ﺔﻳﻭﻧﺎﻧﻟﺍ ﺩﺍﻭﻣﻠﻟ ﻑﻳﺻﻭﺗﻟﺍﻭ ﺱﺎﻳﻘﻟﺍ...

الخوامأنس . دهيئة الطاقة الذرية–قسم الفيزياء –النانوية البنىدائرة

أجهزة القياس والتوصيف للمواد النانوية

۲۰۱۸نيسان ۷ ۱

مخطط المحاضرة

المقدمة•

أجهزة القياس والتوصيف •

الخالصة•

العلماء والمخترعين الضوء والمجاهر وأعالم لمحة تاريخية عن -

الصعوبات ومعوقات العمل -

الحاجة التي دعت لتصنيعها وتطويرها -أهم الوسائل المستعملة في توصيف المواد النانوية -

ما هو المتوفر في سوريا من بين هذه التقنيات وما هي مجاالت البحث وسويتها -

اآلمال والتوصيات -

۲۰۱۸نيسان ۷ ۲

Paint on concreteHuman eye cells Trace elements in quartz

Skopeo (look at)Greek Origin

Mikros (small) +

۲۰۱۸نيسان ۷ ۳

Presenter

Presentation Notes

ربما ترجع بداية علم المجهريات إلي عصور ما قبل التاريخ ، عندما التقط إنسان بدائي ما قطعة مستديرة من البلور الصخري أو الزجاج البركاني و لاحظ أنها تكبر الأشياء. لقد حاول الإنسان منذ آلاف السنين أن يطور قدرته علي الرؤية بواسطة أدوات لتكبير الأشياء التي يراها. فقام النحاتون القدماء في حضارات الشرق الأوسط القديمة بملء كرات زجاجية بالماء لتكبير المنحوتات. ولقد كانت عدسات القراءة البسيطة شائعة في عصر الإمبراطورية الرومانية. و في العصور التي تلت تلك الفترة كان التطور في هذا المجال بطيئا ، أصبحت صناعة صقل العدسات من الفنون المتقدمة في نهاية القرن السادس عشر. و في نهاية القرن السادس عشر من الميلاد، تحديدا في سنة 1590، حدثت أول طفرة علمية في هذا المجال عندما استطاع صناع العدسات الألمان أن يركبوا عدة عدسات في أنبوب بنظام معين لصنع أول مجهر مركب يعرفه البشر.

أعالم ومشاهير صناعة المجاهر

Robert Hooke(1635-1703)

Ernst Ruska (1906-1988)

Ernst Abbe (1840-1905)

Richard Feynman(1918-1988)

Antony van Leeuwenhoek(1632-1723)

Hans Lippershey

(1570-1619)

Van Ardenne

1039-965: الحسن بن الهيثم

۲۰۱۸نيسان ۷ ٤

Presenter

Presentation Notes

1- الحسن بن الهيثم: 965-1039 -اسهم في تقدم علم البصريات (Optics ) وقدمه في كتاب ( المناظر) . بعد العلماء العرب والمسلمون بحوالي 5 الى 6 قرون بدأ اهتمام الاوربيين بالعلوم والضوئيات وتطويرها أصبحت صناعة صقل العدسات من الفنون المتقدمة في نهاية القرن السادس عشر. و في نهاية القرن السادس عشر من الميلاد، تحديدا في سنة 1590، حدثت أول طفرة علمية في هذا المجال عندما استطاع صناع العدسات الألمان أن يركبوا عدة عدسات في أنبوب بنظام معين لصنع أول مجهر مركب يعرفه البشر. 2- جاليليو Galileo : 1564-1642 - مخترع المجهر البسيط ( عبارة عن عدسة واحدة ) 3- فرانسيس و زكريا جانسينز: - مخترعا المجهر المركب 4- انطوني فان لوفينهوك : - مخترع المجهر البسيط 5- روبرت هوك Robert hooke : مخترع المجهر المركب و مكتشف الخلية بنشر كتابه الميكروجرافيا عن ملحظاته و نتائج تجاربه بالمناظير 6- راسكا : مخترع المجهر الالكتروني النافذ ( رؤية داخل الخلية ) 7- فان اردن Van Ardenne: مخترع المجهر الالكتروني الماسح

۲۰۱۸نيسان ۷ ٥

Presenter

Presentation Notes

يمكن تقسيم مجال الرؤية بحسب الآلية المستخدمة فيها والبعد المراد رؤيته إلى ثلاثة أقسام: الرؤية بالعين المجردة والتي يمكنها التمييز حتى 1 ديزيم الرؤية بواسطة المجهر الضوئي والتي يمكنها التمييز حتى عدة مئات من النانومتر الرؤية بواسطة المجهر الالكتروني والتي يمكنها التمييز حتى عدة أنغسترومات وبهذا المخطط نرى الاشاء التي امكنا رؤيتها وربطها بالاداة المستخدمة

