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ショートフォームカタログ 磁気計測

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Page 1: ショートフォームカタログ 磁気計測 - 東陽テクニカ...ショートフォームカタログ 磁気計測 ガウスメータとは? 5100シリーズ 6010型 2 磁場強度

ショートフォームカタログ

磁気計測

ガウスメータとは?........................ 2

5100シリーズ................................ 4

6010型............................................ 6

8000シリーズ............................... 8

測定のポイント.............................. 11

プローブ........................................... 12

アクセサリ.......................................24

ホール素子......................................25

Page 2: ショートフォームカタログ 磁気計測 - 東陽テクニカ...ショートフォームカタログ 磁気計測 ガウスメータとは? 5100シリーズ 6010型 2 磁場強度

2

磁場強度

発生源

磁場による影響

オフィス、住宅

地磁気心磁波 MRI

脳磁波送電線、電車、家電製品

CRTの画像に影響

MRI、電子顕微鏡、電子ビーム装置に影響

1nG 1μG 1mG 1G 1kG

1pT 1nT 1μT 1mT 1T

どうやって使うの?ガウスメータは、計測値を表示する本体とホール素子がパッケージ化されたプローブで構成されています。お客様が測定したい、磁場の大きさ、種類、必要な精度、機能などを考慮して本体を選択し、測定対象物の形状などを考慮して最適な性能、形状のプローブを選択して下さい。

ガウスメータとは?ガウスメータ(テスラメータ)とは磁場(磁束密度)を計測する計測器です。この磁場(磁束密度)は、我々の生活環境におけるあらゆる場面にて遭遇しますが、目に見えないため、その存在に気付くことがあまりありません。このガウスメータがあれば、磁場を簡単に計測できます。

I+(電流)

F(力)

B(磁場)

F(力)

I(電流)B(磁場)

V-(電圧)V+(電圧)

I-(電流)

どんな原理なの?F.W.BELL 社のガウスメータはホール効果を利用しています。InAs などに代表される Ⅲ−Ⅴ 系半導体のホール素子が磁場に比例した電圧を出力するので、その電圧から磁場(磁束密度)が簡単に換算できます。

磁場の単位は?

磁場の種類と大きさ

磁場量 CGS 単位系 SI 単位系

磁束(φ) Mx(マクスウェル) W(ウェバー)

磁束密度(B) G(ガウス) T(テスラ)

磁場強度(H) Oe(エルステッド) A/m(アンペア/メータ)

B = φ /A  B = μ H  1W = 108 Mx  1T = 104 G

ガウスメータとは?

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3

環境磁場測定(3 次元測定)磁場は向きを持ったベクトル量です。3 次元計測が磁場計測の理想です。3 軸プローブがあれば簡単に 3 次元の測定が出来ます。

セレクションガイド入力 ch 数 DC 基本確度 測定範囲 周波数範囲 インターフェイス アナログ出力

5170 型 1 2% 100nT ~ 2T DC ~ 10kHz × ×

5180 型 1 1.10% 100nT ~ 3T DC ~ 20kHz USB ○

6010 型 1 0.25% 100nT ~ 30T DC ~ 20kHz RS-232C ○

8010 型 1 0.05% 0.1nT ~ 30T DC ~ 50kHz イーサネット , RS-232C ○

8030 型 3 0.05% 0.1nT ~ 30T DC ~ 50kHz イーサネット , RS-232C ○

注 : 測定範囲、周波数範囲はプローブによります。

ガウスメータとは?

5100シリーズ

6010型

8030型

磁気部品の測定家電品、自動車などにはたくさんの磁石、磁石を利用した部品が使われています。薄型、フレキシブルプローブはそれら磁気部品の評価に最適です。

環境磁場測定我々の生活環境には様々な磁場が存在します。それら磁場発生源からの漏洩磁界測定には低磁界プローブが抜群の能力を発揮します。

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4

特長■クラス最高の基本確度 1.1%■従来のハンディタイプの100 倍の分解能(低磁界プローブ使用)■ DSP を搭載■オートゼロ機能■最小値/最大値/ピークホールド機能■オートレンジ■リラティブ測定■アナログ出力(± 3V FS)■ USB インターフェース搭載

F.W.Bell 社の DSP を搭載したホール効果型ハンディガウスメータ 5100 シリーズは 0 〜 3T に渡り 1.1%のクラス最高の基本確度を実現しました。

オートゼロ、最小値/最大値/ピークホールド機能、オートレンジ、リラティブ測定機能などの基本機能はすべて装備しています。“ガウス”、“テスラ”、“Amps / Meter”の単位表示を選択でき、5180 型はアナログ出力(± 3V FS)や USB インターフェースも装備しています。

5100 シリーズハンディガウスメータに内蔵されていているソフトウエアにより、複雑な校正作業等の煩わしさもなく、優れた操作性により簡単に測定することができます。どちらのモデルにも、トランスバースプローブ、ゼロガウスチェンバー、マニュアル、専用キャリングケース、単三乾電池が標準添付されています。アキシャルプローブ、薄型トランスバースプローブ、低磁界用プローブはオプションです。

5100 シリーズは、高感度を要求される研究用途からタフさが要求されるような用途まで様々なアプリケーションに最適です。すべての装置は CE マーキングを取得しています。

ハンディ&バッテリ駆動重さ 400g、手のひらにのる大きさ。AC アダプタもしくは、単三電池 4 個で駆動。ハードケース付きなので、携帯にとても便利です。

100K サンプル/秒の高速測定ハンディタイプでも、100K サンプル/秒の高速測定が可能です。

ピーク・ホールド測定ピークホールド機能を装備しております。製造工程での検査、品質管理部門での評価用と様々なお客様のニーズに対応できます。

アナログ出力& USB を装備した高性能モデル 5180 型5180 型は、ハンディタイプでありながら、アナログ出力とUSB を装備しています。レコーダ等へ接続しての磁場変動測定、コンピュータへ接続してのデータ取り込み等に力を発揮します。USB インターフェースで制御したソフトウェアにより収集し た デ ー タ は CSV 形 式 で、Time Stamp/reading/unit/input coupling(DC or AC)のデータが保存されます。

豊富なオプションプローブ5100 シリーズには、約 10 数種類あります。長さが異なるトランスバースプローブ、アキシャルプローブそして、スピーカーやモーターの磁場測定に便利な極薄プローブ(厚さ:0.5mm)等、100 倍の分解能の低磁界プローブ等アプリケーションに合わせて対応できます。

Model 5170 Model 5180

オートゼロ ○ ○

最小 / 最大ホールド ○ ○

RMS ○ ○

オートレンジ ○ ○

ピークホールド ○

リラティブモード ○

アナログ出力 ○

USB ポート ○

5100シリーズ

DSP搭載ハンディガウスメータ

5100シリーズ

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5100シリーズ

5100 シリーズ仕様 (プローブ無し、23 ± 3℃、RH<85%)

型 名 5170 5180

周波数範囲 DC-10kHz DC-25kHz

測定レンジと分解能 Ultra Low RangeLow RangeMid RangeHigh Range

100.0 μT(1.000G) 20.00mT(200.0G) 200.0mT(2.000kG) 2.000T(20.00kG)

100.0 μT(1.000G)30.00mT(300.0G) 300.0mT(3.000kG) 3.000T(30.00kG)

基本確度DC モード Low Range

Mid & High Range1.25 + 41.00 + 3

0.8 + 40.6 + 3

AC モード(for sine 波 >6G or 0.6mT)*1

10-20Hz20-20,000Hz20kHz to 25kHz(1x アキシャルプローブのみ)

3.50 + 82.50 + 5

N/A

3.0 + 82.0 + 53.0 + 5

最小・最大ホールド DC モード 100ms(typ)

AC モード 700ms (@10Hz)500ms(@300Hz)250ms(@300-4000Hz)100ms(@>4kHz)

ピークホールドタイム N/A DC,AC モード 128μs(min)

更新レート ディスプレイ 4 サンプル / 秒 4 サンプル / 秒

アナログ出力 なし 100k サンプル / 秒

ディスプレイ LCD LCD

表示桁数 3 1/2 3 2/3

単位 Gauss, Tesla, Amp/Meter Gauss,Tesla,Amps/Meter

インターフェイス — USB(1 サンプル / 秒)

*1 2kHz 以上の最小レンジの 4%未満における測定時にはさらに 8カウントの誤差が加わります。

アナログ出力基本確度 (±読み値の % ± mV) :5180

DC モード Low RangeMid & High Range

0.75 + 60.50 + 5

AC モード(for sine 波 >6G or 0.6mT)* 2

10-20Hz20-5,000Hz22kHz

3.00 + 82.50 + 5

-3dB

ディレイタイム 30μs

サンプルレート 8μs

立ち上がり時間 DC モード 250μs

DC ピークホールド 60μs

AC モード、AC ピークモード 30μs‐2ms

スケール DC:3Vdc  AC:3Vrms

ノイズ Low:15.5mVrms  Mid:4.5mVrms  Hi:1.5mVrms

*2 2kHz 以上の最小レンジの 4%未満における測定時にはさらに 8mv の誤差が加わります。

共通仕様

バッテリ 単三アルカリ電池(4 本)

バッテリ寿命 20 時間

動作温度保管温度

0℃~ 50℃-25℃~70℃

寸法 175 mm (L) x 99 mm (W) x 36 mm (H)

重量 400g

標準アクセサリ … トランスバースプローブ(5170;STH17-0404、5180;STD18-0404)、ゼロガウスチェンバ(YA-111)、 ハードケース、マニュアル(英文・和文)、AC アダプタ

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用途やご要望に合わせた測定器の制御と測定値の出力が可能となります。

27 のパラメータ測定モデル 8030 型では、各チャンネル毎に 7 個のパラメータ(磁束密度・周波数・温度・最小値・最大値・最大ピーク・最小ピーク)の測定と表示が可能です。ベクトル和の機能を使うことにより 27 個の異なるパラメータの測定と表示が可能となります。

40 種類以上のプローブ使用可能なプローブの種類は 40 種類を超え、お客様の様々な測定用途に合わせたプローブのご使用が可能です。プローブの種類は、汎用的なトランスバースプローブ、アキシャルプローブに加えて、3 軸プローブやマグナ型プローブ、極低温プローブなど多岐に渡ります。

メニューシステム本製品のメニューシ ス テ ム は、 右図に示すようにメニューの選択・機能 に リ ン ク し た

“ ホ ッ ト キ ー” によ り 直 感 的 に 操作できます。ホット キ ー の 選 択 は、ディスプレイ右側にあるキーパッドから可能です。フロントパネル上のキーパッドには、バックライトが備わっており、「動作中」や「動作待ち」状態が照明により識別できます。

