製程危害評估

工研院工研院 環境與安全衛生技術發展中心環境與安全衛生技術發展中心工業安全衛生技術服務部工業安全衛生技術服務部

冉存仁工程師冉存仁工程師

Tel:03Tel:03--5915020,Fax:035915020,Fax:03--59184705918470EE--mail:jan@itri.org.twmail:jan@itri.org.tw

風險評估模式風險評估模式

•複雜模式: 重工業、高科技

•中度模式: 輕工業、產品組裝、資訊業

•簡易模式: 中小企業、營建業、服務業

風險評估模式風險評估模式((續續))

連續式製程/管線系統����

評估模式選擇 批式製程/

裝配作業/維修作業���

工作場所導向模式

作業步驟導向模式

煉油廠、發電廠、焚化爐鋼鐵上游(煉鐵廠)、石化、化工、電子元件(半導體、光電)��

機械工業、鋼鐵中下游、汽車工業、電子產品製造組裝

��

風險評估模式風險評估模式((續續))

危險性工作場所或高潛在危害場所？

初步危害分析重大潛在危害區域？

˙Checklist分析˙FMEA˙HazOp

重大危害事件？

失誤樹分析

否

是

否

是

是

否

工作場所導向模式

製製 程程 危危 害害 分分 析析 方方 法法

文獻搜尋／工業實務調查(Literature Search/Industry Survey)

初步危害分析(Preliminary Hazard Analysis, PHA)

相對危害等級法(Relative Ranking)

工廠巡查(Plant Walk-through)

檢核表分析(Checklist Analysis)

安全稽核(Safety Audit)

如果… .會如何？／腦力激盪(What-if Review/Brainstorming)

失誤模式與影響分析(Failure Modes and Effects Analysis, FMEA)

危害與可操作性分析(Hazard and Operability Study, HazOp)

失誤樹分析(Fault Tree Analysis, FTA)

事件樹分析(Event Tree Analysis, FTA)

危險性工作場所製程安全評估作業流程危險性工作場所製程安全評估作業流程

確定須進行製程安全評估之工作場所

進行初步危害分析鑑認出重大潛在危害：

1.場所區分 2.初步危害分析

是否有重大潛在危害？

危害值是否太高？

是 是

決定進一步分析方法：Checklist、What-if、FMEA、HazOp、FTA

否

做一般性工業安全衛生管理說明

做一般性工業安全衛生管理說明，並說明日後分階段實施製程安全評估之措施

否

初步危害分析

初步危害分析之目的

1. 辨識製程中化學物質的危害性

2. 辨識健康及環境的危害性

3. 檢討塔槽裝置的配置

4. 檢討製程對廠區內其他區域的影響

5. 評估工廠位置與對社區的影響

初步危害分析應考慮事項

1. 製程中的化學品

－ 物理性質 － 健康危害性

－ 反應性與穩定性

2. 化學反應

3. 法規

－ 環境影響 － 符合法規要求所需之設計或操作

－ 廢棄物處理

4. 工廠操作

－ 公共設施 － 儲存方式

－ 運輸方式

初步危害分析所需資訊

1. 製程中化學品的物質安全資料表(MSDS)

2. 化學反應

3. 製程描述

4. 製程流程圖(PFD)

5. 操作量

6. 儲存量

7. 主要操作條件

8. 社區平面圖(Commuity Map)

9. 廠區位置圖(Site Plot)

10. 工廠配置圖(Plant Layout)