۲۰۱۸نيسان ۷ ٦

أصغر مسافة بين نقطتين من العينة نستطيع رؤيتها بواسطته= قدرة الفصل للمجهر

تتعلق قدرة الفصل بطول موجة اإلشعاع المستخدم

تزيد قدرة الفصل من خالل استعمال أطوال موجية أقصر

Presenter

Presentation Notes

تعرف قدرة الفصل للمجهرd: بأنها أصغر مسافة بين نقطتين من العينة يمكن الفصل بينهما بوضوح (أي تمييزهما) بوساطة المجهر وهي تتعلق وتحدد بدلالة طول موجة الأشعة المستخدمة : λطول موجة الإشعاع الذي يضيئ الجسم المدروس n: قرينة انكسار الوسط الذي يوجد فيه الجسم المدروس، α: زاوية فتحة المجهر aperture. ويدعى الجداء n sin α الفتحة العددية لجسمية المجهر بحيث تزداد دقة الفصل بتناقص طول الموجة

۲۰۱۸نيسان ۷ ۷

Presenter

Presentation Notes

تبلغ قيمة λ الوسطية للضوء المرئي 550 نانو متر تقريبا، مما يجعل أصغر مسافة فاصلة يمكن تمييزها بوساطة المجهر الضوئي 180 نانو. ولا يمكن تحسين مقدرة الفصل أكثر من ذلك إلا باستعمال أشعة ذات طول موجي أصغر وهذا ما يمكن أن توفره الإلكترونات المتحركة بسرعة كبيرة في المجهر الإلكتروني، إذ إن طول الموجة المواكبة للإلكترون يعطى بالعلاقة التي تبين أنه يمكن إنقاص طول موجة الإلكترون بزيادة طاقته الحركية أي بزيادة فرق الكمون المسرع للإلكترونات، وتراوح فروق الكمون المستعملة بين 50 كيلو فلط وعدة ملايين من الفلطات، مما يجعل طول موجة الإلكترون أصغر من طول موجة الضوء بآلاف المرات، وتصبح بذلك مقدرة الفصل في المجهر الإلكتروني أفضل منها في المجهر الضوئي بآلاف المرات.

۲۰۱۸نيسان ۷ ۸

المجهر االلكتروني الماسح SEM

vacuum

electron beamimpact area

electron source

Presenter

Presentation Notes

وهذا ما أوحى بفكرة صنع المجاهر الالكترونية التي تسمح بتوليد وتوجيه الالكترونات نحو العينة المراد دراستها و بكلام مبسط بما أن الإلكترونات لا يمكنها التحرك بحرية ضمن الهواء كان لابد لذلك لعمل المجهر الإلكتروني الماسح وكما نشاهد بالصورة ان تكون جميع أجزاؤه من منبع الالكترونات وآلية توجيهها نحو العينة المراد داستها ضمن الخلاء

۲۰۱۸نيسان ۷ ۹

أقسام المجهر الماسح

)مدفع(منبع االلكترونات •عمود التوجيه والتسريع• كهراطيسيةعدساتحلقات المسحالحجرة ومنصة حامل العينات•منظومة التخلية•الكواشف•حاسوب التحكم وبرامج المعالجة•

Presenter

Presentation Notes

ننتقل الان لشرح أسام وتفاصيل المجهر الالكتروني الماسح يتألف المجهر الالكتروني الماسح من الأقسام التالية منبع الالكترونات (المدفع) العمود ويحتوي عدسات كهرومغناطيسية لتبئير وتوجيه الحزمة للمسح حجرة وحامل العينات الكواشف منظومة لخلاء كمبيوتر التحكم ومعالجة الصور والمعطيات وسنأتي على شرح كل منها على حدى

۲۰۱۸نيسان ۷ ۱۰

أنواع المنابع االلكترونية

.الحراريالمدفع االلكتروني األيوني : المنبع التقليدي•

.الحقلالمدفع االلكتروني بمفعول : المنبع الحديث•

Single crystal of LaB6 Tungsten wire Field emission tip

Presenter

Presentation Notes

ان الهدف المراد تحقيقه هو الحصول على كثافة الكترونية عالية لذلك جرى اختراع عدة انواع من منابع الحزم الالكترونية ومنها : التقليدي : المدفع الالكتروني الأيوني الحراري وهو عبارة عن سلك من التنغستين او بلورة بوريد اللنتانيوم او الحديث : المدفع الالكتروني بمفعول الحقل ومنه ذو النوع البارد او الحار حيث يستعمل حقل كهربائي قوي لاقتلاع وتوليد الالكترونات