8000シリーズ

8010型 ハイエンド・ガウスメータ8030型 3ch・3軸ガウスメータ

8000シリーズ

特 長■ 30μT 〜 30T の 7 レンジ■ AC 磁場と AC 周波数測定(周波数レンジ:〜 50kHz)■ テスラ、ガウス、A/m、Oe 表示■ 温度測定、温度補償磁場測定■ ピークキャプチャ機能■ リラティブモード■ オートゼロ、オートキャリブレーション■ 大きな EL ディスプレイ(27 パラメータ表示)■ イーサネット、RS-232 標準装備■ 40 種類以上のオプションプローブに対応

概 要モデル 8010 型 , 8030 型は、60 年以上に渡りガウスメータ業界を牽引してきた F.W. BELL の第 6 世代のガウスメータです。1軸タイプのモデル 8010 型と 3 軸・3ch タイプのモデル 8030 型は 0.05% の DC 基本確度を誇る F.W. BELL のハイエンドモデルとなります。いずれのモデルもバックライト付大型カラーディスプレイと完全メニュー形式を兼ね揃え、優れた操作性を実現しました。

3 軸測定モデル 8030 型では、3 軸プローブを使用することにより 3 軸方向の磁場測定が可能となります。これにより、地磁気や家電製品からの漏れ磁場など、方向が不明な磁場の大きさを容易に測ることが可能となります。測定時には、3 軸のベクトル和に加えて、3 軸方向それぞれの成分を表示することも可能です。

豊富なインターフェースモデル 8010 型 , 8030 型では、ディスプレイ表示に加えて RS-232, Ethernet, USB の通信インターフェースとコレクト / アンコレクトアナログ出力が備わっています。これにより、様々な

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表示とデジタル出力(最遅時) コレクト・アナログ出力とデジタル出力(最速時) アンコレクティッド・アナログ出力

DC 確度 読み値の± 0.05%+レンジの± 0.01% 3Vor10V レンジの± 0.15% 3V レンジ:読み値の 0.25%± 40mV10V レンジ:読み値の 0.25%± 120mV

AC 確度(DC モード時) N/A レンジの 2%(DC 〜 100Hz) レンジの 2%(DC 〜 100Hz)

AC 確度(AC モード時)読み値の 2.0%±レンジの 0.15%

(20Hz 〜 50kHz)

3Vor10V レンジの 2.0%(AC 20 〜 500Hz)

(AC rms 20 〜 50kHz)図1を参照

AC ピーク確度 読み値の 5.00% N/A N/A

レンジ 分解能低磁界プローブ

(0.01X)標準プローブ

(1X)高磁界プローブ

(10X)

30.0000μT 0.1nT ◯

300.000μT 1nT ◯

3.00000mT 10nT ◯

30.0000mT 100nT ◯ ◯

300.000mT 1μT ◯ ◯

3.00000T 10μT ◯ ◯

30.0000T 100μT ◯

Max/Min ホールド DC モード : 200msec AC モード : 200msecプラス / マイナスホールド DC モード : 2msec AC モード : 200μsec温度係数 読み値の 0.02% ± 1 カウント/ ℃更新速度 ディスプレイ: 5 回 /sec (最大) Ethernet RS-232 出力: 100 回 /sec温度範囲 操作 : 0℃〜 70℃ 保存 : − 20℃〜 60℃コレクト・アナログ出力のノイズ(500Hzフィルター使用し、3V出力レンジの場合)

すべてのレンジ: 2mVrms (35mV p-p)アンコレクト・アナログ出力のノイズ(500Hzフィルター使用し、3V出力レンジの場合)

30mT, 300mT, 3T レンジ : 50μVrms (10mV p-p) 3mT レンジ : 2mVrms (20mV p-p)アナログ出力の出力インピーダンス < 100 Ωアナログ出力のコネクタ 標準 BNC コネクタ(メス型)

アナログ出力のスケール DC モード: 3V または、10V の選択が可能 ± 0.1V 〜± 9.9V で調整可能(0.1V ステップ) AC モード: 3Vrms または、10Vrms の選択が可能 ± 0.1V〜± 9.9V で調整可能(0.1Vrms ステップ)フロントパネルディスプレイ WVGA, 600 x 480 ピクセル バックライト付き TFT カラー LCD ディスプレイ 大きさ: 119 (W) x 89 (H) mm電源 電圧 : 100/120 220/240 周波数 :50-60Hz または 50-60Hz 電流 : 1.0 A (最大) 0.5A (最大)寸法 292 (W) x 132 (H) x 368 (D) mm重量 5.3kg (Net)、8.1kg (Shipping)ウォームアップ時間 60 分標準アクセサリ YA-111 型:ゼロガウスチャンバー (小) 英文マニュアル、電源ケーブルオーダーインフォメーション 8010 型 :1ch ガウスメータ 8030 型 :3ch・3 軸 ガウスメータ

確度 (23℃± 2℃において、プローブは含まず)

測定レンジと分解能

仕様

図 1. アンコレクティッド・アナログ出力の周波数応答(プローブは含まず)

8000シリーズ

5.00

0.00

-5.00

-10.00

-15.00

-20.00

-25.00

-30.00

-35.00

周  波  数 (Hz)誤  差 (%)

10 100 1000 10000

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10

8000シリーズ

AC 波形表示機能

8000 シリーズ ガウスメータは世界で初めて、オシロスコープや他のデータロガーを使用せずに、AC 磁場波形を表示する機能を搭載しました。

本機能は、オシロスコープと操作方法が非常に似ていますが、簡単に設定と測定ができるようにされています。

ユーザーは、時間軸と縦軸測定スケールを調整し、トリガーモードを選択して、カスタマイズ可能なトリガーレベルとスロープを入力することができます。

8030 型の背面パネル図

①アンコレクティッド・アナログ出力

②コレクティッド・アナログ出力

③ベクトル出力

④ Auxiliary 出力

⑤デジタル I/O

⑥ Ethernet

⑦ RS-232

⑧電源ソケット ヒューズホルダ

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11

正確な測定のために、まず重要なの 3 つのポイントを説明します。それは、「角度」、「大きさ」、「距離」です。

+B

45°

30°

20°15°10°5°0°

29.3%

13.4%

6.0%

3.4%

1.5%

0.4%

0%

誤差 磁場に垂直な方向からの偏角(θ)

誤差 % =(1 - cos θ)× 100

磁極からの距離(“D”)

磁場の強さ

63 mT/mm(D 2 mm)

N N

ホール素子と測定対象物の角度が重要です。例えば、θが 5°の時、約 0.4%の誤差が発生します。

理 想 誤差が発生するケース

ホール素子(アクティブエリア)と測定対象物のまでの距離変動が測定の再現性を悪くします。手で持って測定すると手ぶれにより良い測定ができません。プローブスタンド等で固定して測定しましょう。プローブによっては、ホール素子と測定対象物までの距離が異なります。

ホール素子(アクティブエリア)の大きさと測定対象物の大きさの関係に注意して下さい。精度の良い測定の為には測定対象物はアクティブエリアの大きさの 3 倍以上必要です。

① 角度

② 大きさ

③ 距離

測定のポイント

測定のポイント

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12

  T = 可能

ブランク = 不可能

C = 極低温用

H = 堅牢型

M = マグナ型

P = フェノール型

S = 標準型

Z = 3軸型

F = フレキシブル

A = アキシャル型

T = トランスバース型

O = 2軸型・3軸型

A =0.25% 1T 1X

D =0.50% 3T 1X

F = 0.25% 3T 1X

P = 1.0% 3T 10X

M = 0.15% 3T 10X

R = 1.0% 10T 10X

U = 2.0% 10T 10X

W = 4.0% 200μT 0.01X

X = 0.5% 200μT 0.01X

S = 1.0% 100μT 0.001X

61 = 6010

71 = 7010

73 = 7030

81 = 8010

83 = 8030

08 = 2.03 mm (0.08 インチ)18 = 4.57 mm (0.18インチ)19 = 4.75 mm (0.187 インチ)25 = 6.35 mm (0.25 インチ)32 = 7.92 mm (0.312 インチ)

02 = 50.8 mm (2 インチ)04 = 101.6 mm (4 インチ)08 = 203.2 mm (8インチ)15 = 381.0 mm (15インチ)60 = 1524.0 mm (60 インチ)

05 = 152.4 cm (5 フィート)10 = 304.8 cm (10 フィート)15 = 457.2 cm (15フィート)30 = 914.4 cm (30フィート)

温度補償プローブの物理的性能 プローブの形状 直線性と測定レンジ 対応モデル 軸の長さ ケ-ブルの長さ直 径(アキシャル型)

02 = 0.51mm (0.02 インチ)04 = 1.02 mm (0.04 インチ)

06 = 1.52 mm

(0.06 インチ)

厚 さ(トランスバース型)

〈6010型, 7000, 8000シリーズ用 プローブ〉

C =極低温用

F =フレキシブル

H =堅牢型

S =標準型

M =マグナ型

X =延長ケーブル

Y =2軸型

Z =3軸型

A =アキシャル型

T =トランスバース型

O =2軸型・3軸型

1X=5100

51=5100

17=5170

18=5180

56=5060

57=5070

58=5080

92=9200

99=9951

9952

9953

9550

06 =1.52mm(.060インチ)

08 =2.03mm(.080インチ)

09 =2.29mm(.090インチ)

12 =3.05mm(.120インチ)

18 =4.57mm(.180インチ)

19 =4.83mm(.187インチ)

25 =6.35mm(.250インチ)

32 =8.13mm(.312インチ)

01 = 25.4mm(1インチ)

02 = 50.8mm(2インチ)

04 = 101.6mm(4インチ)

06 = 152.4mm(6インチ)

08 = 203.2mm(8インチ)

15 = 381.0mm(15インチ)

18 = 457.2mm(18インチ)

36 = 914.4mm(36インチ)

48 = 1,219.2mm(48インチ)

60 = 1,524.0mm(60インチ)

プローブの物理的性能 プローブの形状 直線性と測定レンジ 対応モデル 軸の長さ

〈5000シリーズ、5100シリーズ、9200型、9900シリーズ用 プローブ〉

直径(アキシャル型)

00 =0.25mm(.010インチ)

01 =0.38mm(.015インチ)

02 =0.51mm(.020インチ)

03 =0.76mm(.030インチ)

04 =1.02mm(.040インチ)

06 =1.52mm(.060インチ)

25 =6.35mm(.250インチ)