a. 檢核表A：物質危害檢核表

檢討化學物質的易燃性、安定性、毒性及健康危害。

b. 檢核表B：物質相容性檢核表

檢討化學物質間及化學品與設備材質間之相容性，是否彼此間在製程中不正常接觸時會有化學反應發生？

c. 檢核表C：處理方法檢核表

考慮化學物質危害對裝置/製程系統設計的可能需求。

初步危害分析之本質危害分析

表1-1 化學危害查核表

計畫代號： 說明： 日期： 化學品之危害性質如下：

總 量 火災/爆炸之危害 反應性／ 毒性危害 其他健康之危害 品 名 狀 態 （庫存量／

生產量）

火 災

爆 炸

靜 電

安定性 之危害

急 性

慢 性

致突 變性

臭 味

粉塵 危害

腐 蝕 性

放 射 性

燙傷 / 凍傷

其 他

危害之潛在性： 參考註解號數 ü 重大 ？ 可能 → → 如：註解 45 － 無

？ 45

查 核 表 A

有關化學物質危害性質之詳細資料，是否都已做了確認？

表1-2 化學物質相容性查核表

計畫代號： 說明： 日期： 考量化學品與化學品

化 學 物 質 反 應 特 化學物質 性

？ 45

查 核 表 B

有關化學物質危害性質之詳細資料，是否都已做了確認？

危害之潛在性： 參考註解號數 ü 重大 ？ 可能 → → 如：註解45 － 無

結構材質

化學物質

表1-3 化學物質處理方法查核表 計畫代號： 說明： 日期： 化學品及其處理方法如下：

品 名 狀態 總 量 （庫存量／ 生產量）

儲

存

運

輸

處

理

製

程 條 件

構

造 材 質

除

污

氣

體 排 放

液

體 排 放

排放物/

固體/廢棄物

燃燒塔/

焚化爐

品

質 控 制

應

變 程 序

區

域 分 級

廠

區 配 置

公

用 設 施

規

範 標 準

危害之潛在性： 參考註解號數 ü 重大 ？ 可能 → → 如：註解 45 － 無

？ 45

查 核 表 C

有關化學物質危害性質之詳細資料，是否都已做了確認？

HAZARD STUDY 1（化學危害查核表）

計畫代號：

說明： 日期：

化學品之危害性質如下：

總 量 火災/爆炸之危害 反應性／ 毒性危害 其他健康之危害

品 名 狀 態 （庫存量／ 生產量）

火 災

爆 炸

靜 電

安定性之危害

急 性

慢 性

致突 變性

臭 味

粉塵

危害

腐 蝕 性

放 射 性

燙傷 / 凍傷

其 他

AS樹脂 固 25T/D ？ 1

？ 1

？ 2

ü 3

ü 4

ü 5

－

－

ü 6

－

－

－

－

ABS樹脂 固 25T/D ？ 1

？ 1

？ 2

ü 3

ü 4

ü 5

－

－

ü 6

－

－

－

－

危害之潛在性： 參考註解號數 ü 重大 ？ 可能 → → 如：註解45 － 無

？ 45

查 核 表 A

有關化學物質危害性質之詳細資料，是否都已做了確認？

1. 粉塵可能會有火災爆炸之危害。

2. 在有粉塵存在之場所應避免引火源和靜電的產生及累積。

3. 在高溫下會釋出CO、CO2及氮氧化物。應避免與強氧化劑、強酸或強鹼等物質接觸。

4. 燻煙可能刺激鼻、咽及肺。曝露於高濃度下可能會引起意識喪失或死亡。吸入會引起反胃、嘔吐、抽筋、腹部疼痛，甚至死亡。

5. 長期曝露於燻煙下，對健康可能會有危害。

6. 吸入大量粉塵可能造成顆粒蓄積於鼻、咽、呼吸道及肺。

查核表 A 註解

a. 依製程工場實務劃分製程區域，如：反應區、回收區、純化區、儲槽區等。

b. 針對各製程區域以下列問題進行檢核，符合以下任一條件即為重大潛在危害區域：

□Q＞20% TQ。

□高放熱反應：氧化（Oxidation）、硝化（Nitration）、鹵化（Halogenation）、有機金屬化

（Organmetallics）、偶氮化（Diazotization）、氫化（Hydrogenation）、裂解/熱分解（Thermal

Decomposition）、聚合（Polymerization）、磺化（Sulphonation）、縮合（Condensation）。

□製程中之組成在爆炸下限（LEL）以上，爆炸上限（UEL）以下，或濃度在此範圍附近者。

□具有在100℃以下熱不安定性，或與一般物質，如空氣、水、其他可能污染物接觸後起反應之物質，

P≥10psig（1.75atm. Abs.）。

□T＞A.I.T.或為易燃性氣體。

□P≥20㎏/㎝2 或 P≤500㎜Hg。

□製程中有明顯之高低壓差，∆P；（上游壓力）≥4（下游壓力）。

