの特性

レーザビーム

ディテクタ ドラム

スキャンスリット

アパチャ 2：ビームの特性( ドラム 180°傾斜 )

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自由度の高いプロファイル解析◆ ワイドダイナミックレンジ

◆ UV 〜 FIR までのブロードな計測波長範囲

◆ 1 台でビームパワー、ビーム径、ビーム位置、

　ポインティングアングルを高精度解析

◆ CW レーザおよびパルスレーザ計測

◆ M2 レーザ伝播解析　 ◆ マルチビーム解析

◆ 平行光、拡散光計測

ワイドダイナミックレンシNanoScan のワイドダイナミックレンジにより従来計測

不可能だった様々なビーム計測が、1 台のスキャンヘッド

で可能となりました。

ダイレクト入射◆ レーザビーム減衰や減衰系光学部品が不要

◆ 瞬時にビームプロファイルやビーム位置を確認

◆ レーザ出力測定 ( オプション : パワーメータ )

高出力ビーム解析◆ 標準 Pyro NanoScan システム : 最大出力 100W

◆ 高出力計測用 NanoScan システム : 最大出力 5kW( 最大出力は波長に依存 )

PC へのデータ転送◆ ビーム径など 16 のパラメータを転送、モニタリング

◆ Active X 対応

製品構成◆ ソフトウェア (Windows 対応 ): シングルおよびマルチレーザビーム解析、パワー測定、ActiveX 対応

◆ 計測内容 : スポットサイズ、スポット位置および移動変化、トータルパワー ( ユーザー校正 )、1/e2 調整

◆ PCI カード (12 ビット対応 )、標準 3m ケーブル ◆ USB2.0 コントローラ (PCI カード未使用の場合 )、ノート型パソコン、デスクトップ対応

◆ パワーメータ機能 : オプションの NIST トレーサブルのパワーメータで、<200mW 程度でリアルタイム測定 ( パイロスキャンヘッドを除く )

◆ 校正証明書 :NIST トレーサブル ( ビーム幅 : 校正精度≦± 2%、パイロディテクタでの校正精度≦± 3%

NanoScan / ハイパワー NanoScan 仕様NanoScan 仕様

ディテクタタイプ

パワーレンジ 波長帯域 有効口径 スリット スキャン

ヘッドサイズ PCI システム USB システム

シリコン〜 100nW

〜 100mW

190nm

1000nm

3.5mm1.8 μ m 63mm PCI NS-SI/3.5/1.8 USB NS-SI/3.5/1.8

1.0 μ m 63mm PCI NS-SI/3.5/1.0 USB NS-SI/3.5/1.0

9mm5 μ m 63mm PCI NS-SI/9/5 USB NS-SI/9/5

25 μ m 63mm PCI NS-SI/9/25 USB NS-SI/9/25

25mm 25 μ m 100mm PCI NS-SI/25/25 USB NS-SI/25/25

ゲルマニウム〜 1 μ W

〜 100mW

700nm

1800nm

3.5mm1.8 μ m 63mm PCI NS-SI/3.5/1.8 USB NS-SI/3.5/1.8

1.0 μ m 63mm PCI NS-GE/3.5/1.0 USB NS-GE/3.5/1.0

9mm5 μ m 63mm PCI NS-GE/9/5 USB NS-GE/9/5

25 μ m 63mm PCI NS-GE/9/25 USB NS-GE/9/25

12.5mm 25 μ m 100mm PCI NS-GE/12/25 USB NS-GE/12/25

パイロエレクトリック

100mW

100W

190nm

>100 μ m

9mm 5 μ m 63mm PCI NS-PYRO/9/5 USB NS-PYRO/9/5

20mm 25 μ m 100mm PCI NS-PYRO/20/25 USB NS-PYRO/20/25

ハイパワー NanoScan 仕様

パイロエレクトリック

〜 1W

〜 5kW※ 最 大 出 力 は

　波長に依存

190nm

>100 μ m9mm 5 μ m 100mm PCI HP-NS/9/5 USB HP-NS/9/5

パイロエレクトリック

190nm

>100 μ m20mm 10 μ m 100mm PCI HP-NS/20/10 USB HP-NS/20/10

スリット式レーザビームプロファイラ

NanoScanナノスキャン

汎用 高出力用

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NanoModeScan は、幅広いレーザアプリケーションに対応している