厚さ(トランスバース型)

A =0.25% 1T 1X

B =1.0% 1T 1X

C =0.5% 1T 1X

D =0.5% 3T 1X

E =2.0% 1T 1X

F =0.25% 3T 1X

G =2.0% 3T 1X

H =1.0% 2T 1X

I =3.0% 1T 1X

J =0.1% 1T 10X

K =0.25% 1T 10X

L =0.25% 3T 10X

M =0.15% 3T 10X

N =0.5% 3T 10X

P =1.0% 3T 10X

R =1.0% 10T 10X

S =2.0% 100μT 0.01X

U =2.0% 10T 10X

V =2.0% 2T 1X

W =4.0% 200μT 0.01X

X =0.5% 200μT 0.01X

Q =校正済

※9200型プローブは、プローブコンバータと共に使用することにより、6010型で測定可能。

※9900型プローブは、プローブコンバータと共に使用することにより、7000シリーズで測定可能。

プローブの性能と形状F.W. Bell のガウスメータ用プローブは全部で約 350 種類揃っていますが、その性能と形状は、3 個の英文字と 6 数字で分類

されています。詳細な説明は下記の通りです。磁気の強さと磁場の物理的な条件に応じて、最適なプローブが選択できるようになっています。

プローブ選択ガイド

プローブ

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13※プローブは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

アキシャル型 プローブ

低磁界 プローブ

トランスバース型 プローブ

ケ-ブルの長さ1.524m

53.34±6.35mm

センサーの位置

8.89±0.254mm

46.5mm

12.5mm

直径4.3mm ± 0.3mm

直径4.3mm ± 0.3mm

ケーブルの長さ1.524mm

38.87±6.4mm

センサーの位置22mm18.11±0.3mm直径

46.5mm

12.5mm

直径4.3mm ± 0.3mm

ケーブルの長さ1.524mm

46.5mm

12.5mm

53.34±6.35mm

8.89±0.254mm

センサーの位置

STD18-0404STD18-0402STH17-0404STH17-0402

HTD18-0604HTH17-0604

+B

0.46mmアクティブエリアの中心まで +B

0.81mmアクティブエリアの中心まで

※dia =直径

型 名A

(mm)B

(mm)C

(mm)軸材料 直線性 感度

アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大)周波数応答

ゼロ(/℃) 校正(/℃)

SAD18-1902 50.8 ± 1.6

4.75± 0.15 0.25 フェノール

0.5%/3T

1X 0.38dia 0〜 +75℃ ± 30μT -0.05%

DC-20kHzSAD18-1904 101.6 ± 1.6

SAH17-1902 50.8 ± 1.61.0%/2T DC-10kHz

SAH17-1904 101.6 ± 1.6

型 名A

(mm)B

(mm)C

(mm)軸材料 直線性 感度

アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大)周波数応答

ゼロ(/℃) 校正(/℃)

MOS51-3204 101.6 ± 1.6 7.24± 0.15 1.27RIGIDCARBON

FIBER0.75%/0.1mT 1X 22.00dia 0 〜 +75℃ ± 2nT -0.001% DC-700Hz

5100 シリーズ用 プローブ

型 名A

(mm)B

(mm)C

(mm)D 軸材料 直線性 感度

アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大)周波数応答

ゼロ(/℃) 校正(/℃)

STD18-0402 50.8 ± 1.6

4.01± 0.1021.14± 0.102

0.851

ガラス樹脂

0.5%/3T

1X0.38dia

0〜 +75℃± 30μT -0.05%

DC-20kHzSTD18-0404 101.6 ± 1.6

STH17-0402 50.8 ± 1.61.0%/2T DC-10kHz

STH17-0404 101.6 ± 1.6

HTH17-0604 101.6 ± 1.64.57± 0.102

1.52+0.00-0.10

アルミニウム1.0%/2T DC-10kHz

HTD18-0604 101.6 ± 1.6 0.5%/3T DC-20kHz

STB1X-0201 25.4± 1.6 1.27± 0.13 0.51 0.762 Kapton 1.0%/1T 0.64dia ± 20μT -0.10% DC

プローブ

※dia =直径

※dia =直径

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14※プローブは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

D C

A50.8mm8.9mm

ケ-ブルの長さ1m

B

トランスバース型 プローブ

CA50.8mm

8.9mmケ-ブルの長さ1m

HD

B

アキシャル型 プローブ

+B

0.46mmアクティブエリアの中心まで

+B0.81mmアクティブエリアの中心まで

STD58-0404STD58-0402STH57-0404STH57-0402STV56-0404STV56-0402

HTD58-0604HTH57-0604HTV56-0602

※dia =直径

5000 シリーズ用 プローブ

型 名A

(mm)D

(mm)C

(mm)軸材料

直線性(読み取りの)

周波数応答 感度アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大)

ゼロ(/℃) 校正(/℃)

SAV56-1904 101.6 ± 1.6

4.75± 0.15 0.25 フェノール

±4%to1T dc

1X 0.4dia 0 〜 +75℃ ± 30μT -0.1%

SAH57-1902 50.8 ± 0.8± 2%to1T dc-10kHz

SAH57-1904 101.6 ± 1.6

SAD58-1902 50.8 ± 0.8± 1%to1T dc-20kHz

SAD58-1904 101.6 ± 1.6

型 名A

(mm)H

(mm)C

(mm)D

(mm)軸材料

直線性(読み取りの)

周波数応答 感度アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大)

ゼロ(/℃) 校正(/℃)

HTV56-0602 50.8 ± 0.84.57± 0.102 1.52+0.00-0.10

0.851

アルミニウム±4%to1T dc

1X 0.4dia 0 〜 +75℃ ± 30μT -0.1%

HTH57-0604 101.6 ± 1.6 2%

dc-10kHzSTH57-0402 50.8 ± 0.84.01± 0.102 1.14± 0.102 ガラス樹脂 ± 2%to1T

STH57-0404101.6 ± 1.6

HTD58-0604 4.57± 0.102 1.52+0.00-0.10 アルミニウム 1%

dc-20kHzSTD58-0402 50.8 ± 0.84.01± 0.102 1.14± 0.102 ガラス樹脂 ±1%to1T

STD58-0404 101.6 ± 1.6

"C"

"D"

"A"50.8mm±0.64mm

12.7mm±0.13mm

+B

ホ-ル素子

アキシャル型 プローブ

6010 型用 プローブ

型 名A

±1.6(mm)D

(mm)C

(mm)軸材料

直線性(読み取りの)

感度アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大)周波数応答 温度補償

ケーブル長(m)ゼロ(/℃) 校正(/℃)

HAD61-2508-05-T

203.26.35± 0.127

0.38± 0.25

アルミニウム 0.5%to3T 1X

0.762dia 0 〜 +75℃

± 20μT -0.033%

dc-20KHz

◯ 1.5

HAD61-2508-05

± 30μT -0.05% ×

1.5

HAD61-2508-15 4.5

SAR61-1802-0550.8

4.75+0.05-0.10

フェノール 1.0%to10T 10X dc-400Hz1.5

SAR61-1802-15 4.5

プローブ

※dia =直径

※dia =直径

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15

マグナ型 プローブ"A"

"D""C"

"E"

LEXAN

アクティブ領域

(断面図)

〈マグナ型プローブの使用上の注意点〉

〔測定範囲〕マグナ型プローブと F.W.Bell 社のガウスメータを接続したとき、測定レンジは全て 100 分の 1 になります。例えば 3mT レンジは 30μT レンジに、30mT レンジは 300μT レンジになります。

〔測定できる磁場〕マグナ型に使用されているホール素子のアクティブエリアは152.4mm × 6.35mm です。従ってマグナ型が正確に測定できる磁場は、上図 A × E × C を取り囲む範囲で磁気の強さが均一な場合に限られます。漏れ磁場の測定のときは、特に磁気分布に注意を払って、マグナ型の使用を決めて下さい。

※プローブは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

型 名A

(mm)C

(mm)D

(mm)E

(mm)軸材料

直線性(読み取りの)

周波数応答 感 度アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)

ゼロ(/℃) 校正(/℃)

MOW61-2506-05228.6± 0.76

6.35± 0.25

152.412.2± 0.76

Lexan 4%to200μT dc-400Hz 0.01X 152.4× 6.4 0〜 +75℃ ± 0.1μT -0.05%

"C"

"D"

"A"

軸の幅 "B"センサーの中心までの距離+B

50.8mm±0.64mm

12.7mm±0.13mm

(断面図)トランスバース型 プローブ

STD61-0404STD61-0402

HTD61-0608HTR61-0608

+B0.34mmアクティブエリアの中心まで

+B0.51mmアクティブエリアの中心まで

H

ホ-ル素子(露出)

サーミスタ

B

C I G

D F

J

E

STD61-0204-XX

STD61-0202-XX

アクティブエリア

アクティブエリア

0.307mm(NOMINAL)

50.8±0.64mm

12.7±0.127mm

型 名A

±1.6(mm)B

(mm)C

(mm)D

(mm)軸材料

直線性(読み取りの)

感度アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大)周波数応答 温度補償

ケーブル長(m)ゼロ(/℃)校正(/℃)

HTD61-0608-05-T

203.24.57± 0.762

1.52+0.00-0.10

3.81± 0.508

アルミニウム

0.5%to3T 1X 1.78dia

0 〜 +75℃

± 20μT -0.033%

dc-20kHz

1.5

HTD61-0608-15-T 4.5

HTD61-0608-30-T 9

HTD61-0608-05

± 30μT -0.05% ×

1.5

HTD61-0608-15 4.5

HTD61-0608-30 9

HTR61-0608-051.0%to10T 10X 1.02dia dc

1.5

HTR61-0608-15 4.5

STD61-0404-05101.6

4.01± 0.102

1.02+0.00-0.10

ガラス樹脂 0.5%to3T 1X 1.78dia dc-20kHz

1.5

STD61-0404-15 4.5

STD61-0402-0550.8

1.5

STD61-0402-15 4.5

型 名A

±1.6(mm)B

(mm)C

(mm)D

(mm)E

(mm)F

(mm)G

(mm)軸材料

直線性(読み取りの)

感度アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大) 周波数範 囲

温度補償

ケーブル長(m)ゼロ(/℃)校正(/℃)

STD61-0204-05101.6

3.94± 0.13 1.02

+0.05-0.23

3.30±0.203

9.53± 1.6

3.30±0.076

0.51±0.076

フレキシブル

0.5%to3T 1X

1.78dia

0 〜+75℃

± 30μT -0.05% dc-20kHz

×

1.5

STD61-0204-15 4.5

STD61-0202-05

50.83.94± 0.13

0.508±0.025

25.4± 1.6

1.55±0.076

0.51ガラス樹脂

0.127dia.nom.

