次世代半導体用テスト工程の効率化を実現する union contact · 2019-10-29 ·...
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Union ContactTM
次世代半導体用テスト工程の効率化を実現する
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進化する半導体と複雑化するテスト工程
5Gサービスの開始、IoT/AIの本格的な普及、自動運転の進展など私たち
を取り巻く世界はあらゆるものが“半導体”で制御されるようになります。そうした
なか、半導体は集積が進みテスト工程がますます複雑化、狭ピッチ対応が求
められます。
Union ContactTM
UPTグループでは、そうした半導体テストニースの高度化に合わせたテスト用コ
ンタクトピンUnion ContactTM を独自設計で開発いたしました。1ピース
構造からなる垂直プローブピンは、複数部品からなる従来のポゴピ
ンと異なり、内部接点のない1本の導電ラインの構造です。
半導体テスト工程の効率化を実現するUnion CotactTM と Union AlloyTM
圧倒的な導電性、低抵抗、低荷重
狭ピッチ対応
お客様の仕様にあわせて、半導体テストのプロによる
セミオーダー設計が可能
オリジナル材料:Union AlloyTM
純銅に近い導電性に加え、強度を兼ね備えています
グローバルトップに認められた微細加工技術
検査工程/装置への影響
・テスト時間増加 -> 高速化, 並列処理・チップ発熱 -> 高効率放熱
システム導入・波形のなまり -> システムの
低インピーダンス・供給電力の増加 -> 低損失
高伝導・低抵抗の高周波向けコンタクトピンへのニーズ
最新の半導体動向
大容量
低消費電力
高帯域動作
マルチチップ
半導体の進化とテストの技術課題
コンタクトピンへの技術要求
低抵抗 / 高導電性
大電流 / 放熱
狭ピッチ / 微細化
多ピン / 低荷重
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Union AlloyTMの優位性
圧倒的な電気伝導率(%IACS)
倒的な熱伝導率と放熱効果 熱伝導率(W/m・k)
圧倒的な許容電流 許容電流(A)
Union AlloyTM
BeCu りん青銅NiCoUnion AlloyTM
BeCu りん青銅NiCo
BeCu りん青銅NiCo
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Union ContactTMとNinjaシリーズ
• Union ContactTMは半導体の前工程~後工程までご利用いただけます。
前工程には検査装置に使いやすいモジュールに組立て納品することも可能
です。後工程はお客様のご利用環境に合わせたセミオーダータイプです。お
気軽にご相談ください。
成膜インプラント・拡散
フォトリソグラフィー
エッチング成膜CMP
裏面研削ウエハ
プローブテスト
ファイナルテスト
バーンイン・信頼性テスト
ダイシング ボンディングモールディング
梱包・出荷
ウエハ入荷 マスク
何回も繰り返す
前工程
後工程
ウエハプローブテスト工程・・・Union Block TM/・・・Union Contact TM/・・・インターポーザー
ファイナルテスト用・・・Union Socket NinjaTM
Union Guide Plate TM
絶縁メタルプレート
Union Cooling Tech TM
水冷機能付きテストソケット
Union Socket Ninja TM
セミオーダー型テストソケット
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〒162-0843 東京都新宿区市谷田町2-37 千代田ビルTel: 03.6265.0495(代) Fax: 03.6265.0496http://upt-co.com
電気テストにUnion CotactTM
Union ContactTMはUPTグループの得意とする微細加工の粋と設計ノウハウ
により、サイズやピッチ、ストローク、許容電流など、お客様のご要望に応じてセ
ミカスタムでご提供いたします。まずは、お気軽にご相談ください。
ご利用事例
• 半導体ウェハテスト用途
• IC・パッケージテスト用途
• 基板テスト用途
• インターポーザ用途
• カメラモジュール用途
• LGA実装コネクタ用途
• 半導体・信頼性テスト用
• 磁気センサー用非磁性
• 高周波用治具