高速計測が特徴の NanoScan センサを搭載した M2 計測用レーザプロ

ファイリングシステムです。

ISO11146 に準拠した測定方式とレイリー方式を採用しています。

NanoScan とオプティカルトレインを組み合わせた NanoModeScan

は光軸が一直線なので、ビームのアライメントが非常に簡単です。

分解能が非常に高くビームウエスト径が 100 μ m を下回った場合でも

正しい M2 計測が行えます。

NanoModeScan ディテクタ仕様

NanoModeScan システム仕様

システム構成◆ BK7 レンズおよびマウント 2 ヶ ( 標準焦点距離 200-400mm)

M2 計測 レーザビームプロファイラ

NanoModeScanナノモードスキャン

シ　ス　テ　ム　仕　様スキャン走行距離 500mm

計測パラメータ

M2 （時間回折限界ファクタ）高軸高さ 140-170mm

角度微調整 ± 2°（垂直）　± 1.4°（水平）K （ビーム伝搬ファクタ）

標準レンズ＜ EFL200mm ＞

BK7 平凸 / ブロードバンド AR コートd （ビームウエストサイズ）

オプショナルレンズ＜ EFL400mm ＞ BK7 平凸 / ブロードバンド AR コート

Z0（ビームウエスト位置）最小スポット径 スキャンヘッドの仕様参照

電力 スキャンヘッドの仕様参照θ（拡がり角）

ファイル保存とデータ転送 複数のデータファイル、ASCII ファイル

Zr （レイリー長）OS

Windows2000 プロフェッショナルWindowsXP プロフェッショナル

空間プロファイルAC 電源

標準 110V（60Hz）オプション 220V（50Hz）

コミュニケーションインターフェース RS232C

ディテクタタイプ

パワーレンジ 波長帯域 有効口径 スリット スキャン

ヘッドサイズモデル名

（※ XXX　ご注文時に波長を選択）

シリコン〜 100nW

〜 100mW

190nm

1000nm9mm 5 μ m 63mm MSP-NS-SI/9/5-XXX

ゲルマニウム〜 1 μ W

〜 100mW

700nm

1800nm9mm 5 μ m 63mm MSP-NS-GE/9/5-XXX

パイロエレクトリック

100mW

100W

190nm

>100 μ m9mm 5 μ m 63mm MSP-NS-PYRO/9/5-XXX

高出力用

パイロエレクトリック

〜 1W

〜 5kW※最大出力は

　波長に依存

190nm

>100 μ m10mm 5 μ m 100mm MSP-HP-NS/10/5-XXX

寸法 重量NanoModeScan リニアステージ 812 × 102 × 78mm 8.4kgモーションコントローラ 273 × 89 × 57mm 1.5kgアライメントチャンネル 940 × 247 × 72mm 4.8kg着脱可能シールド 787 × 777 × 110mm

M2 計測 レーザビームプロファイラ

ModeScan1780モードスキャン

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ModeScan は、CCD カメラ採用 M2 計測用レーザビームプロファイラで

す。 10 ポイントのビームを同時に計測可能な優れた設計により、レーザ

の光軸をアライメントするだけで、瞬時に高精度なプロファイル計測を

実現します。

◆ CW レーザ、パルスレーザ ◆ ソフトウェア機能概要

◆ IEEE1394a(FireWire) 　　　　　　 M2 計測、ビデオ、ビーム統計

◆ ActiveX 対応 　　　　　　　　　　 時間統計チャート ( 最大 15 ヶ )

◆ 12bit タイナミックレンジ　　　　 2 次元 /3 次元表示など

◆ 1/2”ビデオフォーマット

ModeScan1780 システム仕様

ModeScan1780 オプション

システム仕様センサ SI CCD 1/2" フォーマット インターフェース IEEE 1394a（FireWire）

波長360nm-1100nm（標準：OD 値 2.8 フィルタ） ケーブル長 1.8m（標準長）250nm-1100nm（UV オプティクス）

供給電圧＋ 8V − ＋ 36V DC（＋ 12V DC 代表値）<1％ Ripple（IEEE1394a ケーブル経由）ノート PC の場合、ハブが必要

ピクセルアレイ 780（H）　580（V）

ピクセルサイズ 8.3 μ m　8.3 μ mアレイ寸法 6.49mm　4.83mm 供給電力 最大 3.5W（12V DC 代表値）スキャニングモード プログレッシブ方式 フィルタ/レンズマウント C マウント（1"-32 代表値）A/D コンバータ 12Bit 動作温度 0°〜＋ 50℃（＋ 32°〜 112F）SNR 58.4dB 湿度 20％〜 80％　相対温度　液化状態ではない最大フレームレート 35.8fps（フルフレーム＠フル解像度） 規制適合 CE / FCC / RoHS / WEEEエクスポジャレンジ 20 μ s-27.64ms（ソフトウェア選択：1394sBus）

