気体用マスフローメータ cmsシリー …1 気体用マスフローメータ...

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気体用マスフローメータCMSシリーズ（SUS，SUS316モデル）

気体用マスフローメータCMSシリーズは，検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「μF（マイクロフロー）センサ」を使用した，質量流量センサです。マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により，従来にない高精度，広い計測範囲を低価格で実現しました。また，使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量センサです。

特　長○ シリコンマイクロマシニング技術，薄膜成形技術を駆使した「μF（マイクロフロー）センサ」を採用。1辺わずか1.7mm，厚み0.5mmの高感度・高速応答の熱式流速センサです。

○ 質量流量計なので，温度・圧力の影響を受けません。○ ±3％RDの高精度，100 : 1のハイレンジアビリティを実現しました。

○ 別売のマルチチャンネル表示器（CMW100A）と組み合わせて遠隔表示を可能にしました。

○ アナログ出力機能をはじめ積算・逆積算表示機能，イベント出力機能，積算パルス出力，積算リセット入力機能，出力スケーリング機能，ガス種類切替機能，ガス種類設定機能などを標準装備。幅広いアプリケーションに対応します。

No. CP－SS－1809

仕　様項目

対応ガス種類

空気流量レンジ　注1 )

各ガス種毎の

最大計測流量

20℃, 1atm換算

注２）

計測精度

20℃，1atmにて

（xは計測流量）注5）

温度特性

0 ～ 5 0 ℃にて

圧力特性

空気／窒素

アルゴン

炭酸ガス

酸　　素注3)

都市ガス13A 注4)

メタン

プロパン

ブタン

使用圧力

0 ～1 . 0 M P a

使用圧力 (負圧)

－0.07～0MPa

内　容

CMS9500 CMS0002 CMS0005 CMS0020 CMS0050 CMS0200 CMS0500

空気，窒素，酸素（酸素形番のみ対応），アルゴン，炭酸ガス，都市ガス13A（LNGベース），メタン(100%)，　

プロパン(100%)，ブタン(100%)　ただし，腐食成分（塩素，硫黄，酸など）を含まない乾燥気体であること。

また，ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること

0～500 0～2 0～5 0～20 0～50 0～200 0～500

mL/min(standard) L/min(standard) L/min(standard) L/min(standard) L/min(standard) L/min(standard) L/min(standard)

standard とは，20℃・1atmの流量に換算した値です。

500 mL/min 2 L/min 5 L/min 20 L/min 50 L/min 200 L/min 500 L/min


250 mL/min 1 L/min 3.3 L/min 10 L/min 25 L/min 100 L/min 250 L/min


400 mL/min 1.5 L/min 4.5L/min 15 L/min 40 L/min 150 L/min 400 L/min


140 mL/min 0.5 L/min 1.7 L/min 5 L/min 14 L/min 50 L/min 140 L/min

100 mL/min 0.4 L/min 1.25 L/min 5 L/min 12 L/min 50 L/min 120 L/min

5≦x＜100mL/min 0.02≦x＜0.4L/min 0.05≦x＜1L/min 0.2≦x＜2L/min 0.5≦x＜5L/min 2≦x＜20L/min 5≦x＜50L/min

±1%FS±1digit ±1%FS±1digit ±1%FS±1digit ±1%FS±1digit ±1%FS±1digit ±1%FS±1digit ±1%FS±1digit

100≦x≦500mL/min 0.4≦x≦2L/min 1≦x≦5L/min 2≦x≦20L/min 5≦x≦50L/min 20≦x≦200L/min 50≦x≦500L/min

±3%RD±1digit ±3%RD±1digit ±3%RD±1digit ±3%RD±1digit ±3%RD±1digit ±3%RD±1digit ±3%RD±1digit