۲۰۱۸نيسان ۷ ۱۱

عمود المجهرمنبع االلكترونات كهراطيسيةثالث عدساتعدستين مكثفتينعدسة جسمية

لتعديل وتوجيه الحزمة االلكترونية :المسححلقات

ضبط وتحديد أبعاد الحزمة االلكترونيةفتحات

Presenter

Presentation Notes

بعد المنبع نتقل بالحديث عن العمود وهو الجزء الرئيس بالمجهر يتألف العمود من أقسامه الرئيسة وهي: المنبع الالكتروني العدسات الكهرومغناطيسية المبئرة والعدسات الجسمية لتكبير صورة الجسم وشائع المسح للتحكم يالحزمة وتعديلها فتحات ضبط وتحديد أبعاد الحزمة الالكترونية ومن المهم ان نعلم انه عادة مايكون الخلاء ضمن العمود من رتبة أعلى منه في باقي اقسام المجهر

۲۰۱۸نيسان ۷ ۱۲

حامل العينات

Presenter

Presentation Notes

انتقل للحديث عن قسم أساسي آخر من المجهر وهو حامل العينات صمم حامل العينات بشكل يؤمن تحكم وحركة كاملة للعينات المثبتة عليه ضمن كامل الفراغ من خلال حركة بالاتجاهات الثلاثة إضافة الى الدوران حول محور الحزمة وكذلك الميلان بزوايا صغيرة باتجاه عمودي على الحزمة

۲۰۱۸نيسان ۷ ۱۳

منظومة الخالء

لماذا نحتاج الخالء في المجاهر االلكترونية ؟•

.يجب أن يكون الخالء عال بشكل كاف ليسمح للمسار الحر الوسطي لإللكترونات•

.الخالء العالي ضروري لعمل الكواشف االلكترونية•

.الغازيالخالء الجيد يسمح بتبخير وتطاير بعض من مادة العينات ذات الطور •

.للعيناتالخالء العالي مطلوب لمنع التلوث السطحي •

Presenter

Presentation Notes

المجهر الالكتروني يعمل حصرا ضمن الخلاء فلماذا نحتاج الى الخلاء في المجاهر الالكترونية أولا: الالكترونات لا يمكنها التحرك في الهواء فهي تتشتت مباشرة على جزيئاته وبالتالي فالضغط يجب ان يكون منخفضا كفاية ليؤمن مسار حر وسطي للالكترونات 2- الخلاء متطلب لعمل كواشف الالكترونات 3- الخلاء الجيد يسمح بتبخير وتطاير بعض من مادة العينات ذات الطور الغازي 4- الخلاء العالي مطلوب لمنع التلوث السطحي للعينات

۲۰۱۸نيسان ۷ ۱٤

نواتج التفاعل بين االلكترونات ومادة العينة

Presenter

Presentation Notes

قبل الانتهاء من تعداد وشرح باقي أقسام المجهر ننتقل لشرح بعض الأساسيات الضرورية فهمها عندما تصطدم حزمة الكترونات بسطح العينة المراد دراستها ينجم عن ذلك التفاعل إصدارا الكترونيا وضوئيا لفوتونات بطاقات مختلفة نذكر منها: الالكترونات الثانوية الكترونات التشتت العكسي الكترونات اوجيه اصدار للاشعة السينية اصدار ضوئي كما يحدث مفعول الشحن للعينات المدروسة وسناتي على ذكر كل منها بتفصيل مبسط بحسب حاجتنا للمعرفة وبحسب الوقت المتوفر

۲۰۱۸نيسان ۷ ۱٥

نواتج التفاعل بين االلكترونات ومادة العينة

Presenter

Presentation Notes

الالكترونات الثانوية : وهي ذات منشأ من العينة المدروسة ذاتها، وتملك طاقات حركية أقل نسبيا من الأنواع الالكترونات الأخرى وهي بشكل أساسي تنجم عن سطح العينة وتتعلق كثيرا بطبوغرافيته وتعطي دقة فصل عالية الكترونات التشتت العكسي: وهي ذات طاقات حركية عالية تتشتت بسبب الحقل لنواة الذرة، وهي بشكل أساسي تعكس كيميائية العينة وترتبط بالعدد الذري لمادتها. الأشعة السينية: وتعطي معلومات عن التركيب العنصري للعينة، وترتبط بكيميائيتها

۲۰۱۸نيسان ۷ ۱٦

الكواشفBackscattered electron detector:(Solid-State Detector)