± 55μT -0.07% dc-200Hz

1.5

STD61-0202-15 4.5

STD61-0202-30 9

プローブ

※dia =直径

※dia =直径

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16※プローブは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

9200 型用 プローブ

D C

A50.8mm8.9mm

ケ-ブルの長さ1.5m

B

アキシャル型 プローブ

CA50.8mm

8.9mmケ-ブルの長さ1.5m

B

H

E

FGD

B

トランスバース型 プローブ

型 名A

(mm)H

(mm)C

(mm)D

(mm)E

(mm)F

(mm)G

(mm)軸材料

直線性(読み取りの)

周波数応答 感度アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)ゼロ(/℃) 校正(/℃)

STB92-0402 50.8 ± 1.6

3.81± 0.1

1.02+0-0.1 3.7

± 1.6N/A N/A N/A

ガラス樹脂

1%to1Tdc-5kHz

1X(青)

1.78dia.nom.

0 〜+75℃

± 9μT -0.04%STB92-0404101.6 ± 1.6

STG92-0404 2%to3T

STJ92-0402 50.8 ± 1.6 0.1%to1T dc-400Hz10X(赤)

1.02dia.nom.

± 13μT ± 0.005%

HTB92-0608 203.2 ± 3.24.57± 0.07

1.52+0-0.1

アルミニウム

1%to1T dc-2kHz1X(青)

1.78dia.nom.

± 9μT -0.04%STB92-0204

101.6 ± 1.6± 0.133.94

1.02+0.05-0.23

3.3± 0.2

9.5± 1.6

3.3± 0.07

0.5± 0.07

ゴム樹脂1%to1T

dc-5kHzSTG92-0204 2%to3T

型 名A

(mm)D

(mm)C

(mm)軸材料

直線性(読み取りの)

周波数応答 感 度アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)ゼロ(/℃) 校正(/℃)

SAB92-1208 203.2 ± 3.23.05+0.00-0.13

0.38± 0.25

アルミニウム

1%to1T dc-5kHz 1X(青) 0.51dia.nom.

0 〜 +75℃

± 20μT -0.08%

SAR92-1802 50.8 ± 1.6

4.57+0.05-0.1

1%to10T dc-400Hz 10X(赤)

0.76dia.nom.

± 13μT ± 0.005%SAR92-1808 203.2 ± 3.2SAB92-1802 50.8 ± 1.6

1%to1T

dc-5kHz 1X(青) ± 9μT -0.04%SAB92-1808 203.2 ± 3.2SAG92-1808 203.2 ± 3.2 2%to3THAB92-2502 50.8 ± 1.6 6.35

± 0.131%to10T

HAB92-2508 203.2 ± 3.2 1%to1T

355.6mm±3.18mm50.8mm

8.9mmケ-ブルの長さ1.5m

0.51mm±0.0762mm or1.02mm+0.051mm,-0.0762mm

2.54mm ±0.13mm BE

max. 3.9mm

3.68mm±0.89mm

トランスバース型

フレキシブル プローブ

型 名E

(mm)軸材料

直線性(読み取りの)

周波数応答 感度アクティブエリア(mm)

動作温度範囲温度安定度(最大値)

ゼロ(/℃) 校正(/℃)

FTB92-0415

14.0 ± 1.6 フレキシブルチューブ

1%to1Tdc-5kHz 1X(青) 1.78dia.nom.

0 〜+75℃± 9μT -0.04%

FTG92-0415 2%to3T

FTJ92-0415 0.1%to1T dc-400Hz 10X(赤) 1.02dia.nom. ± 13μT ± 0.005%

プローブ

※dia =直径

※dia =直径

※dia =直径

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17

型 名A±1.6(mm)

B(mm)

C(mm)

軸材料直線性

( 読み取りの )周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

動作温度範囲

非温度補償時の温度安定度 (最大値 ) 温度補償

ゼロ(/℃ ) 校正 (/℃ )

HAF81-2504-10101.6

6.35± 0.127

0.381± 0.102

アルミニウム

0.25%to3T DC-20kHz 1X

0.762DIA.± 0.025

0℃to

+75℃

± 9μT -0.040%

×

HAF81-2504-10-T ○(※)

HAF81-2508-10203.2

×

HAF81-2508-10-T ○(※)

HAM81-2504-10101.6

0.15%to3T DC-400Hz 10X ±13μT ± 0.005%

×

HAM81-2504-10-T ○(※)

HAM81-2508-10203.2

×

HAM81-2508-10-T ○(※)

SAF81-1904-10101.6

4.75+ 0.051- 0.178

0.25%to3T DC-20kHz 1X ± 9μT -0.040%

×

SAF81-1904-10-T ○(※)

SAF81-1908-10203.2

×

SAF81-1908-10-T ○(※)

SAF81-1902-10-T 50.8 ○(※)

SAM81-1904-10101.6

0.15%to3T

DC-400Hz 10X ±13μT ± 0.005%

×

SAM81-1904-10-T ○(※)

SAM81-1908-10

203.2

×

SAM81-1908-10-T ○(※)

HAR81-2508-106.35± 0.127

1%to10T

×SAR81-1908-10

4.750+ 0.051- 0.178

CAP81-2560-10 15246.35± 0.127

6.35± 1.6

ステンレススチール

DC 10X0.762DIA.(NOM)

-269℃to

+75℃±13μT -0.01%

※温度補償プローブでは、ホール素子の温度変化による誤差を小さくすることができます。

 改善する量は、プローブの種類により多少異なりますが、以下が典型的な改善量となります。 プローブの種類  ゼロ(/℃)  校正(/℃) 1X プローブ ± 6μT -0.02% 10X プローブ ± 8.5μT -0.003%

"C"

"B"

"A"50.8mm±1.27mm

12.7mm±0.13mm※SAF81-1902のみ8.89mm±0.25mm

+B

ホ-ル素子

8000 シリーズ用 プローブ

アキシャル型

プローブ

※プローブは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

プローブ

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18

STF81-0204-10, STF81-0204-10-T FTM81-0215-10-T

3.81mm±0.25mm

3.81mm±0.38mm

1.02mm+0.05mm-0.18mm

"C"

"D"

"A"

軸の幅 "B"センサーの中心までの距離

+B

H

ホ-ル素子(露出)

サーミスタ

B

C I G

D F

J

E

50.8mm±0.64mm

12.7mm±0.13mm

(断面図)

型名 A±1.6(mm)

B(mm)

C(mm)

D(mm)

軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感度

アクティブエリア

± 0.051(mm)

動作温度範囲

非温度補償時の温度安定度 (最大値 ) 温度補償

ゼロ(/℃ ) 校正 (/℃ )

HTF81-0604-10101.6

4.572± 0.076

1.524+ 0.000- 0.102

3.810± 0.508

アルミニウム

0.25%to3T DC-20kHz 1X 1.778DIA.

0℃to

+75℃

± 9μT -0.04%

×

HTF81-0604-10-T ○(※)

HTF81-0608-10

203.2

×

HTF81-0608-10-T ○(※)

HTM81-0608-100.15%to3T DC-400Hz 10X 1.016 ± 13μT ± 0.005%

×

HTM81-0608-10-T ○(※)

STF81-0404-10101.6

3.962± 0.102

1.067± 0.102

ポリプロピレン

0.25%to3T DC-20kHz 1X 1.778DIA. ± 9μT -0.04%

×

STF81-0404-10-T ○(※)

STF81-0402-10

50.8

×

STF81-0402-10-T ○(※)

STF81-0402-30-T

STM81-0402-10

0.15%to3T DC-400Hz 10X 1.016DIA. ± 13μT ± 0.005%

×

STM81-0402-10-T ○(※)

STM81-0404-10101.6

×

STM81-0404-10-T ○(※)

HTR81-0608-10 203.24.572± 0.076

1.524+ 0.000- 0.102

アルミニウム ×

CTP81-3260-10 15247.925± 0.127( 直径 )

N/A8.128± 1.6

ステンレススチール

1.0%to3T2.0%to10T

DC 10X 1.016DIA.-269℃to

+75℃±13μT ± 0.010% ×

トランスバース型

プローブ

※プローブは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

プローブ

型 名A±1.6(mm)

B C D E F G H I J 軸材料直線性

( 読み取りの )周波数応答

感度アクティブエリア± 0.051(mm)

動作温度範囲

非温度補償時の温度安定度 (最大値 ) 温度補償

ゼロ(/℃ ) 校正 (/℃ )

STF81-0204-10101.6

3.937±0.127

1.016+ 0.051- 0.229 3.302

±0.203

9.525± 1.6

3.302±0.076

0.508±0.076

N/A N/A N/A軟質ゴム

(素子は露出)0.25%to3T

DC-20kHz

1X 1.778DIA.0℃to

+75℃

± 9μT -0.04%×

STF81-0204-10-T

1.346±0.127

0.635

±

0.076

4.877±0.813

○(※)FTM81-0215-10-T 381

2.54±0.127

N/Aビニールファイバーグラス(素子は露出)

0.15%to3TDC-400Hz

10X 1.016DIA. ± 13μT ± 0.005%

※温度補償プローブでは、ホール素子の温度変化による誤差を小さくすることができます。

 改善する量は、プローブの種類により多少異なりますが、以下が典型的な改善量となります。 プローブの種類  ゼロ(/℃)  校正(/℃) 1X プローブ ± 6μT -0.02% 10X プローブ ± 8.5μT -0.003%

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19※プローブは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

プローブ

76.2mm±1.6mm"A"

"B"19.1mm±1.6mm

By

Bx

NOTCH

ホール素子

プローブ先端の拡大図

BZ

1.52mm2.54mm

1.57mm2.13mm 3.28mm

HALL PLATES MUTUALLY PERPENDICULAR ±2

低磁界用

アキシャル プローブ

3 軸 プローブ

マグナ型 プローブ

101.6mm±3.18mm

7.24mm DIA.

228.6mm ±0.76mm

152.4mm6.35mm±0.25mm

12.2mm±0.76mm

LEXAN

アクティブエリア

(断面図)

型 名 軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

動作温度範囲温度安定度(最大値)

温度補償ゼロ(/℃ ) 校正 (/℃ )

MOX81-2506-10LEXAN(白 ) 0.5%to200μT DCto400Hz 0.01X

152.4X6.35(NOM)

0℃to+75℃ ±7μT(TYP) -0.04%(TYP) ×MOX81-2506-30

型 名A(mm)

B(mm)

軸材料直線性

(読み取りの)

直線性(読み取りの)

(アンコレクト出力)周波数応答 感度

アクティブエリア(mm)

動作温度範囲温度安定度(最大値)

温度補償ゼロ(/℃ ) 校正 (/℃ )

ZOA83-3208-10

203.2± 3.175

7.925± 0.127

アルミニウム 0.25%to1T 1%to1T DC-400Hz 1X1.524DIA.

