반도체 소자 2011 학년도 2 학기

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반도체 소자 2011 학년도 2 학기. 담당교수 : 김태환 ( 소속 : 전자통신공학부 ) 강의시간 : 월 09:00-10:30 (H05-0203) 수 09:00-10:30 (H05-0203) Office : 공업센터별관 503-1 Office hour : 수요일 10:30 ~ 12:30 수업조교 : 송우승 ([email protected], Tel : 2220-0354) E-mail : [email protected]. 교재 및 수업안내. Main text : - PowerPoint PPT Presentation

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Page 1: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

• 담당교수 : 김태환 ( 소속 : 전자통신공학부 )

• 강의시간 : 월 09:00-10:30 (H05-0203) 수 09:00-10:30 (H05-0203)

• Office : 공업센터별관 503-1

• Office hour : 수요일 10:30 ~ 12:30

• 수업조교 : 송우승 ([email protected], Tel : 2220-0354)

• E-mail : [email protected]

반도체 소자2011 학년도 2 학기

Page 2: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

교재 및 수업안내Main text :

Solid State Electronic Devices – Sixth edition

Ben G. Streetman and Sanjay Banerjee (Prentice-Hall International Editions)

참고문헌

Introduction to solid state physics

Kittel, Charles (Wiley)

Semiconductor physics and devices : basic principles

Neamen, Donald A (McGraw-Hill)

An introduction to Semiconductor devices

Neamen, Donald A (McGraw-Hill)

Page 3: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

수 업 목 표

반도체 재료를 기반으로 한 반도체 소자 제작 방법 및 성능 측정 방법

이종접합의 전하 이동 현상

전계 효과 트랜지스터 제작 방법과 특성 조사 방법 및 소자 동작 방법

쌍극성 접합 트랜지스터의 전하 수송 및 동작 원리

태양전지와 발광다이오드 같은 광소자의 제작 방법 및 응용

집적회로 및 메모리의 제작과 동작 원리

차세대 전자소자 및 광소자를 포함한 반도체 소자에 대한 방향

Page 4: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

강의 내용 I

1 주 Introduction

2 주 에너지 대역과 반도체에서의 전하 캐리어 및 반도체의 과잉

캐리어

3 주 P-N 접합의 에너지 대역도 및 전자적 수송

4 주 순방향 및 역방향 바이어스 된 접합부에서 전하의 수송

5 주 동종 접합과 이종 접합

6 주 전계효과 트랜지스터 동작 및 접합 FET

7 주 금속 - 반도체 FET 및 금속 - 절연체 - 반도체 FET

8 주 중간고사

Page 5: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

강의 내용 II

9 주 MOS 전계효과 트랜지스터의 특성 및 전자 수송 현상

10 주 MOS 전계효과 트랜지스터의 특성 및 전자 수송 현상

11 주 쌍극성 접합 트랜지스터의 전하 수송 및 동작 메카니즘

12 주 태양전지 제작 및 응용

13 주 발광 다이오드 제작 및 응용

14 주 메모리 소자 제작 및 응용

15 주 차세대 반도체 전자 소자 및 광소자에 대한 방향

16 주 기말고사

Page 6: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

한 학기 동안

반도체 소자에 대하여 같이

공부하기를 기대합니다 .