符號說明：�hQ：製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量，概估該製程區內塔槽與管線中的總量，單位為kg。�hTQ：勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量，或附表二中有害物的法定限量。�hT：製程區中的最大操作溫度。�hA.I.T.：可燃性或易燃性液體的自燃溫度。�hP：製程區中的最大操作壓力。�h∆P：製程中上下游的操作壓差。

初步危害分析之系統作用危害分析

項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區

1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件

否

2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件

否

3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是

4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件

否

5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件

否

6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件

否

7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸。 是

初步危害分析區域劃分情形及評估結果

分數 項目

10分 5分 2分 0分

NFPA (F) 4,3 2 1

Vp(kg/cm2) 20℃ 蒸氣壓

Vp≧3

3＞Vp≧0.8

0.8＞Vp≧0.2

Vp＜0.2

Q(kg) 存在量

Q≧5000 5000＞Q≧1000 1000＞Q≧100 Q＜100

T(℃) 操作溫度

T≧1000 1000＞T≧250 250＞T≧70 T＜70

P(kg/cm2G) 操作壓力

P≧1000 1000＞P≧200 200＞P≧10 P＜10

各項總合大於20分(不包括20分)為重大潛在危害

註：1.若系統內同時含多種危險物或有害物，其物料危害分數（指NFPA等級及Vp）均

應分別計算，並取其最高值。

2.若系統內同時含多種危險物或有害物，應分別計算其存在量，並取其最高值。

3.操作溫度及壓力均以系統內最高之操作溫度及壓力計算之。

4.輕油裂解工作場所以危險物計算。

危險物重大潛在危害判定表

分數 項目

10分 5分 2分 0分

NFPA (H或R) 4或Ca 3 2 1 Vp(kg/cm2) 20℃ 蒸氣壓

Vp≧3

3＞Vp≧0.8

0.8＞Vp≧0.2

Vp＜0.2

Q(kg) 存在量

Q＞50% 附表二 規定數量

5%≧Q＞30% 附表二規定數量

30%≧Q＞10% 附表二規定數量

10%≧Q 附表二 規定數量

T(℃) 操作溫度

T≧1000 1000＞T≧250 250＞T≧70 T＜70

P(kg/cm2G) 操作壓力

P≧1000 1000＞P≧200 200＞P≧10 P＜10

各項總合大於20分(不包括20分)為重大潛在危害

註：1.若系統內同時含多種危險物或有害物，其物料危害分數（指NFPA等級及Vp）均應分別計算，並取其最高值。

2.若系統內同時含多種危險物或有害物，應分別計算其存在量，並取其最高值。 3.操作溫度及壓力均以系統內最高之操作溫度及壓力計算之。 4.輕油裂解工作場所以危險物計算。

有害物重大潛在危害判定表

半導體機台相對危害等級分析半導體機台相對危害等級分析

‧‧ 選擇一個具有潛在火災、爆炸及選擇一個具有潛在火災、爆炸及毒性物質外洩之機台。毒性物質外洩之機台。

‧‧ 辨識出該機台所使用之化學物質辨識出該機台所使用之化學物質中毒性中毒性((立即健康危害因子立即健康危害因子))最高最高之物質作為評估毒性物質曝露之之物質作為評估毒性物質曝露之物質。物質。

‧‧ 根據毒性物質曝露指數所考慮之根據毒性物質曝露指數所考慮之五項危害因子分別評估每一項因五項危害因子分別評估每一項因子之危害等級。子之危害等級。

‧‧ 將評估所得之五項危害等級數相將評估所得之五項危害等級數相乘即可得到毒性物質曝露指數。乘即可得到毒性物質曝露指數。

‧‧ 將毒性物質曝露指數轉換為毒性將毒性物質曝露指數轉換為毒性物質曝露等級。物質曝露等級。

毒性物質曝露等級毒性物質曝露等級(0(0--4)4)