Secondary electron detector:(Everhart-Thornley)

Presenter

Presentation Notes

بالعودة الى شرح أقسام المجهر نتحدث عن أجزاء رئيسية منه وهي الكواشف وبحسب الالكترونات المراد كشفها جرى تصميم الكاشف المناسب وهما كاشفي الكترونات التشتت العكسي وكاشف الإلكترونات الثانوية

۲۰۱۸نيسان ۷ ۱۷

للطاقةكاشف االشعة السينية المشتتة (EDX)

كاشف االشعة السينية المشتتة •وهو كاشف سلكوني للطاقة

للمواديستخدم للتحليل العنصري

A typical spectrum obtained on mineral particles of up to 2μm diameter. The peaks are labeled with the EDX line of the corresponding element

۲۰۱۸نيسان ۷ ۱۸

Examples

TiO2

۲۰۱۸نيسان ۷ ۱۹CNT

۲۰۱۸نيسان ۷ ۲۰

• Biological samples

TEETH

۲۰۱۸نيسان ۷ ۲۱

plant

۲۰۱۸نيسان ۷ ۲۲

المجهر االلكتروني النافذ TEM

)مدفع(منبع االلكترونات •عمود التوجيه والتسريع• كهراطيسيةعدساتمنصة حامل العيناتمنظومة التخلية•الكواشف•الفلورةمنظومة التصوير وشاشة •حاسوب التحكم وبرامج المعالجة•

۲۰۱۸نيسان ۷ ۲۳

TEM

۲۰۱۸نيسان ۷ ۲٤

؟ TEMما هي المعلومات التي يزودنا بها المجهر •

.صور وقياسات أبعاد للمواد النانوية•

). البلوري–متعدد البلورات –وحيد البلورة ( البنية البلورية •

.المناطق البينية–العيوب –صور بقدرة فصل ذرية للسطوح •

.مخططات االنعراج االلكتروني•

TEM

۲۰۱۸نيسان ۷ ۲٥

Ge on Si 200000X

100nm

السليسكون ركازةفي غشاء من الجرمانيوم على االنخالعات

۲۰۱۸نيسان ۷ ۲٦

Ge Ge(البلوري) (بلوري)

TEM مخططات االنعراج

۲۰۱۸نيسان ۷ ۲۷

نقاط كموميةفيلم أملس

100 nm

في فيلم الجرمانيوم المشاب الخلوع

TEM صور السطوح

۲۰۱۸نيسان ۷ ۲۸

SPMالماسحة المجساتمجاهر )Scanning Probe Microscopy (

. … STM,AFM,MFM) التقنياتلعدد واسع من األم التقنية هذه المجاهر تعد •في ظروف العمل ،األبعادثالثي تصوير ، نانويةتضاريس سطوح العينات بدقة ف توص •

.)سائل...خالء... هواء(مختلفة ميكانيكية أو شعرية خاصة (تمد على القوة المتبادلة بين رأس المجس وسطح العينة تع•

.الذرية أو غيرها من أنواع القوى سفاندرفالأو قوة كهرستاتيكيةبالسوائل أو

بمسح سطح العينة قوم يبضع ذرات فقط، ) Tips(الماسح المجس أبعاد رأس تبلغ •

.المسحخالل عملية المجس معطيات وتسجيل المدروسة

۲۰۱۸نيسان ۷ ۲۹

STM الماسحنفقي مجهر الال )Scanning Tunnelling Microscope (

Presenter

Presentation Notes

بسبب ما شرحناه سابقا عن تعذر استعمال المجاهر الضوئية لدراسة المواد على المستوى الذري. ومن اجل ذلك يستعمل المجهر STM ظاهرة المفعول النفقي في فيزياء الميكانيك الكم الذي يفسر مرور تيار كهربائي بين رأس المجس وذرات سطح العينة عندما يقترب المجس الى مسافة عدة نانومترات من السطح. خلال عملية المسح اذا تغيرت المسافة الفاصلة بين رأس المجس وسطح العينة أدى ذلك الى تغيير التيار المسجل وبالتالي يمكننا عبر تسجيل ذلك التغير بواسطة مقياس نانو امبير ان نسجا صورة طبوغرافية للسطح

۲۰۱۸نيسان ۷ ۳۰

STM الماسحنفقي مجهر الال )(Atomic Manipulations

Presenter

Presentation Notes

يمكن استخدام المجهر النفقي الماسح كأداة فريدة ووحيدة لخلق بنى نانوية على المستوى الذري حيث يمكن نقل الذرة بواسطة المجس من مكانها على سطح العينة لتوضع في مكان آخر محدد عبر السطح وبهذا الشكل امكن كتابة MPI اختصارا لمفردات Max Plank Institute