マウンティング Gimbal マウント（1/2" ポスト）オプション：12mm メタリックポストゲイン 0-12dB（ソフトウェア選択：1394sBus）

トリガ 内部または外部トリガ（ソフトウェア選択） 寸法 62mm(H) 140mm(W) 210mm(L)+Gimbal マウント

外部トリガ仕様5V ± 1V ＠ 10mA ± 5mA

（ポジティブトランジション）重量 〜 1.4kgCCD カバーガラス 干渉縞を防ぐために取り外し

トリガコネクタ 10 ピン RJ-45 ジャック ビームスプリッタ 合成石英：<20/10 スクラッチ & ディグトリガケーブル 10 ピン RJ-45 BNC フラットネス 1/10

テストレンズUV250-450nm 焦点距離 200mm　合成石英 250-450nm　AR コート（標準）※その他の焦点距離にてついては別途VIS450-650mm 焦点距離 200mm　BK7/450-650nm AR コート（標準）※その他の焦点距離にてついては別途VIS-NIR650-950nm 焦点距離 200mm　BK7/650-950nm AR コート（標準）※その他の焦点距離にてついては別途NIR950-1100nm 焦点距離 200mm　BK7/950-1600nm AR コート（標準）※その他の焦点距離にてついては別途

固定アッテネータVIS-NIR OD 値 2.8　吸収ガラス >360nm UV OD 値 3.0　合成石英インコネル >360nm

レンズ単体FL200mm /UV200 /VIS200 /NIR200FL250mm /UV250 /VIS250 /NIR250FL400mm /UV350 /VIS350 /NIR350FL500mm /UV500 /VIS500 /NIR500FL750mm /UV750 /VIS750 /NIR750

FL1000mm /UV1000 /VIS1000 /NIR1000その他

MS 1780 レンズキットおよびMS-YAG キット

上記全波長に対応するレンズ (MS-UV、MS-VIS、NIR キット )および MS チューブキット

MS 1780 レンズチューブキットおよびMS - チューブキット

MS - 1780 マウントレンズ用 C マウントチューブ(100mm / 50mm / 40mm / 25mm / 10mm / 50-90mm 調整可能・集光チューブ）

ニアフィールド　レーザビームプロファイラ

NFPスキャニングスリット採用

NanoScan ディテクタの最大出力密度を超す集光性が高いビーム

を計測するには、ニアフィールドでのプロファイリングシステム

NFP をご用意しています。NanoScan の優れたソフトウェアにより

実際のビームサイズから簡単に補正できます。

NFP-VIS NFP-980 NFP-1550

テスター波長レンジ 400 - 700nm <360nm（オプション） 700 - 1100nm 1300 - 1700nm

対物集光距離 3mm 3mm 5.1mm対物後部集光距離 160mm 160mm 207mm対物 NA 0.85 0.85 0.48拡大率 60:1 60:1 40:1NanoScan モデル NSSI/9/5 NSGE/9/5 NSGE/9/5有効口径 9mm 9mm 9mmスリット幅 5µm 5µm 5µm

3 軸ステージ移動X 軸：13mm マイクロメータ調節 Y 軸：6.5mm マイクロメータ調節 Z 軸：13mm マイクロメータ調節

NFP システム仕様（スキャニングスリット採用）

CCD カメラ採用

顕微鏡レンズを使用してレーザビームを拡大することにより、

ニア フィールドのビームプロファイルが可能です。

CMOS カメラ採用の USBeamPro および CCD カメラ (1/2”

と 2/3”フォーマット ) 採用の FireWireBeamPro をご用意

しています。

FireWire BeamPro 仕様Model 2512 Model 2523

センサ Si CCD 1/2" フォーマット Si CCD 2/3" フォーマットピクセルアレイ 780 (H) × 580 (V) 1392 (H) × 1040 (V)ピクセルサイズ 8.3µm × 8.3µm 6.45µm × 6.45µmCCD サイズ 6.49mm × 4.83mm 8.98mm × 6.7mm最大フレームレート 35.8fps （フルフレーム @ フル解像度） 11.3fps （フルフレーム @ フル解像度）波長帯域 360nm-1100nm　　250nm-1100nm（UV オプティクス使用）カバーガラス 取り外しND フィルタ OD 値 2.8　標準 360-1100nm