毒性物質曝露指數毒性物質曝露指數

5.5.人員／設備財產曝露人員／設備財產曝露(1(1--3)3)

4.4.製程危害製程危害(1(1--4)4)

3.3.通風系統通風系統(1(1--3)3)

2.2.蒸氣量蒸氣量(1(1--4)4)

1.1.立即健康危害立即健康危害(0(0--5)5)

半導體機台相對危害等級分析半導體機台相對危害等級分析((續續))

‧‧ 辨識出該機台所使用之化學辨識出該機台所使用之化學物質中易燃性物質中易燃性((NfNf))或反應性或反應性(Nr)(Nr)最高之物質作為評估火最高之物質作為評估火災爆炸危害之物質災爆炸危害之物質

‧‧ 根據火災爆炸危害指數所考根據火災爆炸危害指數所考慮之五項危害因子分別評估慮之五項危害因子分別評估每一項因子之危害等級每一項因子之危害等級

‧‧ 將評估所得之五項危害等級將評估所得之五項危害等級數相乘即可得到火災爆炸危數相乘即可得到火災爆炸危害指數害指數

‧‧ 火災爆炸危害指數轉換為火火災爆炸危害指數轉換為火災爆炸危害等級災爆炸危害等級

火災爆炸危害等級火災爆炸危害等級(0(0--4)4)

火災爆炸危害指數火災爆炸危害指數

5.5.人員／設備財產曝露人員／設備財產曝露(1(1--3)3)

4.4.製程危害製程危害(1(1--4)4)

3.3.通風系統通風系統(1(1--3)3)

2.2.蒸氣量蒸氣量(1(1--4)4)

1.1. 物質火災爆炸本質危害物質火災爆炸本質危害(0(0--4)4)

半導體機台相對危害等級分析半導體機台相對危害等級分析((續續))

‧‧取毒性物質曝露等級與取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高火災爆炸危害等級較高者為機台相對危害等者為機台相對危害等級；若毒性物質曝露等級；若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級級與火災爆炸危害等級兩者均大於或等於兩者均大於或等於33，則，則取較高之等級加取較高之等級加11作為機作為機台相對危害等級台相對危害等級

‧‧將機台相對危害等級對將機台相對危害等級對應出此機台之危害程度應出此機台之危害程度

機台危害程度機台危害程度

機台相對危害等級機台相對危害等級(0(0--5)5)

毒性物質曝露等級毒性物質曝露等級(0(0--4)4)／／火災爆炸危害等級火災爆炸危害等級(0(0--4)4)

半導體機台相對危害等級分析半導體機台相對危害等級分析((續續))

高度高度機台危害程度機台危害程度

55機台相對危害等級機台相對危害等級(0(0--5)5)

4433毒性物質曝露等級毒性物質曝露等級(0(0--4)4)／火災爆／火災爆炸危害等級炸危害等級(0(0--4)4)

1441443636毒性物質曝露指數／火災爆炸危毒性物質曝露指數／火災爆炸危害指數害指數

33335.5.人員曝露人員曝露(1(1--3)3)

22224.4.製程危害製程危害(1(1--4)4)

33113.3.通風系統通風系統(1(1--3)3)

22222.2.蒸氣量蒸氣量(1(1--4)4)

44331.1.立即健康危害立即健康危害(0(0--5)5)／物質火災／物質火災爆炸本質危害爆炸本質危害(0(0--4)4)

二、火災爆炸危害二、火災爆炸危害一、毒性物質曝露一、毒性物質曝露機台：機台： AMT ProducerAMT Producer

可燃性物質：可燃性物質：SiHSiH44毒性物質：毒性物質：NFNF33模組：模組：CVDCVD

危險性工作場所製程安全評估作業流程危險性工作場所製程安全評估作業流程((續續))