(NOM)0℃to+75℃

±10μT -0.04% ×ZOA83-3208-30ZOA83-3208-10-T

± 6μT -0.02% ○ZOA83-3208-30-T

型 名 直線性 ( 読み取りの ) 周波数応答アクティブエリア(mm2)

動作温度範囲温度安定度 (最大値 )

ゼロ (/℃ ) 校正 (/℃ )

MOS81-3204-10± 0.5%

(23℃において )DCto750Hz 15.5 0℃to+75℃ ± 50nT -0.05%

MOS81-3204-30

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20

"C"

"D"

"A"50.8mm±0.64mm

12.7mm±0.13mm

+B

ホ-ル素子

"C"

"D"

"A"

軸の幅 "B"センサーの中心までの距離

+B

H

ホ-ル素子(露出)

サーミスタ

B

C I G

D F

J

E

50.8mm±0.64mm

12.7mm±0.13mm

(断面図)

+B0.34mmアクティブエリアの中心まで

+B0.51mmアクティブエリアの中心まで

STF71-0404STF71-0402STM71-0404STM71-0402

HTF71-0608HTM71-0608

型 名A(mm)

HC(mm)

D(mm)

E F G 軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)

ゼロ(/℃) 校正(/℃)

HAF71-2502-05-T 50.8± 1.6

N/A

0.38± 0.25

6.35± 0.13

N/A N/A N/A

アルミニウム

0.25%to3T

dc-20kHz 1X

0.76dia0℃to+75℃

± 9μT -0.04%

HAF71-2502-15-T

HAF71-2508-05203.2± 1.6

HAF71-2508-05-T

HAF71-2508-15-T

HAM71-2502-1550.8± 1.6 0.15%

to3Tdc-400Hz 10X ±13μT ± 0.005%

HAM71-2508-30-T203.2± 1.6

SAF71-1802-05 50.8± 1.6

4.57+0.051-0.178

0.25%to3T

dc-20kHz 1X ± 9μT

-0.04%SAF71-1802-05-T

SAF71-1808-05203.2± 1.6

SAF71-1808-05-T-0.027%

SAF71-1808-15-T

SAM71-1802-15-T50.8± 1.6 0.15%

to3Tdc-400Hz 10X ±13μT ± 0.005%

SAM71-1808-05-T 203.2± 1.6SAM71-1808-15-T

PAA71-1908-05 203.02 N/A 4.75フェノール

0.25%to1T

dc-50kHz 1X ± 9μT -0.04%

※ dia =直径

7000 シリーズ用 プローブ

アキシャル型

プローブ

型 名A(mm)

B(mm)

C(mm)

D(mm)

E(mm)

F(mm)

G(mm)

軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)

ゼロ(/℃) 校正(/℃)

HTF71-0608-05

203.2± 1.6

4.57± 0.076

1.52+0-0.102

3.81± 0.508

N/A N/A N/A

アルミニウム

0.25%to3T

dc-20kHz 1X 1.78dia

0℃to

+75℃

± 9μT

-0.04%HTF71-0608-15

HTF71-0608-30

HTF71-0608-05-T

-0.046%HTF71-0608-15-T

HTF71-0608-30-T

HTM71-0608-05-T0.15%to3T

dc-400Hz 10X 1.02dia ± 13μT ± 0.005%HTM71-0608-15-T

HTM71-0608-30-T

STF71-0402-05-T50.8± 1.6

4.01± 0.102

1.14+0-0.102

ガラス樹脂

0.25%to3T

dc-20kHz 1X 1.78dia ± 9μT -0.04%

STF71-0402-15-T

STF71-0402-30-T

STF71-0404-05

101.6± 1.6

STF71-0404-15

STF71-0404-05-T

STF71-0404-15-T

STM71-0402-0550.8±1.6 0.15%

to3Tdc-400Hz 10X 1.02dia ± 13μT ± 0.005%

STM71-0404-05-T

101.6± 1.6

STM71-0404-15-T

STF71-0204-05-T3.94± 0.13

1.02+0.05-0.232

3.30± 0.203

9.53± 1.6

3.30± 0.076

0.51± 0.076

ゴム樹脂

0.25%to3T

dc-20kHz 1X 1.78dia ± 9μT -0.04%

トランスバース型

プローブ※dia =直径

※プローブは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

プローブ

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21

5.08mm

3.302mm3.05mm

0.203mm0.127mm

1.524mm3.10mm

1.524mm DIA. ACTIVE AREA

SUBSTRATE

HALL DETAIL

2.11mm

3.96mm

1.60mm

0.152mm3.71mm

1.778mm 0.890mm7.925mm

76.2mm±1.6mm "A"

"B"19.1mm±1.6mm

By

Bx

※プローブは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

トランスバース型

フレキシブル プローブ

アキシャル型

フレキシブル プローブ

3 軸 プローブ

マグナ型 プローブ

50.8mm±0.64mm 381mm,±3.18mm

12.7mm±0.13mm +0.051mm-0.178mm1.02mm

+B

0.64mm,±0.076mm

0.51mm,±0.076mm

9.53mm,±1.6mm3.81mm,±0.38mm

2.5mm,±0.13mm3.8mm,±0.25mm

1.35mm,±0.13mm 3.3mm,±0.2mm

3.3mm,±0.08mm

4.88mm,±0.81mm

ホ-ル素子(露出)

サーミスタ

フレキシブルトランスバース(露出部分)

50.8mm±0.64mm 381mm,±3.18mm

12.7mm±0.13mm

+B

VI N YL - FIBERGLASS TUBING

"A""C"2.54mm,±0.13mm

TYP.

"D"(断面図)

"A"

"D""C"

"E"

LEXAN

アクティブエリア

(断面図)

※dia =直径

型 名A(mm)

HC(mm)

D(mm)

E(mm)

F G 軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)ゼロ(/℃)校正(/℃)

MOX71-2506-05 228.6± 0.76

N/A6.35± 0.25

152.412.2± 0.76

N/A N/A Lexan0.5%to200μT

dc-400Hz 0.01X152.4× 6.4

0℃to+75℃

±7μT -0.04%MOX71-2506-15

型 名A(mm)

H CB(mm)

E F G 軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)ゼロ(/℃)校正(/℃)

ZOA73-3208-05

203.2± 3.18

N/A N/A7.92± 0.13

N/A N/A N/Aアルミニウム

0.25%to1T

dc-400Hz 1X1.52Dia.nom.

0℃to+75℃

±10μT -0.040%ZOA73-3208-30ZOA73-3208-05-T

± 6.7μT -0.027%ZOA73-3208-15-TZOA73-3208-30-T

型 名 A H C DE(mm)

F G 軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)ゼロ(/℃) 校正(/℃)

FTM71-0215-30

N/A N/A N/A N/A9.53± 1.6

N/A N/Aフレキシブルチューブ

0.15%to3T

dc-400Hz 10X 1.02dia.0℃to

+75℃

±13μT ± 0.005%

FTM71-0215-05-T± 8.7μT ± 0.0033%

FTM71-0215-15-T

型 名A(mm)

HC(mm)

D(mm)

E F G 軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)ゼロ(/℃) 校正(/℃)

FAF71-1815-05-T

25.4± 0.25

N/A0.38± 0.25

4.57+0.051-0.102

N/A N/A N/A

フレキシブルチューブ

(先端はアルミニウム)

0.25%to3T

dc-20kHz 1X 0.76dia0℃to+75℃

± 9μT -0.04%

FAF71-1815-30-T

プローブ

※dia =直径

※dia =直径

Page 20: ショートフォームカタログ 磁気計測 - 東陽テクニカ...ショートフォームカタログ 磁気計測 ガウスメータとは? 5100シリーズ 6010型 2 磁場強度

22

D C

A50.8mm

8.9mm "B"

B

断面図

ケーブルの長さ1.5m

A

Dケ-ブルの長さ1.5m

B

E

C

トランスバース型

極低温 プローブ

マグナ型 プローブ

〈マグナ型プローブの使用上の注意点〉

〔測定範囲〕マグナプローブと F.W.Bell 社のガウスメータを接続したとき、測定レンジは全て 100 分の 1 になります。例えば 3mT レンジは 30μT レンジに、30mT レンジは 300μT レンジになります。

※dia =直径

〔測定できる磁場〕マグナ型に使用されているホール素子のアクティブエリアは152.4mm × 6.4mm です。従ってマグナ型が正確に測定できる磁場は、上図 A × E × C を取り囲む範囲で磁気の強さが均一な場合に限られます。漏れ磁場の測定のときは、特に磁気分布に注意を払って、マグナ型の使用を決めて下さい。

9900 シリーズ用 プローブ

型 名A(mm)

D(mm)

C(mm)

軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)ゼロ(/℃) 校正(/℃)

CTP99-32601,524± 12.7

7.92± 0.13

8.13± 1.6

ステンレス(310S) 1%to3T dc-400Hz 10X(赤) 1.02dia.nom.-269℃to+75℃

±13μT ± .01%

  型 名A(mm)

E(mm)

C(mm)

D(mm)

直線性(読み取りの)

周波数応答 感 度アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)ゼロ(/℃) 校正(/℃)

MOX99-2506228.6± 0.76

12.2± 0.76

6.35± 0.25

152.4 0.5%to200μT dc-5kHz 0.01X 152.4× 6.4nom. 0℃to+75℃ 0.1μT -0.05%

※プローブは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

D C

A50.8mm8.9mm

ケ-ブルの長さ1.5m

B

アキシャル型

プローブ

型 名A(mm)

D(mm)

C(mm)

軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

温度安定度(最大値)ゼロ(/℃) 校正(/℃)

SAR99-1802 50.8 ± 1.6

4.75+0.05-0.1

0.38 ± 0.25 アルミニウム 1%to10T dc-400Hz 10X(赤) 0.51dia.nom. ± 13μT ± 0.005%SAR99-1808 203.2 ± 3.2

PAA99-1908 203.2 ± 3.18 0.81typical フェノール 2%to1T± 3%to50kHzmax.

1X(青)1.02dia.nom.