流量レンジの0～75% 　±0.10%FS/℃ ±1digit　以下

流量レンジの75～100% 　±0.15%FS/℃ ±1digit　以下

±0.1%FS/0.1MPa ±0.25%FS/0.1MPa ±0.2%FS/0.1MPa ±0.1%FS/0.1MPa ±0.2%FS/0.1MPa

±1digit 以下 ±1digit 以下 ±1digit 以下 ±1digit 以下 ±1digit 以下

±0.2%FS/0.01MPa

±1digit 以下

2

項目

使用温度範囲

保存温度範囲

使用湿度範囲

使用圧力範囲

耐圧

接続口径，接続規格

本体材質

Ｏリング材質

ケース材質

取り付け姿勢

定格電圧

電源電圧範囲

消費電流

サンプリング周期

表示部

出力信号（瞬時流量出力）

出力スケーリング機能　注６）

イベント出力

外部接点入力

シリアルデータ出力

ガス種切り替え機能

ガス種類設定機能

電気接続

適合規格

質量

流量表示

最小表示値

表示分解能

表示単位

表示範囲

データ記憶

状態表示

瞬時

流量

積算

流量

点数

出力定格

イベント機能内容

点数

入力仕様

注1) 空気で使用した場合の流量レンジです。本製品はガス種切り替え機能を装備していますので、本体キー操作により各ガス種に切り替えることができます。また、スケーリング変更機能を装備していますので、本体キーにより0～5V出力のスケーリングの変更も可能です。

注2) これ以外のガス種についても、ガス種補正係数機能により対応できるものがございます。詳細は当社までお問い合わせください。

注3) 酸素については、酸素形番 CMS□□□□B□□S□□□1□□のみの対応です。注4) 都市ガス13AとはLNGから生成されたメタンCH4が88%含まれるガスを基準としております。

13Aでもガス組成が異なる場合、当社までお問い合わせください。注5) 調整時の周囲温度は25℃です。注6) 電圧出力０～5Vのスケーリングを本体キー操作により変更できます。

ガス種を切り替えた場合、流量計測範囲は表中「各ガス種毎の最大計測流量」のように変化しますが本機能はガス種切り替えに関わらず、設定されたスケーリングで出力します。例：CMS0050においてガス種「炭酸ガス」に設定した場合　　流量計測範囲　0～25L/minとなります。　　スケーリングを0～30L/minに設定しますと、右図のように0～5Vで出力されます。

炭酸ガスの�計測範囲�

25 30表示流量�

5.0

4.16

電圧出力(V)

内　容

CMS9500 CMS0002 CMS0005 CMS0020 CMS0050 CMS0200 CMS0500

0～50℃

－20～70℃

10～90%RH（ただし，結露なきこと）

－0.07～1.0MPa未満

1.5MPa

SUSモデル：Rc1/4 SUSモデル：Rc1/2

SUS316モデル：9/16-18 UNF , Rc 1/4, 1/4 Swagelok, 1/4VCR　形番により選択可能 SUS316モデル : 3/4-16 UNF , Rc 1/2,

1/2 Swagelok， 3/8VCR相当品

形番により選択可能

SUSモデル：SUS303およびSUS316　SUS316モデル：SUS316

フッ素ゴム

ポリカーボネイト

水平取り付け（ただし本体上面が下向きにならないこと），流れ方向　左→右，垂直配管の場合，流量ゼロ時にドリフト

する場合があります。詳しくは当社までお問い合わせください。

DC　12～24V

DC　10.8～26.4V

100mA以下

100ms±10ms

7セグメントLED4桁/瞬時流量・積算流量の切り替え表示

1mL/min 0.01 L/min 注7) 0.1 L/min 注8) 1 L/min 注9)

1mL/min 0.01 L/min 注7) 0.1 L/min 注8) 1 L/min 注9)

10mL 1L 1L 10L

0～99999999

10分毎にメモリに書き込み（積算値は本体キー，または外部接点入力によりリセット可能）

瞬時流量表示LED/積算流量表示LED/イベント表示LED

DC　0～5V（許容負荷抵抗　10kΩ以上）レンジオーバーしても5.7V以上は出力しません。

0～100, 0～200, 0～ 0～0.2, 0～0.5, 0～1 ,0～2, 0～ 0～2, 0～5, 0～ 0～10, 0～20, 0～ 0～20, 0～50, 0～ 0～100, 0～200, 0～

300, 0～500mL/min 0～1, 0～2L/min 3, 0～5L/min 10, 0～20L/min 30,0～50L/min 100, 0～200L/min 300, 0～500L/min