進行進一步分析工作

製程危害控制與檢核

評定各改善建議是否可接受？

完成改善建議彙整

提出製程安全評估報告書及經相關人員簽認

陳述理由或替代方案

屬安全管理制度之建議，於申請資料上修正

是

否

屬須耗時修改部份，指定負責部門及完成期程

依承諾期程完成改善

製程安全評估

製製 程程 危危 害害 分分 析析

Ü製程危害分析是一個具組織化與系統化之分析方法

Ü可鑑認與分析出高危害性化學物質製程之潛在危害

HazOpHazOp的的 定定 義義

一個對於新設或既設

設備檢驗偏離設計目

的之潛在危害與後果

影響之系統化方法。

HazOp HazOp 引引 導導 字字

較多(More) 定量增加相關之物理參數

較少(Less) 定量減少相關之物理參數

無(No) 完全不具設計目的

相反的(Reverse) 在邏輯上與設計目的相反

只有部份(Part of) 定性減少

不僅… 又(As Well As) 定性增加

不是/沒有… 的(Other Than) 完全取代

引 導 字 意 義

一一 般般 製製 程程 參參 數數

流量流量 成成 份份 頻頻 率率 混混 合合((Flow) (Composition) Flow) (Composition) (Frequency)(Frequency)(Mixing)(Mixing)

壓力壓力 時時 間間 黏黏 度度 增增 加加((Pressure)Pressure)(Time)(Time)(Viscosity)(Viscosity)(Addition)(Addition)

溫度溫度 pHpH值值 電電 壓壓 分分 離離((Temp.) (pH)Temp.) (pH)(Voltage)(Voltage)(Separation)(Separation)

液位液位 速速 度度 資資 訊訊 反反 應應((Level) (Speed) (Information) (Reaction)Level) (Speed) (Information) (Reaction)

偏離矩陣偏離矩陣引導字 偏離

製程參數

較多

MORE

較少

LESS

無

NO

相反

REVERSE

只有部份

PART OF

不僅...又

AS WELL AS

除...之外

OTHER THAN

流量 高流量 低流量 無流量 逆流

壓力 高壓 低壓 真空

溫度 高溫 低溫

液位 高液位 低液位 無液位

成分 錯誤組成 雜質 錯誤物質

反應 高反應 低反應 無反應 副反應 錯誤反應

時間 時間太長 時間太短 動作未執行

程序 動作太晚 動作太早 程序內容有缺失

未依照順序執行步驟

部份動作未執行

執行額外的動作

執行錯誤的動作

其他參數?濃度?黏度?pH值?混合?靜電......

偏離資料庫偏離資料庫

•• 管線管線•• 反應器反應器(Chamber)(Chamber)•• 儲槽儲槽//容器容器•• LOCAL SCRUBBERLOCAL SCRUBBER•• 操作程序操作程序

製程偏離製程偏離((管線管線))

‧‧高流量高流量‧‧低低//無流量無流量‧‧流向錯誤流向錯誤‧‧逆流逆流‧‧錯誤組成錯誤組成‧‧雜質雜質‧‧錯誤物質錯誤物質‧‧高壓高壓‧‧低壓低壓

‧‧高溫高溫‧‧低溫低溫‧‧洩漏洩漏//破裂破裂‧‧內漏內漏‧‧空氣漏入空氣漏入‧‧其他其他

危害與可操作性分析工作表危害與可操作性分析工作表

項

目

製程

偏離

可能

原因

可能

後果

防護

措施

嚴重

性

可能

性

風險

等級

改善

建議

1.1.建議建議recipe recipe 更改後，應由更改後，應由另一人進行確另一人進行確認。認。2.2.確認確認MFCMFC是否是否有高流量自動有高流量自動斷氣與斷氣與N2 auto N2 auto purgepurge之功能。之功能。