± 9μTSAF99-1802 50.8 ± 1.6

0.38 ± 0.25 アルミニウム 0.25%to1T dc-10kHz 0.76dia.nom.SAF99-1808 203.2 ± 3.2

プローブ

※dia =直径

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23

CA50.8mm

8.9mmケ-ブルの長さ1.5m

B

H

E

FGD

B

トランスバース型

プローブ ※dia =直径

※プローブは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

型 名A(mm)

H(mm)

C(mm)

D(mm)

E(mm)

F(mm)

G(mm)

軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

温度安定度(最大値)ゼロ(/℃) 校正(/℃)

STF99-0402 50.8 ± 1.6

3.81± 0.1

1.02+0-0.1

3.68± 1.6

N/A N/A N/A

ガラス樹脂

0.25%to3T dc-10kHz 1X(青) 1.78dia.nom. ± 9μT -0.04%STF99-0404 101.6 ± 1.6STM99-0402 50.8 ± 1.6

0.15%to3T dc-400Hz 10X(赤)1.02dia.nom. ± 13μT ± 0.005%STM99-0404

101.6 ± 1.6STA99-0404 0.25%to1T

± 3%to50kHzmax

1X(青) 2.03dia.nom.± 9μT

-0.04%HTF99-0608203.2 ± 3.2

4.57± 0.07

1.52+0-0.1

アルミニウム0.25%to3T dc-10kHz

10X(赤)

1.78dia.nom.

HTM99-0608 0.15%to3Tdc-400Hz

1.02dia.nom.± 13μT

STM99-0204101.6 ± 1.6

3.94± 0.1

1.02+0.005

3.3± 0.2

9.5± 1.6

3.3± 0.07

0.5± 0.07

ゴム樹脂0.15%to3T ± 0.005%

STC99-01041.4± 0.13

7.9± 0.79

2.0± 0.076

0.38+0-0.076

0.5%to1T dc-10kHz 1X(青) ±15μT -0.08%

8.15mm±0.13mm

A76.2mm±3.18mm

19.1mm±1.6mm

ケ-ブルの長さ1.5m

BZ

BY BX

PAINTED AREAホール素子

BY

BX

BZ

2.54mm1.5mm

4.06mm

1.57mm2.13mm 3.2mm

3.1mm

7.9mm

3 軸 プローブ

381mm±3.18mm50.8mm

8.9mmケ-ブルの長さ1.5m

1.02mm+0.051mm,-0.0762mm

2.54mm ±0.13mm BE

max. 3.9mm

3.68mm±1.6mm

トランスバース型

フレキシブル プローブ

型 名A(mm)

軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)ゼロ(/℃) 校正(/℃)

ZOA99-3208 203.2 ± 3.2 アルミニウム 0.25%to1T dc-400Hz 1X 1.52dia.nom. 0℃to+75℃ ±10μT -0.04%

型 名E(mm)

軸材料直線性

(読み取りの)周波数応答 感 度

アクティブエリア(mm)

動作温度範 囲

温度安定度(最大値)ゼロ(/℃) 校正(/℃)

FTF99-04159.53 ± 1.6 フレキシブルチューブ

0.25%to3T dc-5kHz 1X(青) 1.78dia.nom.0℃to+75℃

± 9μT -0.04%

FTM99-0415 0.15%to3T dc-400Hz 10X(赤) 1.02dia.nom. ± 13μT ± 0.005%

プローブ

※dia =直径

※dia =直径

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24

19.05 mm (Dia) × 279.4 mm 8.7 mm (Dia) × 50.8 mm

YA-112 YA-111

9200 型

型 名 A

XOQ92-0010 3m

XOQ92-0025 7.5m

XOQ92-0050 15m

型 名 A

X5000-0006 1.8m

9900 シリーズ

型 名 A

XOQ99-0010 3m

XOQ99-0025 7.5m

※プローブは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

A

延長ケ−ブル延長ケーブルは本体とプローブで同時にご発注下さい。特定のプローブ対して誤差が零になるように、工場で調整された校正の延長ケーブルです。従って、別のプローブには使用できません。

A

〈9200 型、9900 シリーズ プローブ用〉 〈5000 シリーズ用〉

延長ケーブル/コンバータ

標準マグネット

標準磁石はガウスメータの校正に使用します。これらの磁石は NISTで校正されていますので、ご使用のプローブの種類にあわせた磁石を測定する事でガウスメータの性能を確認する事ができます。

ゼロガウスチェンバー

型 名 磁場の大きさ(G) ギャップ ( 直径 ) プローブの種類

VT-500 500 1.57mm トランスバース

VT-1K 1,000 1.57mm トランスバース

VT-5K 5,000 1.57mm トランスバース

VT-10K 10,000 1.57mm トランスバース

VA-500 500 7.92mm アキシャル

VA-2K 2,000 7.92mm アキシャル

アクセサリ

ゼロガウスチェンバーはガウスメータのゼロ調整に使用します。チェンバー内は地磁気や周辺磁場を遮断しますので、チェンバー内にプローブを入れた状態でゼロ調整を行います。プローブのサイズにあったゼロガウスチェンバーをお選びください。

YA-111 型:標準トランスバースプローブ、アキシャルプローブ用 80dB to 300G

YA-112 型:標準プローブ、低磁界(マグナ)プローブ用 60dB to 300G

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25

ホール素子チュートリアル

定格制御電流(mA)定格制御電流は通常ホール素子を動作させるときに推奨される値です。出力は制御電流や、入力抵抗の温度依存性によって影響を受けます。例えば、定電圧源を使用している場合、入力抵抗が温度により変化することで、素子を流れる電流が変化してしまうので、結果的に感度に影響を及ぼします。

最大制御電流(mA)最大制御電流は室温(= 25℃)におけるホール素子の最大消費電力から求められる値です。制御電流が大きいほど出力が大きくなるため、ホール素子はこの最大制御電流が可能な限り大きくなるよう設計されています。

入出力抵抗(Ω)基本的に小さいほど良いとされます。入力抵抗が小さいほど電圧降下や熱損失が下がり、出力抵抗が小さいほど終端抵抗は小さくてすみ、その結果全体のノイズは軽減できます。

磁気感度(mV/mAkG)制御電流を流しているときのホール素子に与えられた磁場に対して発生する出力電圧値を示します。例えば感度 0.10mV/mAkG のホールセンサに150mA の制御電流を流し、3kG の磁場を素子に対して 30°の角度で与えると 出力電圧は次の式のようになります。

VH = KHOC IC B sinθ = (0.10mV/mAkG)(150mA) (3kG) (sin60°) = 38.97mV

もし磁場をホール素子に対して垂直に与えれば、上の式の sin θは 1 になります。ホール素子の出力は+ VH と− VH の電位差であり、この値はグランドからみたコモンモード電圧で与えられるので実際には制御電流値と入力抵抗値の半分の積になります。例えば、150mA の制御電流で入力抵抗を 1.5 Ωとすれば VH +と VH −の電位差を等しく分けることができます。

+VH = -VH = (0.5) IC Rin = (0.5) (150mA) (1.5Ω)

ホール電圧はグランドから見た値として計算するため、これを正にする場合は電位差の半分を加えたものは+ VH 、引いたものを− VH とすることで求めることができます。逆にグランドから見て負のホール電圧を設定する場合にはグランドから見た電位差の半分を引いたものを+ VH 、加えたものを− VH とすることで求めることができます。磁場の方向に合わせてこれを決めてください。

+VH

-VH

= 112.5mV + 19.48mV= 131.98mV= 112.5mV + 19.48mV= 93.02mV

不正列電圧 VM (mv)不正列電圧の例としてはオフセット電圧がよく知られていると思います。零磁場のときにホール素子は理想的には零の電位差を出力します。しかし、ホールプレートを正確に対称に接続することができないことでオフセットが発生します。そこで VM を測定するときは地磁気(〜 0.5G)の影響を避けるためにホール素子をゼロガウスチェンバーに入れて行ってください。使用の際は、ポテンショメータやソフトウェアを用いて、この電圧をキャンセルしてください。

線形終端抵抗 RLIN (Ω)ホール素子の線形性を最大限引き出すためには、線形終端抵抗が必要です。しかしながら、線形終端抵抗によって負荷がかかるため、線形性が改善する分、感度は低下します。

ホール素子の選択にあたってはお客様の使用環境に応じたいくつかの項目やパラメータを選択してください

(ホール素子材料、動作温度範囲、磁気感度、温度係数、パッケージ、周波数応答、入出力抵抗など)

ホール素子は回転速度計、方位磁石、磁化機、非接触スイッチなどで、位置、傾き、圧力、薄さ、電流、電圧、電力、

周波数、そして磁場測定に使用されています。その他、ブラシレスモータの整流器や、航空機業界における金属の

ひび割れの非破壊検査にも使用されています。

線形性(%)このパラメータは直線からの逸脱を、測定値のパーセンテージで表したものです。理想的な応答は正負双方の磁場に対して直線になります。

反転誤差(%)反転誤差もわずかではありますが存在します。例えばホール素子が正の2kG の磁場中で 30mV を出力していたのに負の 2kG の磁場中では 30.3mVを出力するといったものです。この誤差はホール素子の不均一性や接続部に依存しています。

VM の温度によるドリフト(μV/℃)この値は正か負の傾きをもち補償が困難です。ホール素子に一定電圧を与えることでドリフト量を減らす方法があります。

KHOC の温度によるドリフト(% /℃)このパラメータは温度による感度の変化を示します。常に負の値を持ち、プレートの材質で決まります。 InAs と GaAs の場合レンジの− 0.08%/C から− 0.01%/C、 InSb は約− 2%/C になります。このドリフトは正の温度係数を持つ定電流源を使用することで補償できます。

抵抗値の温度によるドリフト(% /℃)入力、出力双方の抵抗値は温度によって変化します。入力抵抗のドリフトは定電流源を使用することで最小にできます。 InAs と GaAs の抵抗値ドリフトは+ 0.3%/℃で、 InSb は約− 2%/℃になります。温度によって抵抗値が正にドリフトすると、VHOC は負にドリフトします。なぜなら抵抗値が増加することによって電流が減少し、その結果、出力電圧が減少してしまうからです。

またデータシートでは定義できませんが、磁気抵抗効果も場合によっては無視できません。磁気抵抗効果とは、ホール素子が磁場にさらすとその入出力抵抗が変わってしまう現象です。抵抗値は正負両方向の磁場に対して増加するため、その関係は放物線で近似できます。あくまで参考値ですが、抵抗の変化は InAs と GaAs で - 0.5%/kG、InSb で25%/kG です。他の場合と同様に、磁気抵抗はホール素子の材質と素子の形状に依存します。