۲۰۱۸نيسان ۷ ۳۱

STM الماسحنفقي مجهر الال )A Boy and his Atom Atomic Manipulations:

Presenter

Presentation Notes

تمكن علماء من IBM عام 2013 من عمل أدق فلم متحرك يروي قصة ولد وحبه لذرته وذلك عن طريق التلاعب بأماكن الذرات وتشكيلها على السطح عبر استخدام المجهر النفقي الماسح والوصول لتكبيرات أكبر من 100 مليون مرة

۲۰۱۸نيسان ۷ ۳۲

مجهر القوى الذرية AFM

STMجاء تطويرا للمجهر•

Gerd بينيغ غيرديد العالمين األلماني على تم اختراعه • Binnigهاينريخالسويسري و

IBMلصالح شركة ۱۹۸٦العام Heinrich Rohrer روهرر النانويمستوى العلى وقياس عالية تكبير قدرة ذو •العينةبين رأس المجس وسطح االذريعلى مبدأ قياس قوى التجاذب أو التدافع يعتمد •.والناقلة وشبه الناقلةلدراسة سطوح العينات العازلة يصلح •

Presenter

Presentation Notes

جاء تطويرا للمجهر النفقي الماسح ليستخدم في مجال تقنية النانو لرسم تضاريس السطوح ذات الأبعاد النانوية وهو ذو قدرة تحليلية عالية وأداة تكبير وقياس على مستوى النانوي و يعتمد على مبدأ قياس قوى التجاذب أو التدافع االذري بين رأس المجس وسطح العينة وبدون تخليه من الهواء وهويصلح لدراسة سطوح العينات العازلة فضلا عن العينات الناقلة أو شبه الناقلة ويفوق حد تكبيره المليون مرة تم اختراعه وتركيبه على يد العالمين الألماني غيرد بينيغ Gerd Karl Binnig والسويسري هاينريخ روهرر Heinrich Rohrer في العام 1986لصالح شركة IBM

۲۰۱۸نيسان ۷ ۳۳


: المكونات األساسية لمجهر القوى الذرية•

.في نهايتها مجس مكون من رأس حاد يستخدم في مسح سطح العينة cantileverالذراع •

.لتثبيت القوة عليه Zللمسح و X,Y: يؤمن حركة باالتجاهات الثالثة الكهراضغطيالماسح •

ليزر•

كاشف ضوئي حساس للموضع•

Presenter

Presentation Notes

الذراع cantilever في نهايتها مجس مكون من رأس حاد يستخدم في مسح سطح العينة. تصنع الذراع من مادة السيليكون أو نتريد السيليكون. كاشف ضوئي حساس للموضع PSD (position sensitive detectore) مؤلف من مصفوفة من الفوتو ديود ترصد انحراف الشعاع الليزري المنعكس نتيجة انحراف الذراع

۲۰۱۸نيسان ۷ ۳٤


: المكونات األساسية لمجهر القوى الذرية•

Presenter

Presentation Notes

الذراع cantilever في نهايتها مجس مكون من رأس حاد يستخدم في مسح سطح العينة. تصنع الذراع من مادة السيليكون أو نتريد السيليكون. كاشف ضوئي حساس للموضع PSD (position sensitive detectore) مؤلف من مصفوفة من الفوتو ديود ترصد انحراف الشعاع الليزري المنعكس نتيجة انحراف الذراع

۲۰۱۸نيسان ۷ ۳٥


Presenter

Presentation Notes

عندما تقترب الابرة من سطح العينة تؤدي قوى التجاذب بين ذرات رأس الابرة والسطح الى انثناء في الذراع يؤدي الى تغير موضع شعاع الليزر المنعكس على الكاشف ويسنطيع برنامج معالجة للاشارة تسجيل التغيرات في الانحنائات للذراع مع المسح واستخراج التغيرات الطبوغرافية لسطح المادة الممسوح

۲۰۱۸نيسان ۷ ۳٦


أنماط تشغيل مجهر القوى الذرية•

أو نمط االتصال االستاتيكيالتشغيل نمط •

التشغيل الديناميكي أو نمط عدم االتصال نمط •

االتصالنمط النقر وهم متطور عن نمط التشغيل الديناميكي أو نمط عدم •

۲۰۱۸نيسان ۷ ۳۷


۲۰۱۸نيسان ۷ ۳۸

AFM صور السطوح

AlN By PLD

۲۰۱۸نيسان ۷ ۳۹

AFM صور السطوح

Super hydrophobic a-C:F By PLD

تقنيات التحضير والتوصيف المتوفرة واستخداماتها

۲۰۱۸نيسان ۷ ٤۰

تقنيات التحضير المتوفرة واستخداماتهاPECVDبالبالزما المحثوثالتوضيع الكيميائي في الطور الغازي ۱.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٤۱