33DD111.Local Scrubber1.Local Scrubber可可處理反應器之廢氣排處理反應器之廢氣排放。放。2.2.機台有機台有MFCMFC流量顯流量顯示。示。3.3.機台有高流量警機台有高流量警報。報。4.4.有有Monitor glassMonitor glass，，可監控產品厚度。可監控產品厚度。5.5.定期做定期做MFCMFC檢測，若檢測，若有問題則送校。有問題則送校。6.MFC6.MFC最大流量為最大流量為12slm12slm。。7.Clean room7.Clean room內有偵內有偵煙感知器與警報及煙感知器與警報及CO2CO2滅火器。滅火器。

SiH4SiH4供應供應量過大，量過大，部份未反部份未反應之應之SiH4SiH4排至排至ExhaustExhaust系系統，有潛統，有潛在造成火在造成火災爆炸之災爆炸之危害。危害。

1.Recipe1.Recipe設定錯誤設定錯誤2.MFC2.MFC故障故障導致開度導致開度過大。過大。

高流高流量量

1 1

改善建議改善建議風險風險等級等級

可可能能性性

嚴嚴重重性性

防護措施／補充說明防護措施／補充說明可能危害可能危害／後果／後果

可能原因可能原因製程製程偏離偏離

項項目目

危害與可操作性分析工作表危害與可操作性分析工作表((由由VMBVMB供應至反應器之供應至反應器之SiH4SiH4管線管線 ))

HAZOPHAZOP分析方法流程分析方法流程

1.1.選擇一節點選擇一節點2.2.解釋此一節點的設計目解釋此一節點的設計目的的3.3.選擇一製程參數選擇一製程參數4.4.選擇一引導字用在製程選擇一引導字用在製程參數上以發展出有意義的參數上以發展出有意義的製程偏離製程偏離5.5.列出偏離可能的列出偏離可能的原因原因6.6.檢驗與偏離相關的檢驗與偏離相關的後果後果7.7.辨識既存的辨識既存的防護措施防護措施

8.8.決定後果決定後果嚴重性嚴重性等級等級9.9.決定後果決定後果可能性可能性等級等級10.10.對應出對應出風險等級風險等級11.11.評估風險的可接受性評估風險的可接受性12.12.提出提出改善建議改善建議13.13.重複所有引導字重複所有引導字((步驟步驟4)4)14.14.重複所有製程參數重複所有製程參數((步步驟驟3)3)

15.15.重複所有節點重複所有節點((步驟步驟1)1)

評估原則評估原則

‧‧製程偏離製程偏離——僅考慮本節點僅考慮本節點‧‧原因原因——僅考慮本節點僅考慮本節點‧‧後果後果——考慮任何地方考慮任何地方‧‧風險等級風險等級——考慮後果嚴重性與後果可能性考慮後果嚴重性與後果可能性‧‧專注於專注於——重大潛在危害或工廠特別關切者重大潛在危害或工廠特別關切者‧‧著重著重——危害辨識而非設計危害辨識而非設計

辨識後果辨識後果

起始原因/事件(本節點)

防護措施失效

單元內之後果

其他地方之後果

系統內之後果

估計事故發生的可能性估計事故發生的可能性

原因聯鎖系統失效1

備用系統失效2

無法洩放3 最終後果

最終後果的可能性

時間/序列

★ 可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施失效至最終後果的機率之組合

表格

偏離 原因 後果 防護措施 改善建議

撰寫報告 追蹤考核HAZOP分析

研究目標及範圍確認人員編組資料蒐集研討節點劃分及進度安排會議安排

執行評估準備評估 撰寫報告 追蹤考核

HAZOPHAZOP分析程序分析程序

主要次系統主要次系統

•• ChamberChamber•• PumpPump•• 整段管線整段管線•• Local ScrubberLocal Scrubber•• …… ......

次要次系統次要次系統

‧‧Chamber PartsChamber Parts‧‧MFCMFC‧‧閥閥((氣動閥、調壓閥、手動閥、氣動閥、調壓閥、手動閥、Throttle Throttle Valve)Valve)‧‧部分管線部分管線‧‧HeaterHeater‧‧MeterMeter、、GaugeGauge‧‧RF RF 產生器產生器‧‧⋯⋯......