低磁場(< 1G)は、ホール素子の近くにフェライト製コンセントレータを置き、装置全体をパッキングすることによって測ることができます。特別なパッキングで低温(− 269℃)から 175℃までの測定が可能となります。放射線に曝されると素子の特定は劣化してしまいますが、軽い脱ガスを行うだけで、宇宙空間で使用することも可能です。ある機種では、23T(1T= 10kG)まで線形性が確認されています。また二軸三軸デバイスなら磁場のベクトル成分を図ることができます。

ホール素子

Hall Generator See data,if specifiedIC

RLVH

CurrentSource Output

Indication

4 3

2

1

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26※ホールセンサは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

温度の影響 直線性

ホールプレートの温度(℃) 磁場の強さ(kG)

定格制御電流によるマウントされていないホールプレートの温度上昇は20℃です。

VHOC の変化(%)

直線性誤差

■ 特長● アキシャル、トランスバース、タンジェンシャルの 10 種類● 6 〜 75mV/kG の感度● 数Ωの入出力抵抗

■ 仕様

BH-200 シリーズ

BH-200 BH-201 BH-202 BH-203 BH-204 BH-205 BH-206 BH-209

タイプ汎用、

トランスバース極薄、

トランスバースアキシャル

汎用、アキシャル

極小、アキシャル

極小、トランスバース

高感度、低価格、トランスバース

超極小、トランスバース

アクティブエリアの大きさ(mm) 1.78 x 5.33 0.76 x 1.52 1.02 x 2.29 1.52 x 3.81 0.76 x 1.52 1.02 x 2.29 1.52 x 3.81 0.51 x 1.02

入力抵抗 (最大) 2.5 Ω 3 Ω 7 Ω 2.5 Ω

出力抵抗 (最大) 2 Ω 3 Ω 5 Ω 3 Ω

定格制御電流 Icn 150mA 100mA 125mA 200mA 75mA

最大制御電流 (25℃) 250mA 150mA 250mA 150mA 200mA 250mA 150mA

磁気感度 (無負荷、*)15mV/kG ± 25%

12mV/kG ± 25%

10mV/kG± 25%

11mV/kG ± 25%

10mV/kG± 25%

60mV/kG± 25%

6.75mV/kG ± 25%

最大直線性誤差(読み取りの%) 0 〜1T ±1.0% ±1.5% ±1.0% ±1.5% ±1.0% ± 2.0% ±1.5%

残留電圧 (最大) (B = 0) * ±100 μ V ± 250 μ V ±100 μ V ± 200 μ V ±100 μ V ± 500 μ V ±100 μ V

ホール出力電圧の温度系数(-20 〜 +80℃)  (最大) **

-0.08%/℃ -0.25%/℃ -0.08%/℃

抵抗の温度系数(-20 〜 +80℃)  (最大) **

0.15%/℃ 0.2%/℃ 0.15%/℃

抵抗残留電圧の温度系数(-20 〜 +80℃)  (最大) **

±1μ V/℃ ± 6 μ V/℃ ± 0.5 μ V/℃

動作温度範囲-40℃~+100℃

0℃~+100℃

-40℃~+100℃

保管温度範囲-40℃~+105℃

0℃~+105℃

-40℃~+105℃

リード線

AWG34 AWG36 AWG36 AWG34 AWG36 AWG36 AWG34 AWG36

AWG34 赤(+Ic)、黒(-Ic)、青(+Vh)、黄(-Vh)AWG36 灰(+Ic)、緑(-Ic)、赤(+Vh)、灰(-Vh)

最適負荷抵抗 15 Ω 25 Ω 15 Ω

* 定格制御電流Icn** Ic = 100mA

ホール素子

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27※ホールセンサは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

Hall Plate

3.30mmMAX.

Over Leads

MAX.

HALL PLATE

BH-200 汎用 トランスバース

BH-201 極薄 トランスバース

BH-202 小型 アキシャル

BH-203 汎用 アキシャル

BH-204 超小型 アキシャル

BH-205 超小型 トランスバース

BH-206 高感度、低コスト

BH-209 超小型 トランスバース

3.30mm

1.78×5.33mm

12.7mm

9.53mm

6.35mm Max0.48mm MAX.

LEADS: AWG 34, 254mm long

LEADS: AWG 36, 254mm long

1.14mm 0.76×1.52mm

3.43mm

25.4mm MAX.0.25mm MAX.

12.7mm11.11mm

LEADS: AWG 36, 254mm long

LEADS: AWG 34, 254mm long

2.78mm3.30mmMAX.

2.59±0.08mm DIA.

1.27mm2.362mm

1.02×2.29mmHALL PLATE

HALL PLATE

HALL PLATE

HALL PLATE

HALL PLATE

HALL PLATE

LEADS: AWG 34, 254mm long

LEADS: AWG 36, 254mm long

LEADS: AWG 36, 254mm long

LEADS: AWG 36, 254mm long

2.54mm DIA. MAX.

1.80±0.08mm DIA.

1.27mm

0.76×1.52mm 2.36mm

2.78mm

1.40mm

2.03mm MAX.

1.02×2.29mm

0.406mm MAX. 0.56mm MAX. OVER LEADS

9.53mm7.94mm

19.05mm

0.76mmMAX.

1.52×3.81mm1.57mm

5.33mm

0.406mmMAX.

0.51×1.02mm

1.14mmMAX.

0.56mm MAX. OVER LEADS

4.76mm

0.76mm

4.95mm DIA.MAX.

1.524×3.81mm

3.18mm

1.27mm

2.362mm

4.14±0.10mm DIA.

■ 特長● BH-702・エアギャップ :63.5μm(公称値):76.2μm(最大値)・感度 :0.15V/A-kG(最小)  開回路ホール電圧 8.0mV(最小、100 Oe の空間中、Ic = 200mA)  Vh = 3.2mV/A・turn (最小、閉磁気回路中、Ic = 200mA)

● BH-701 型、BH-704 型・直線性 :読み値の± 0.25%(最大) (Vh-B、± 1T) :読み値の± 1.0 %(最大) (Vh-B、± 3T) :読み値の± 0.1 %(最大) (Vh-Ic、± 0 〜 100mA) :読み値の± 1.0 %(最大) (Vh-Ic、± 0 〜 300mA)

※仕様に明記されている以外の許容誤差は± 0.254mm(0.01インチ)です。

BH-700 シリーズ

ホール素子

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28※仕様に明記されている以外の許容誤差は± 0.254mm(0.01インチ)です。

※ホールセンサは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

+1% +1%

-1% -1%

±30 kG

磁場の強さ(kG)

出力誤差(%)

注)±30kG レンジでの最適負荷は90-200Ωです。

最適負荷

直線性BH-701 BH-704

±10 kG BH-701 BH-704

-10 -8 -6 -4 -2 0.0 2 4 6 8 10

14 %

+1 4 %

+

14 %

-1 4 %-

磁場の強さ(kG)

出力誤差(%)

注)±10kG レンジでの最適負荷は20-50Ωです。

最適負荷

直線性

Hall plate4.57mm x 2.03mm

190.5mm

5.08mm

6.35mm0.64mm

BH-700 低コスト トランスバース

0.89mm

3.96mm

ceramicsubstrate

0.58mm

0.71mm

+B

4.57mm

5.08

mm

+B

2.54mm

1.91mm

1.27mm

5.08mm

ferriteconcentrator

190.5mm

2.08mm ± 0.08mm

BH-702 フェライト組み込み トランスバース

5.08mm

3.18mm0.5mm0.81mm

6.73mm

254mmHall plate1.52mm x 3.05mm

0.51mm

substrateside

+B

BH-705 汎用 トランスバース

+

1.09mm

5.97mm

4.57mm

15.88mm254mm

active areaapprox. 1.02mm dia.

BH-701 高直線性 トランスバース

6.35mm

Active Area(Approx.) 0.79mm dia.

5.08mm

2.69mm

5.08mm dia.

254mm

+B

BH-704 高直線性 アキシャル

BH-700 BH-701 BH-702 BH-704 BH-705

特長 低コスト、トランスバース、汎用タイプ 優れた直線性、トランスバース 低磁界、トランスバース 優れた直線性、アキシャル トランスバース、汎用タイプ

アクティブエリアの大きさ(mm) 4.57 x 2.03 1.78 dia 1.91 x 1.27 0.79 dia 1.52 x 3.05

入力抵抗  (最大) 5.5 Ω 2 Ω 3.5 Ω 2.5 Ω 2.2 Ω

出力抵抗  (最大) 5.5 Ω 2 Ω 3.5 Ω 2.5 Ω 2 Ω

定格制御電流 Icn 200mA 100mA 200mA 100mA

最大制御電流 (25℃) 250mA 300mA 250mA

磁気感度 (無負荷、*) 50mV/kG(最小) 7.5mV/kG ± 20% ─ 7.5mV/kG ± 20% 10mV/kG ± 25%

最大直線性誤差(読み取りの%) 0 〜1T * ± 3% ─ ─ ─ ±1%

残留電圧 (最大)  (B = 0) ±1500 μ V ± 75 μ V ± 250 μ V ± 75 μ V ± 300 μ V

ホール出力電圧の温度系数(-20 〜 +80℃)  (最大) **

-0.2%/℃ -0.04%/℃ 0.18%/℃ -0.04%/℃ -0.08%/℃

抵抗の温度系数(-20 〜 +80℃)  (最大) **

0.2%/℃ 0.18%/℃ 0.2%/℃

抵抗残留電圧の温度系数(-20 〜 +80℃)  (最大) **

± 6 μ V/℃ (typ) ± 0.3 μ V/℃ (typ) ± 2.5 μ V/℃ (typ) ± 0.5 μ V/℃ (MAX) ±1μ V/℃ (MAX)

動作温度範囲 -40℃~+100℃ -55℃~+100℃ -40℃~+100℃ -65℃~ +100℃

保管温度範囲 -40℃~+105℃ -55℃~+105℃ -40℃~+105℃ -65℃~ +105℃

最適負荷抵抗 10 ~100 Ω 20 ~ 50 Ω(1T), 90 ~ 200 Ω(3T) 20 ~ 50 Ω20 ~ 50 Ω(1T),90 ~ 200 Ω(3T)

リード線 赤(+Ic)、黒(-Ic)、青(+Vh)、黄(-Vh)

* Ic = Icn** Ic = 100mA

■ 仕様

ホール素子

※dia =直径

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29

228.6mm

11.68mm

6.35mm

187.3mm

Field direction for positive (+B)■ 形状と寸法

※仕様に明記されている以外の許容誤差は± 0.254mm(0.01インチ)です。※ホールセンサは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