PECVD (remote)

Plasma source

. توضيع أغشية رقيقة•۲۰۱۸نيسان ۷.المعالجة البالزمية للسطوح• ٤۲

PECVD (Direct)

. توضيع أغشية رقيقة•Solar Cellsالخاليا الشمسية •

۲۰۱۸نيسان ۷ ٤۳

تقنيات التحضير المتوفرة واستخداماتهاPECVDبالبالزما المحثوثالتوضيع الكيميائي في الطور الغازي ۱.MWPA-PLD المكرويةالتوضيع بالليزر النبضي المعزز بالبالزما ۲.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٤٤

PLD assisted by Microwave Plasma

مواد نانوية رقيقة لتوضيع أغشية •.نتريدات -أكاسيد -معادن

.ذات ناقلية فائقةرقيقة توضيع أغشية •

.غازية محساتبهدف تصنيع •

.مواد جديدة ذات بنى نانويةتحضير •

۲۰۱۸نيسان ۷ ٤٥

تقنيات التحضير المتوفرة واستخداماتهاPECVDبالبالزما المحثوثالتوضيع الكيميائي في الطور الغازي ۱.MWPA-PLD المكرويةالتوضيع بالليزر النبضي المعزز بالبالزما ۲.E-Gunالتوضيع بالمدفع اإللكتروني ۳.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٤٦

ذات درجة حرارة انصهار مرتفعة جدامواد رقيقة لتوضيع أغشية • SiC, AlN, Mo … +األكاسيد المختلفة.

Electron Gun

.ناقلية فائقةذات مواد رقيقة لتوضيع أغشية •

۲۰۱۸نيسان ۷ ٤۷

تقنيات التحضير المتوفرة واستخداماتهاPECVDبالبالزما المحثوثالتوضيع الكيميائي في الطور الغازي ۱.MWPA-PLD المكرويةالتوضيع بالليزر النبضي المعزز بالبالزما ۲.E-Gunالتوضيع بالمدفع اإللكتروني ۳.DC/RF المغنترونية بالرشرشةالتوضيع ٤. Magnetron Sputtering

۲۰۱۸نيسان ۷ ٤۸

۲۰۱۸نيسان ۷ ٤۹

تقنيات التحضير المتوفرة واستخداماتهاPECVDبالبالزما المحثوثالتوضيع الكيميائي في الطور الغازي ۱.MWPA-PLD المكرويةالتوضيع بالليزر النبضي المعزز بالبالزما ۲.E-Gunالتوضيع بالمدفع اإللكتروني ۳.DC/RF المغنترونية بالرشرشةالتوضيع ٤. Magnetron SputteringArc Dischargeالقوس الكهربائي بانفراغالتوضيع ٥.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٥۰

مواد نانوية رقيقة لتوضيع أغشية •.نتريدات -أكاسيد -معادن

-غازية محساتبهدف تصنيع •.مغناطيسية

Arc Discharge

۲۰۱۸نيسان ۷ ٥۱

تقنيات التحضير المتوفرة واستخداماتهاPECVDبالبالزما المحثوثالتوضيع الكيميائي في الطور الغازي ۱.MWPA-PLD المكرويةالتوضيع بالليزر النبضي المعزز بالبالزما ۲.E-Gunالتوضيع بالمدفع اإللكتروني ۳.DC/RF المغنترونية بالرشرشةالتوضيع ٤. Magnetron SputteringArc Dischargeالقوس الكهربائي بانفراغالتوضيع ٥.Thermal Depositionالتوضيع الحراري ٦.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٥۲

:للمعادن المختلفةرقيقة توضيع أغشية •Au, Ag, Pt, Al, Pd …

.طبقات ناقلة للخاليا الشمسية•

Thermal Deposition

۲۰۱۸نيسان ۷ ٥۳

تقنيات التحضير المتوفرة واستخداماتهاPECVDبالبالزما المحثوثالتوضيع الكيميائي في الطور الغازي ۱.MWPA-PLD المكرويةالتوضيع بالليزر النبضي المعزز بالبالزما ۲.E-Gunالتوضيع بالمدفع اإللكتروني ۳.DC/RF المغنترونية بالرشرشةالتوضيع ٤. Magnetron SputteringArc Dischargeالقوس الكهربائي بانفراغالتوضيع ٥.Thermal Depositionالتوضيع الحراري ٦.Chemical Dip-coatingالتوضيع بالتغطيس الكيميائي ۷.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٥٤