Page 7: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

• 기초학문과 공학의 응용

• 기술의 발전 방향

반도체 소자에 앞서서

Page 8: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

반도체 소자의 응용메모리 소자

디스플레이 소자

태양전지

유비쿼터스용 제품

Page 9: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

기초과학을 응용한 IT 기기들

스캐너

프린터

CRT 모니터

디지털 카메라빔프로젝터 LCD 모니터 `

웹페이지

Page 10: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

기초과학을 응용한 휴대용 IT 기기들

Page 11: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

기초과학을 응용한 양방향 IT 기기들

양방향 통신이 가능한 정보기기를 이용하는 모습

어린이들이신기한 모습으로

터치패널을 보고 있음

Page 12: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

기초과학과 응용공학의 융합기초과학과 응용공학 융합의 유형

학문과 기술간의 융합

기술과의 융합

기술과 산업과의 융합

자연과학응용공학의공학

자연과학응용공학의공학

학문

친환경적인기구 /산업

친환경적인기구 /산업

산업기술

NTNT BTBT ITIT

유형 1

유형 3

유형 2

Page 13: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

기술 융합의 시대

• 나노바이오센서• 인공조직• 약물전달• 친생체물질

• 나노바이오센서• 인공조직• 약물전달• 친생체물질

• 유전공학• 바이오장기• 분자생물학• 신약

• 유전공학• 바이오장기• 분자생물학• 신약

BTBT • 컴퓨터 (H/W, S/W)• 반도체• 유무선통신• 정보보호

• 컴퓨터 (H/W, S/W)• 반도체• 유무선통신• 정보보호

ITIT

• 나노신소재• 나노구조체• 나노공정• 정보저장

• 나노신소재• 나노구조체• 나노공정• 정보저장

NTNT• 나노센서• 나노일렉트로닉스• 나노포토닉스• 양자컴퓨터

• 나노센서• 나노일렉트로닉스• 나노포토닉스• 양자컴퓨터

• 바이오인포메틱스• 생체정보인터페이스• 생체정보보호• 바이오컴퓨터

• 바이오인포메틱스• 생체정보인터페이스• 생체정보보호• 바이오컴퓨터

융 합융 합

Page 14: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

융합결과로 창출된 유비쿼터스

Page 15: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

가정용 유비쿼터스 세상

Page 16: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

개인용 유비쿼터스 세상

Page 17: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

이동수단용 유비쿼터스 세상

Page 18: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

저소비전력저소비전력

고효율고효율

저탄소배출저탄소배출

에너지재생에너지재생

무공해물질무공해물질

환경친화적 자연을 위한 기술의 Trend

환경 친화환경 친화

Page 19: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

환경친화적인 소재를사용한 휴대폰

환경친화적인 소재를사용한 하드디스크

환경친화성을 바탕으로 제작된 기기들

Page 20: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

환경친화성을 바탕으로 제작된 기기들

환경친화적인하이브리드 자동차

환경친화적인 저전력디스플레이 (LCD)

Page 21: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

• 반도체 소자

• 메모리 소자

• 발광 소자

• 태양 전지

반도체 소자의 응용

Page 22: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

• 반도체와 실리콘 (Si)

• 반도체 트랜지스터 (Transistor)

• 반도체 소자의 응용분야

반도체 소자

Page 23: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

반도체란 무엇인가

• 자유전자가 있어서• 전기를 잘 통할 수 있는 물질• 예 ) 금 , 은 , 구리 등

• 자유전자가 있어서• 전기를 잘 통할 수 있는 물질• 예 ) 금 , 은 , 구리 등

금 속

• 도체와 부도체의 중간적 성격• 전기가 통할수도 안 통할 수도 있는 물질• 예 ) 실리콘 , 게르마늄 등

• 도체와 부도체의 중간적 성격• 전기가 통할수도 안 통할 수도 있는 물질• 예 ) 실리콘 , 게르마늄 등

반도체

반도체를 이용하여 다양한 전자 소자를 만들 수 있다 !!!반도체를 이용하여 다양한

전자 소자를 만들 수 있다 !!!

• 자유전자가 없어서• 전기를 잘 통할 수 없는 물질• 예 ) 나무 , 플라스틱 , 유리 등

• 자유전자가 없어서• 전기를 잘 통할 수 없는 물질• 예 ) 나무 , 플라스틱 , 유리 등

절연체

Page 24: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

실리콘 (Si) 반도체

Page 25: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

실리콘 반도체불순물을 첨가하여 반도체의 성질을 바꿀 수 있다 .

Sb 를 첨가한 n- 형 실리콘 반도체( 전자의 농도가 더 높다 )

B 를 첨가한 p- 형 실리콘 반도체( 정공의 농도가 더 높다 )

n- 형과 p- 형 반도체를 이용하여 다이오드 , 트랜지스터 등과 같은 전자 소자를 만들 수 있고 많은 전자 제품에 응용된다

n- 형과 p- 형 반도체를 이용하여 다이오드 , 트랜지스터 등과 같은 전자 소자를 만들 수 있고 많은 전자 제품에 응용된다

Page 26: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

반도체 트랜지스터Gate 는 소자의 스위치 역할 Drain 으로 전류의 양을 조절

P-Si SUBSTRATE

Source Drain

SiO2

Gate

2-D CHANNEL

P-Si SUBSTRATE

Source Drain

SiO2

Gate

트랜지스터는 메모리 , 디스플레이 및 전지의 핵심 소자이다 .트랜지스터는 메모리 , 디스플레이 및 전지의 핵심 소자이다 .

Page 27: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

반도체의 응용 제품 분야

Page 28: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

메 모 리 소 자

• 양자역학의 세계

• D 램 (DRAM)

• 플래시 메모리 (Flash Memory)

• 플렉시블 메모리 (Flexible Memory)

• 차세대 메모리 소자

Page 29: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

고전 역학과 양자 역학

고전 역학( 축구공이 벽을 통과할 수 없다 )

-

양자 역학( 전자는 벽을 통과할 수 있다 )

나노 크기의 작은 세계

Page 30: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

DRAM 의 기억 원리

----

-------

---

+++ + + +

++

정보 저장

정보 유지를 위한 재충전

축전기전자 충전 전원차단 방전 정보 소실

휘발성 메모리

Dynamic RAM

축전기에 전하가 충전된다

Page 31: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

DRAM 소자

DRAM 단면 전자현미경 사진

DRAM 웨이퍼

축전기

트랜지스터

Page 32: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

DRAM 소자

DRAM 모듈

DRAM 패키지

Page 33: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

플래시 메모리의 기억 원리

- - - - -

정보 저장

플로팅게이트전자

`터널링터널링 전원차단전원차단 정보유지

비휘발성 메모리

일괄적인 소거

MemoryFlash

Page 34: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

플래시 메모리

플래시 메모리전자현미경 사진

NAND 플래시 메모리NOR 플래시 메모리

플로팅 게이트( 스위치와 축전기 역할을 같이한다 )