氣體供應氣體供應//機台機台//廢氣處理系統流程廢氣處理系統流程

Gas Cabinet VMB/P Gas Box/PanelTool

(Chamber)

Foreline(Pumping Line) Local Scrubber Central Scrubber Fan

大氣

分析邊界分析邊界

‧‧氣瓶櫃氣瓶櫃––從氣瓶櫃至從氣瓶櫃至VMBVMB––更換氣瓶程序更換氣瓶程序

‧‧機台機台––從從VMBVMB出口經機台至出口經機台至Local ScrubberLocal Scrubber出口出口––具有危害性之具有危害性之PMPM程序程序

表格

偏離 原因 後果 防護措施 改善建議

撰寫報告 追蹤考核HAZOP分析

研究目標及範圍確認人員編組資料蒐集研討節點劃分及進度安排會議安排

執行評估準備評估 撰寫報告 追蹤考核

HAZOPHAZOP分析程序分析程序((續續))

評估小組成員評估小組成員

設備工程師 製程工程師 廠務工程師 安衛工程師

工程技術組

小組長 技術秘書

HAZOP技術組

評估小組

※視需要參加 ※視需要參加

表格

偏離 原因 後果 防護措施 改善建議

撰寫報告 追蹤考核HAZOP分析

研究目標及範圍確認人員編組資料蒐集研討節點劃分及進度安排會議安排

執行評估準備評估 撰寫報告 追蹤考核

HAZOPHAZOP分析程序分析程序((續續))

評估小組成員需準備之資料評估小組成員需準備之資料

‧‧管線儀錶圖管線儀錶圖(P&IDs)(P&IDs)‧‧製程簡介製程簡介‧‧操作手冊操作手冊(OPERATION MANUAL)(OPERATION MANUAL)‧‧維修手冊維修手冊(MAINTENANCE MANUAL)(MAINTENANCE MANUAL)‧‧操作指引操作指引(OI)(OI)‧‧物質安全資料表物質安全資料表(MSDS)(MSDS)‧‧若評估小組成員對此機台不夠熟悉，可請若評估小組成員對此機台不夠熟悉，可請VENDORVENDOR一起參與評估一起參與評估

表格

偏離 原因 後果 防護措施 改善建議

撰寫報告 追蹤考核HAZOP分析

研究目標及範圍確認人員編組資料蒐集研討節點劃分及進度安排會議安排

執行評估準備評估 撰寫報告 追蹤考核

HAZOPHAZOP分析程序分析程序((續續))

節點劃分節點劃分

‧‧機台機台––管線管線––ChamberChamber及及Exhaust(Exhaust(含真空泵含真空泵))––Local ScrubberLocal Scrubber

‧‧Wet BenchWet Bench––模組模組((如如HFHF模組、模組、APMAPM模組、模組、SPMSPM模組模組))

‧‧TRACKTRACK––模組模組((如如HMDSHMDS模組、模組、RESISTRESIST模組、模組、DEVDEV模組模組))

‧‧Gas CabinetGas Cabinet––管線管線––操作程序操作程序

節點編碼範例節點編碼範例

‧‧第一碼：廠別第一碼：廠別‧‧第二、三碼：機台序號第二、三碼：機台序號‧‧第四、五碼：節點序號第四、五碼：節點序號‧‧範例：範例：1030510305––11：一廠：一廠––0303：第：第33台機台台機台––0505：第：第55個節點個節點

表格

偏離 原因 後果 防護措施 改善建議

撰寫報告 追蹤考核HAZOP分析

研究目標及範圍確認人員編組資料蒐集研討節點劃分及進度安排會議安排

執行評估準備評估 撰寫報告 追蹤考核

HAZOPHAZOP分析程序分析程序((續續))

會議安排會議安排

‧‧人人––評估小組成員評估小組成員

‧‧事事––會議室預定會議室預定––通知小組成員通知小組成員

‧‧時時––會議時間安排會議時間安排

‧‧地地––廠內廠內––廠外廠外

‧‧物物––白板白板––投影機投影機––電腦電腦––MonitorMonitor––單槍投影機單槍投影機––軟體軟體––彩色筆彩色筆––⋯⋯......