۲۰۱۸نيسان ۷ ٥٥

العضوية/عضوية–رقيقة بوليميرية توضيع أغشية •مغناطيسية - الخطيةذات خواص بصرية •

Chemical Dip-coating

تقنيات التحضير المتوفرة واستخداماتهاPECVDبالبالزما المحثوثالتوضيع الكيميائي في الطور الغازي ۱.MWPA-PLD المكرويةالتوضيع بالليزر النبضي المعزز بالبالزما ۲.E-Gunالتوضيع بالمدفع اإللكتروني ۳.DC/RF المغنترونية بالرشرشةالتوضيع ٤. Magnetron SputteringArc Dischargeالقوس الكهربائي بانفراغالتوضيع ٥.Thermal Depositionالتوضيع الحراري ٦.Chemical Dip Coatingالتوضيع بالتغطيس الكيميائي ۷.Chemical Spray Coatingالتوضيع بالرش الكيميائي ۸.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٥٦

۲۰۱۸نيسان ۷ ٥۷

.نتريدات -أكاسيد رقيقة توضيع أغشية •

-غازية محساتبهدف تصنيع •.مغناطيسية

Chemical Spray Coating

تقنيات التحضير المتوفرة واستخداماتهاPECVDبالبالزما المحثوثالتوضيع الكيميائي في الطور الغازي ۱.MWPA-PLD المكرويةالتوضيع بالليزر النبضي المعزز بالبالزما ۲.E-Gunالتوضيع بالمدفع اإللكتروني ۳.DC/RF المغنترونية بالرشرشةالتوضيع ٤. Magnetron SputteringArc Dischargeالقوس الكهربائي بانفراغالتوضيع ٥.Thermal Depositionالتوضيع الحراري ٦.Chemical Dip Coatingالتوضيع بالتغطيس الكيميائي ۷.Chemical Spray Coatingالتوضيع بالرش الكيميائي ۸.Planetary Ball Mill الكواكبيةمطحنة الكرات ۹.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٥۸

۲۰۱۸نيسان ۷ ٥۹

Planetary Ball Mill

تحضير مساحيق مواد نانوية •تعديل في خواص المواد بتحويلها لمواد نانوية•

تقنيات التوصيف المتوفرة SEMالمجهر االلكتروني الماسح ۱.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٦۰

تقنيات التوصيف المتوفرة SEMالمجهر االلكتروني الماسح ۱.TEMالمجهر االلكتروني النافذ ۲.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٦۱

۲۰۱۸نيسان ۷ ٦۲

TEM

تقنيات التوصيف المتوفرة SEMالمجهر االلكتروني الماسح ۱.TEMالمجهر االلكتروني النافذ ۲.AFMمجهر القوى الذرية ۳.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٦۳

۲۰۱۸نيسان ۷ ٦٤

AFM

تقنيات التوصيف المتوفرة SEMالمجهر االلكتروني الماسح ۱.TEMالمجهر االلكتروني النافذ ۲.AFMمجهر القوى الذرية ۳.XRDتقنية انعراج األشعة السينية ٤.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٦٥

۲۰۱۸نيسان ۷ ٦٦

XRD

تقنيات التوصيف المتوفرة SEMالمجهر االلكتروني الماسح ۱.TEMالمجهر االلكتروني النافذ ۲.AFMمجهر القوى الذرية ۳.XRDتقنية انعراج األشعة السينية ٤.XPSباألشعة السينية المحثوثةمطيافية االلكترونات الضوئية ٥.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٦۷

۲۰۱۸نيسان ۷ ٦۸

XPS

تقنيات التوصيف المتوفرة SEMالمجهر االلكتروني الماسح ۱.TEMالمجهر االلكتروني النافذ ۲.AFMمجهر القوى الذرية ۳.XRDتقنية انعراج األشعة السينية ٤.XPSباألشعة السينية المحثوثةمطيافية االلكترونات الضوئية ٥.RHEEDتقنية انعراج االلكترونات عالية الطاقة المنعكسة ٦.

۲۰۱۸نيسان ۷ ٦۹

ReflectionHigh-Energy Electron Diffraction (RHEED)

۲۰۱۸نيسان ۷ ۷۰

تقنيات التوصيف المتوفرة SEMالمجهر االلكتروني الماسح ۱.TEMالمجهر االلكتروني النافذ ۲.AFMمجهر القوى الذرية ۳.XRDتقنية انعراج األشعة السينية ٤.XPSباألشعة السينية المحثوثةمطيافية االلكترونات الضوئية ٥.RHEEDتقنية انعراج االلكترونات عالية الطاقة المنعكسة ٦.Raman Spectroscopyمطيافية رامان ۷.