Page 35: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

플래시 메모리 제품

플래시 메모리 카드

USB 플래시 메모리

플래시 메모리 SSD

Page 36: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

유연성을 가지는 메모리

유연성을 가지는메모리 소자

Page 37: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

상용화된 반도체 메모리 소자

2-D CHANNEL

P-Si SUBSTRATE

Source Drain

Capacitor

SiO2

Gate

D-RAM 소자

Cap. 에 데이터를 저장

Flash Memory 소자

2-D CHANNEL

P-Si SUBSTRATE

Source Drain

SiO2

Poly Silicon

SiO2

Gate

Poly-Si. 에 데이터를 저장

Page 38: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

차세대 메모리 및 반도체 소자

NFGM 소자

2-D CHANNEL

P-Si SUBSTRATE

Source Drain

Insulator

GateNano-Crystals

Nano particle 들이 전하를 트랩한다 .

FIN-FET 소자

P-Si SUBSTRATE

Source DrainInsulator

Gate

3 차원적 채널 형성으로 전류특성이 향상 .

Page 39: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

발 광 소 자

• 발광 소자의 원리

• 발광 다이오드 (LED)

• 유기 발광 다이오드 (OLED)

• 디스플레이 장치

Page 40: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

발광 소자의 원리

에 너 지에 너 지• 광자

• 전기장

• 전자빔

가시광선가시광선

형광체형광체에너지 변환물질에너지 변환물질

발 광 발 광

발광원리를 이용하여다양한 용도의 광소자와

디스플레이 장치들을만들 수 있다

발광원리를 이용하여다양한 용도의 광소자와

디스플레이 장치들을만들 수 있다

Page 41: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

발광 다이오드 (LED)

0.01A 1A 100A m m cm m Gamma rays X rays UV InfraredVisible Microwaves Radio

광통신 대역

Page 42: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

LED 조명과 디스플레이

건물 조명으로 사용되는 LED LCD TV 의 광원으로 이용되는 LED

Page 43: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

OLED 의 발광 원리

전류 정공 /전자 주입 정공 /전자 재결합 가시광 방출

유리 기판

양극정공 수송층

발광층전자수송층

음극

전 원

Page 44: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

OLED 조명

OLED 는 형광등을 대체하여 새로운 조명 광원으로 이용될 수 있다 . 형광등에 사용되는 수은은 인체에 해로워 환경 규제의 대상이

된다 .

OLED 는 형광등을 대체하여 새로운 조명 광원으로 이용될 수 있다 . 형광등에 사용되는 수은은 인체에 해로워 환경 규제의 대상이

된다 .

Page 45: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

OLED 디스플레이

OLED TV

OLED 시계

OLED 휴대폰

Page 46: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

유연성을 가지는 OLED

OLED 는 유연한 기판 위에서 다양한 형태로 변형이 가능하여 전자종이나

휴대용 디스플레이에 응용 가능

OLED 는 유연한 기판 위에서 다양한 형태로 변형이 가능하여 전자종이나

휴대용 디스플레이에 응용 가능

Page 47: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

디스플레이란 무엇인가디스플레이란 ?

화면에 문자와 그림으로 시각적으로 표시하는 장치

인간의 오감 중 시각으로 받아들이는 정보가 가장 많다

정 보

인터페이스

디스플레이 인 간

인터페이스

Page 48: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

현재 사용하고 있는 디스플레이의 종류

LCD PDP

OLEDFED

Page 49: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

태 양 전 지

• 태양 전지의 원리

• 태양 전지의 필요성

• 태양 전지의 활용

Page 50: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

기초과학

태양 전지란 무엇인가태양 전지란 ?

태양광을 받아서 전력을 발생시키는 장치

응용공학

태양전지가 빛을 받으면 전류가 흐르게 된다

Page 51: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

태양 전지가 중요한 이유태양 전지의 중요성

화석 연료의 소모량이 급증하고 그 매장량이 한계에 치닫게 됨에 따라 새로운 대체 에너지의 필요성이 급증 .

청정 에너지이면서 고갈되지 않는 에너지원인 태양에너지를 사용한 태양전지에 대한 관심이 고조 .

화석연료소모량 급증 대체에너지 필요 태양에너지 이용

Page 52: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

태양 전지의 활용

태양 전지를 이용한가정용 발전기

인공위성에 전력공급을위한 태양전지 이용

전력 공급이 되지 않는 지역의 태양전지를 이용한

가정용 발전기

Page 53: 반도체 소자 2011 학년도  2 학기

IntroductionIntroduction

태양 전지의 활용

화성에서 태양전지 소자에서 공급되는 전력을 사용하여 작동하는 탐지기