表格

偏離 原因 後果 防護措施 改善建議

撰寫報告 追蹤考核HAZOP分析

研究目標及範圍確認人員編組資料蒐集研討節點劃分及進度安排會議安排

執行評估準備評估 撰寫報告 追蹤考核

HAZOPHAZOP分析程序分析程序((續續))

執行程序執行程序

‧‧HAZOPHAZOP方法方法說明說明((小組小組長長))‧‧製程說明製程說明((製程工程師製程工程師))‧‧P&IDP&ID說明說明((設備工程師設備工程師))‧‧至至現場現場看機台看機台((視視需要需要))‧‧執行執行HAZOP(HAZOP(使用小工安使用小工安2.0)2.0)‧‧彙整彙整報告報告

表格

偏離 原因 後果 防護措施 改善建議

撰寫報告 追蹤考核HAZOP分析

研究目標及範圍確認人員編組資料蒐集研討節點劃分及進度安排會議安排

執行評估準備評估 撰寫報告 追蹤考核

HAZOPHAZOP分析程序分析程序((續續))

報告內容報告內容

•• 節點對照表節點對照表•• 已劃分好節點之已劃分好節點之P&IDP&ID•• 分析工作表分析工作表•• 改善建議彙整表改善建議彙整表•• 改善建議審核表改善建議審核表•• 會議記錄表會議記錄表•• 小組成員資歷表小組成員資歷表

表格

偏離 原因 後果 防護措施 改善建議

撰寫報告 追蹤考核HAZOP分析

研究目標及範圍確認人員編組資料蒐集研討節點劃分及進度安排會議安排

執行評估準備評估 撰寫報告 追蹤考核

HAZOPHAZOP分析程序分析程序((續續))

Purge ventScrubber

Fume Exhaust

SiH4 Gas Cabinet PECVD Vacuum Local Scrubber

二次配管一次配管

CentralScrubber

大氣

SiH4SiH4流程示意圖流程示意圖

VMB

氯氯 氣氣 進進 料料 管管 線線 系系 統統

至洗滌塔

LAH

LI

LI

PI

至洗滌塔

PCV-1

N2(200 psig)

250 psig

氯氣儲槽90 T HCV-1

PI

HCV-2氯進料槽

1 T

250 psig

A.O.

A.O.

N2 沖吹

為了增加製程產量，XYZ公司在90噸液氯儲槽(Cl2 Storage Tank)和反應器進料槽(Feed Tank)間安裝了一根新的進料管線，在每一個批次之前，控制室的操作員必須將1噸的液氣送入進料槽，新加入的管線可使操作員在約1小時內完成這項工作，氮氣壓力可用來推動液氯流經這根1英里長，未絕緣、焊接的管線，儲槽和進料槽均在常溫下操作。

氯氯氣氣進進料料管管線線系系統統 ((續續))

至洗滌塔

LAH

LI

LI

PI

至洗滌塔

PCV-1

N2(200 psig)

250 psig

氯氣儲槽90 T HCV-1

PI

HCV-2氯進料槽

1 T

250 psig

A.O.

A.O.

N2 沖吹

如果製程因任一原因而導致停車，液氯必須從管線中沖吹出來，在控制室之操作員關閉HCV-1和HCV-2之後，現場的操作員關閉手動阻閥並且打開至洗滌塔(Scrubber)的管緣，在冷天或檢修進料管緣時，現場的操作員也將慢慢地打開氮氣沖吹(N2Purge)以便清除管線，必須慢慢沖吹，否則洗滌塔將無法完全中和大量的液氯，在洗滌塔的排放管線中有一氯氣偵測器，現場操作員關閉洩放閥及沖吹閥，並且於製程操作需要繼續時再次打開手動阻閥。