۲۰۱۸نيسان ۷ ۷۱

Raman Spectroscopy

۲۰۱۸نيسان ۷ ۷۲

تقنيات التوصيف المتوفرة SEMالمجهر االلكتروني الماسح ۱.TEMالمجهر االلكتروني النافذ ۲.AFMمجهر القوى الذرية ۳.XRDتقنية انعراج األشعة السينية ٤.XPSباألشعة السينية المحثوثةمطيافية االلكترونات الضوئية ٥.RHEEDتقنية انعراج االلكترونات عالية الطاقة المنعكسة ٦.Raman Spectroscopyمطيافية رامان ۷.Liquid Dropتقنية القطرة السائلة ۸.

۲۰۱۸نيسان ۷ ۷۳

Liquid Drop

۲۰۱۸نيسان ۷ ۷٤

تقنيات التوصيف المتوفرة SEMالمجهر االلكتروني الماسح ۱.TEMالمجهر االلكتروني النافذ ۲.AFMمجهر القوى الذرية ۳.XRDتقنية انعراج األشعة السينية ٤.XPSباألشعة السينية المحثوثةمطيافية االلكترونات الضوئية ٥.RHEEDتقنية انعراج االلكترونات عالية الطاقة المنعكسة ٦.Raman Spectroscopyمطيافية رامان ۷.Liquid Dropتقنية القطرة السائلة ۸.Photoluminescenceالتألق الضوئي مطيافية ۹.

۲۰۱۸نيسان ۷ ۷٥

Photoluminescence Spectroscopy PL

۲۰۱۸نيسان ۷ ۷٦

تقنيات التوصيف المتوفرة SEMالمجهر االلكتروني الماسح ۱.TEMالمجهر االلكتروني النافذ ۲.AFMمجهر القوى الذرية ۳.XRDتقنية انعراج األشعة السينية ٤.XPSباألشعة السينية المحثوثةمطيافية االلكترونات الضوئية ٥.RHEEDتقنية انعراج االلكترونات عالية الطاقة المنعكسة ٦.Raman Spectroscopyمطيافية رامان ۷.Liquid Dropتقنية القطرة السائلة ۸.Photoluminescenceالتألق الضوئي مطيافية ۹.۲۰۱۸نيسان PIXE۷بالجسيمات المحثوثةالسينية األشعة مطيافية ۹. ۷۷

اإلشابة بتقنية الزرع األيوني

الذريةبهيئة الطاقة المسرع األيوني

حجرة قياس اإلشابة كثافة

PIXE

Particle induced x-ray emission (PIXE)

PIXEالتوصيف بواسطة تقنية

۲۰۱۸نيسان ۷ ۷۸

۲۰۱۸نيسان ۷ ۷۹

النتائج واألبحاث المنشورة

كان عدد المقاالت المنشورة من هيئة الطاقة الذرية في ۲۰۱۷ببداية العام في االختصاصات المختلفة من الفيزياء، البنى النانوية، علم و فقطمجال النانو

وفي مجالت عالمية مرموقة ... المواد، الكيمياء، التقانة الحيوية، التكنولوجيا باإلضافة للعديد من براءات االختراع . ورقة علمية ۸۰ومحكمة أكثر من

محساتالمسجلة واألعمال التقنية المبتكرة من تصنيع منظومات توضيع إلى .وكواشف غازية وكيماوية وكواشف أشعة ومنظومات توصيف متعددة المهام

۲۰۱۸نيسان ۷ ۸۰

()أهداف وطموحات خالصة و تقنية النانو هي المجال العلمي األهم للمستقبل والتي تؤثر في

....تصميم وتصنيع أغلب المنتجات البشرية الحديثة

المتناهية الصغر دورا تقنية الفي مجال المستمر السريع ويلعب التطور أساسيا في كافة المجاالت والحقول العلمية الشاملة

ومن هنا أتت الحاجة التباع نهج شامل متعدد التخصصات للحصول على نتائج خالقة ذات طابع ابتكاري للنهوض بالتقنية من أجل عمل المخترعات وإيجاد

بتحويل دراسات اليوم إلى بلدالالحلول للتحديات الحالية التي ستغير مستقبل .واقع تنموي في الغد

۲۰۱۸نيسان ۷ ۸۱

وشكرا إلصغائكم

ﺔﻳﻭﻧﺎﻧﻟﺍ ﺩﺍﻭﻣﻠﻟ ﻑﻳﺻﻭﺗﻟﺍﻭ ﺱﺎﻳﻘﻟﺍ...

Documents