ホールプレート "Z"

ホールプレート "X" ホールプレート "Y"7.24mm dia

4.57mmdia

1.52×3.05mm 1.52×3.05mm

1.52×3.05mm

3.81mm flat

19.05mm

12.7mm

6.62mm

● BH-703 型  3 軸(X・Y・Z)ホール素子

■ BH-703 型の特長BH-703 型は直径約 6.6mm の小さなエポキシカプセルに 3 つのホールプレートが埋め込まれた 3 軸同時計測用ホールセンサです。

BH-703

特長 3 軸(X・Y・Z)

直交精度 <± 2℃

入力抵抗 (最大) 3.5 Ω

出力抵抗 (最大) 3.5 Ω

定格制御電流 Icn 100mA

最大制御電流 (25℃) 300mA

磁気感度 (無負荷、*) 7 ~10mV/kG

最大直線性誤差 (読み取りの%) ±1.0%(±1T)

残留電圧 (最大) (B = 0) ±100 μ V

ホール出力電圧の温度系数 (-20 〜 +80℃) (最大)

-0.04%/℃

抵抗の温度系数 (-20 〜 +80℃) (最大)

+0.15%/℃

抵抗残留電圧の温度系数 (-20 〜 +80℃) (最大)

0.5 μ V/℃

動作温度範囲 -40℃~+100℃

保管温度範囲 -40℃~+120℃

最適負荷 10 ~100 Ω

周波数 DC ~ 400Hz

リード線本数(長さ) 12 本(508mm)

種類 AWG34

■ 仕様

BH-703 型(3 軸タイプ)

40

20

0

-20

-40

-60

321

-1-2

I = 200mA

〔Vmv〕

〔G〕

■ 特長BH-850 型 ホール素子は地磁気に代表される低磁場測定用磁場センサです。

■ ホール出力電圧特性

■ 仕様

BH-850

入力抵抗 (最大) 3.5 Ω

出力抵抗 (最大) 3.5 Ω

磁気感度 (無負荷) 18mV/G

残留電圧 (最大) (B = 0) ±190 μ V

最大制御電流 (25℃) 300mA

定格制御電流 Icn 200mA

ホール出力電圧の温度系数(-20 〜 +80℃) (最大)

-0.18%/℃

抵抗残留電圧の温度系数(-20 〜 +80℃) (最大)

± 2.5 μ V/℃

動作温度範囲 -55℃ ~ +85℃

保管温度範囲 -55℃ ~ +85℃

リード線 赤(+Ic)、黒(-Ic)、青(+Vh)、黄(-Vh)

BH-850 型ホール素子

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30

特長■ 超広帯域測定範囲:0 〜± 15T(± 150kG)■ 使用温度範囲:4K 〜 373K(− 269℃〜 + 100℃)■ InAs ホール素子■ 入力磁界と出力電圧特性の直線性に優れている■ 優れた温度特性■ 信頼性が高く、素子間のバラつきが少ない■ 校正直線図付(0 〜± 3T)

概要ホール効果は 1879 年に E.H.Hall が発見しました。半導体中でキャリアが磁界の作用している場で移動すると、磁界のためにキャリアの運動に影響が出ます。 の電荷を持つキャリアが電界 で加速され、速度 となり、更に に直角方向に磁界 が作用している時、キャリアに働く力 は

  ………(1)

と表せる。静電力のほかに、速度と磁界に直角で、それぞれに比例するローレンツ力が働きます。n 型半導体の場合、電子は電界と反対方向に加速されます。速度を得ると共に、電界と直角方向にかかっている磁界によって、運動と直角方向の力を受けます。このため電子は回転します。ある衝突緩和時間 τ の後に、結晶格子や不純物と衝突して停止します。再び同じ運動を繰り返します。個々の電子の運動は円 の連続だが、その軌跡として電流 は電界に対してある確度 θ の方向に流れます。この現象をホール効果と言い、θ をホール角と言う。一方、磁界のかかっていない時の電子の速度 は、

……(2)と表せます。 は電界で、比例係数μは移動

度です。そして、ホール効果による θ は、 ……(3)と近似的に表せます。また、電界 を電流と平行な成分 と直角な成分 とに分けると、 ……(4)の関係がある。 は磁界の結果生じたもので、磁束密度 に比例し、電流密度 にも比例し、 ……(5)と表せます。比例係数 をホール係数と言う。n 型半導体の RH は近似的に、  ……(6)となります。n は電子の密度、e は電子の電荷。

左図のような素子を考えてみます。素 子の面に垂直な磁束密度 、全電流を I とすると、電流に対して直角方向の端子に表れるホール電圧 は、

……(7)

となります。素子内の電子は磁界によるローレンツ力で片方に寄る。一方が電子過剰、もう一方が電子不足になります。これがホール電界です。

ホール素子(ホール電圧)

制御電流

磁気密度

付属している校正直線図例

BHA-921&BHT-921極低温用磁場センサ

電子移動度(cm2.V − 1.S − 1)

ホール定数(cm3.C − 1) (cm .V- .S- )

μRH12

12

22

比抵抗 ρ(Ω・cm)

InAs 23,000 115 1,600 0.005

InSb 75,000 380 5,300 0.005

Ge 3,500 4,250 3,900 1.2

GaAs 8,000 6,250 7,100 0.78

ホール素子

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31

極低温下においても、常温下においても、測定中の温度が一定であるならば、その性能は変わりません。

直線性の誤差4.2K において、磁場の強さに対するホール電圧の直線性を検査すると、上図に例示されているように、誤差が生じます。これらの誤差は 2 種に分類されます。

 (1)量子振動 (2)高磁場における直線性の変化

上図に見られるように、誤差曲線は、高磁場で、ゼロ線を中心に振動しています。曲線は、振動が非対称で不規則なために、素子(プローブ)ごとに違っていました。8T、14T と 18T 以下の磁場における最大振動が、ホール電圧出力の百分率で算出されました。最大振動は誤差曲線を使えば簡単に計算できます。その磁界での 1%線の高さと振動の高さを比較すればよいからです。この分析は、量子振動が明らかになる 5T 以上の磁場で行なわれました。表Ⅱは、ホール素子(プローブ)7 個を分析し、最小振動、最大振動と平均値を要約したものです。

(2)の高磁場における直線性の変化は、ETV 社のプローブにのみ観察される現象です。F.W.Bell 社のプローブでは、この非直線性は見られません。

表Ⅱ . 4.2K における量子振動

Maximumpercentquantumoscillation     correctiontolinearfit,aforBlessthan:

 Probe 8T 14T 18TFWBleast (No.883) 0.3 0.5 0.9

FWBgreatest (No.43) 0.5 0.8 1.4

FWBaverage (sevenprobes) 0.34 0.6 1.2b

実験的性能マサチューセッツ工科大学 L.G.Rubin と D.R.Nelson は、論文

“磁界及び極低温のために商用化された 2 種類のホール効果型センサの特性”の中で、F.W.Bell 社の極低温用磁場センサを検証しました。実験装置は下図の通りです。

ホール電圧は、それぞれ 300K、77K と 4.2K で 18 テスラ(180Kガウス)まで磁場の関数として測定され、測定データをコンピュータによって解析した結果、次のような結論を得ている。

1. 直線性は 8 テスラ(80K ガウス)まで± 0.5%以内で、18テスラ(180K ガウス)まで± 1.4%以内でした。

2. 上記 1.の結論は、いかなる温度(300K、77K、4.2K)においても適用されます。ホール素子の出力は、周囲の温度が一定であれば、変化しません。

3. 試験回数を 25 回に限れば、常に 14 テスラ(140K ガウス)まで、± 0.2%の測定精度を維持できます。

B

ソレノイドの中心線

フェノール製 マウントシリンダ

ホール素子

フェノール製 マウントブロック

リード線

液体窒素もしくは液体ヘリウム

1cm

ホール素子

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大 阪 支 店名 古 屋 営 業 所茨 城 営 業 所宇 都 宮 営 業 所電子技術センターテクノロジーインターフェースセンター

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※仕様に明記されている以外の許容誤差は± 0.254mm(0.01インチ)です。※ホールセンサは、非常に壊れやすく、構造上修理することが困難です。取扱いにはご注意下さい。

15.88mm

(+)

254mm MIN.

5.97mm

4.57mm

セラミックケース

アクティブエリア約1.02mm dia.

1.09mmMAX.

注) (+) は磁場の方向を示す

アクティブエリア

フェノールケース

+B

6.35mmdia.

5.1mmMAX.

約 0.51mm dia.

2.70mm

5.08mm dia.

254mm

■ アキシャルホール素子 BHA-900, 910 & 921 ■ トランスバースホール素子 BHT-900, 910 & 921

BHT-900 BHT-910 BHT-921 BHA-900 BHA-910 BHA921

特長 ワイドレンジ 高直線性 低温用 ワイドレンジ 高直線性 低温用

アクティブエリアの大きさ(mm) 1.02 dia 0.51 dia

入力抵抗 (最大) 1.2 Ω 1.5 Ω

出力抵抗 (最大) 1.2 Ω 1.5 Ω

定格制御電流 Icn 100mA

最大制御電流(25℃) 300mA

磁気感度(無負荷、*) 0.55 ~1.1mV/kG

最大直線性誤差(読み取りの%)-3 〜 3T *

±1.0%± 0.1% (0-3T)± 0.3%(-3T-0)

±1.0% ±1.0% ± 0.25% ±1.0%

最大直線性誤差(読み取りの%)-15 〜15T *

±1.5% ─ ± 2.0% ±1.5% ─ ± 2.0%

残留電圧 (最大) (B = 0)* 75 μ V

ホール出力電圧の温度系数(-20 〜 +80℃) (最大)*

-0.05%/℃ + 0.1%/℃ -0.05%/℃ + 0.1%/℃

抵抗の温度系数(-20 〜 +80℃) (最大)*

0.15%/℃ 0.6%/℃ 0.15%/℃ 0.6%/℃

抵抗残留電圧の温度系数(-20 〜 +80℃) (最大)*

0.1μ V/℃

動作温度範囲 -40℃~+100℃ -269℃~ +100℃ -40℃~+100℃ -269℃~ +100℃

リード線 赤(+Ic)、黒(-Ic)、青(+Vh)、黄(-Vh)

最適負荷抵抗 500 Ω 50 ~ 500 Ω 500 Ω 500 Ω 50 ~ 500 Ω 500 Ω

* Ic = Icn

■ 仕様

BH-900 シリーズ

ホール素子