USBeamPro 仕様Model 2323

センサ 1.3 Mpixcel　CMOS 2/3" フォーマット有効ピクセルエレメント 1280 (H) × 1024 (V)ピクセルサイズ 6.7µm × 6.7µmCCD サイズ 8.6mm × 6.9mm波長帯域 360-1100nm; 250-1100nm （UV オプティクス使用）カバーガラス 取り外し

波長レンジ 400 - 700nm 700 - 1100nm および 2µm 以上のビーム (1/e2)レンズスプレッド機能 0.49µm 1.1µm回折限界 0.38µm at 500nm 0.75µm対物 NA 0.85 0.85拡大倍率 60:1 60:1

NFP システム仕様（CCD 採用：FireWire/USB-BeamPro）

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Near Filed Profilerエヌエフピー

ゴニオメトリック ラジオメータ

LD8900 / LD8900Rレーザダイオード、LED、オプティカルファイバと言った拡がり角の大きい光強度を計測するには、Photon が開発したゴニオメトリック

ラジオメータ ( 特許取得済みファーフィールド用プロファイラ ) が最適です。光源やディテクタを移動させることなく、容易にプロ

ファイリングが可能です。

ゴニオメトリック ラジオメータ (LD8900/LD8900R) 仕様

システム構成◆ スキャンユニット、PCI コントローラインターフェース　 ◆ Photon 解析ソフトウェア (ActiveX コマンド含む )◆ Windows2000 Profissional、Wondows XP 対応　 ◆ フル 3D 解析 ◆ ダイナミックレンジ > 36dB( 光源 0dB)

高ダイナミックレンジ・ファーフィールドプロファイラ

LD8900HDR

　　　2010 年 10 月より Photon 製品の輸入業務を開始致しました。尚、販売につきましては従来通りオーテックス株式会社となります。 　　　本カタログの仕様は予告なしに変更されることがございます。ご不明点はお手数ですがご連絡お願いします。

LD8900HDR

ダイナミックレンジ >93dB InGaAs(103dB Si)- 入力パワーおよび分布依存 0dBm(1mW) 最小 （ >60dB ダイナミックレンジにおいて）

精度 　　　 NA：< ± 1％　　実効断面積：< ± 1％　　角度幅：< ± 0.05° MFD：± 0.5％（代表的な 9mm 径ファイバにおいて）

スキャンレンジ ± 90°スキャン範囲 13.26(cm)

スキャンタイム <20 秒空間サンプリング分解能 0.055°

波長レンジ InGaAs：800-1700mm　　Si：320-800nm　

計測パラメータ1 次元シングルスキャンデータ：MFD / NA / 実効断面積、3 次元マルチスキャンデータ：角度幅、角度セントロイド、角度アスペクト比率、角度ピーク位置、相対パワー、相対統合パワー、コーン角度（NA）※ユーザー任意

LD8900HDR

LD8900 / LD8900Rダイナミックレンジ LD8900：24dB　　LD8900R：36dB

精度 NA：< ± 1％　　角度幅：< ± 0.05°　　MFD：± <5.0％（代表的な 10 μ m 径ファイバにおいて）　最大発散角度 ± 72°スキャン範囲 84mm

スキャンタイム シングルスキャン更新：5Hz　　3D スキャン： 10 秒 - 100 秒（スキャン数に依存）空間サンプリング分解能 0.055°

波長レンジ InGaAs：800-1700mm　　Si：320-1100nm　　UV（オプション）：190-1100nm

計測パラメータ　　　　NA、角度幅、角度幅比率、角度位置、強度 / 偏角、相対パワー、相対統合パワー　　　　モードフィールド口径（MFD　※ LD8900R のみ）

【輸入元】 株式会社オフィールジャパン

〒 330-0854 埼玉県さいたま市大宮区桜木町 4-384 TEL:048-646-4150 FAX:048-646-4155 E-mail : info@ophirjapan.co.jp URL : www.ophiropt.com/jp

【販売代理店】 オーテックス株式会社東京本社 〒 162-0067　東京都新宿区富久町 16-5 新宿高砂ビル TEL:03-3226-6321 FAX:03-3226-6290 E-mail : sales32@autex-inc.co.jp URL:www.autex-inc.co.jp大阪支店 〒 530-0004　大阪市北区堂島浜 2-1-29 古河大阪ビル 1FTEL:06-6344-6328 FAX:06-6344-6342

2010

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LD8900