から選択可能から選択可能から選択可能から選択可能から選択可能から選択可能から選択可能

出荷時設定：出荷時設定：出荷時設定：出荷時設定：出荷時設定：出荷時設定：出荷時設定：

0～500mL/min 0～2L/min 0～5L/min 0～20L/min 0～50L/min 0～200L/min 0～500L/min

2点

オープンコレクタ（定格　DC30V，50mA）

詳細は，別表　1, 2, 3, 4　ご参照ください。

瞬時流量上限/下限，積算カウントアップ，逆積算カウントダウン，積算パルス出力 (イベント2のみ)，流量データ

シリアル出力（イベント１）より選択可能

1点（積算カウントリセット専用入力）

相手側回路形式：無電圧接点，またはオープンコレクタ

接点オフ時端子電圧：4.5V±1V

接点オン時端子電流：約0.5mA（接点に流れる電流）

許容オン接点抵抗：250Ω

許容オフ接点抵抗：100kΩ以上　

許容オン残留電圧：0.8V以下（相手側オープンコレクタ時）

許容オフ漏れ電流：50μA以下（相手側オープンコレクタ時）

オープンコレクタ（定格　DC30V，50mA）

空気/窒素，アルゴン，炭酸ガス，酸素，都市ガス13A (LNGベース)，メタン100%，プロパン100%，ブタン

本体キー操作により変更可能

ガス種類補正係数　0.10～8.00の範囲で本体キー操作により設定可能

専用コネクタ付きハーネス（別売部品），適合コネクタ：ヒロセ電機（株）製　DF-11-10DS-2C

CEマーキング適合製品　EN61326-1:1997　A1：1998

約800ｇ約1400g 約2000g

3

ガス種ごとの最大計測流量と出力電圧表（電圧は最大計測流量時の出力を表します）・・・・・・・出力スケーリングが工場出荷時設定の場合です。

CMS9500 CMS0002

ガス種類最大計測流量出力電圧補正係数最大計測流量出力電圧補正係数

[mL/min] [V] [L/min] [V]

N（空気・窒素） 500 5 1.0 2 5 1.0

A（アルゴン） 500 5 1.045 2 5 1.045

C（炭酸ガス CO2） 250 2.5 0.522 1 2.5 0.549

S（酸素）　　 ※ 3 500 5 1.0 2 5 1.0

G（都市ガス13A） 400 4 0.822 1.5 3.75 0.814

M（メタン） 500 5 0.99 2 5 0.977

L（プロパン） 140 1.4 0.284 0.5 1.25 0.284

B（ブタン） 100 1 0.195 0.4 1 0.198

ユーザー設定 ※ 1 5 ※ 2 ※ 1 5 ※ 2

CMS0050 CMS0200

ガス種類最大計測流量出力電圧補正係数

最大計測流量出力電圧補正係数

[L/min] [V] [L/min] [V]

N（空気・窒素） 50 5 1.0 200 5 1.0

A（アルゴン） 50 5 1.0 200 5 1.0

C（炭酸ガス CO2） 25 2.5 0.555 100 2.5 0.555

S（酸素）　　 ※ 3 50 5 1.0 200 5 1.0

G（都市ガス13A） 40 4 0.828 150 3.75 0.828

M（メタン） 50 5 1.0 200 5 1.0

L（プロパン） 14 1.4 0.28 50 1.25 0.28

B（ブタン） 12 1.2 0.255 50 1.25 0.255

ユーザー設定 ※ 1 5 ※ 2 ※ 1 5 ※ 2

注7）CMS0002はガス種類補正係数を0.10～0.49に設定した場合には，0.005L／min (standard) となります。



CMS0500


[L/min] [V]

N（空気・窒素） 500 5 1.0

A（アルゴン） 500 5 1.0

C（炭酸ガス CO2） 250 2.5 0.555

S（酸素）　　 ※ 3 500 5 1.0

G（都市ガス13A） 400 4 0.828

M（メタン） 500 5 1.0

L（プロパン） 140 1.4 0.28

B（ブタン） 120 1.2 0.255

ユーザー設定 ※ 1 5 ※ 2

CMS0005 CMS0020


最大計測流量出力電圧補正係数

[L/min] [V] [L/min] [V]

N（空気・窒素） 5 5 1.0 20 5 1.0

A（アルゴン） 5 5 1.182 20 5 1.0

C（炭酸ガス CO2） 3.3 3.3 0.668 10 2.5 0.555

S（酸素）　　 ※ 3 5 5 1.0 20 5 1.0

G（都市ガス13A） 4.5 4.5 0.783 15 3.75 0.828

M（メタン） 5 5 0.925 20 5 1.0

L（プロパン） 1.7 1.7 0.343 5 1.25 0.28

B（ブタン） 1.25 1.25 0.25 5 1.25 0.255

ユーザー設定 ※ 1 5 ※ 2 ※ 1 5 ※ 2

※ 1：ユーザー設定の最大計測流量は次のようになります。

CMS9500 500 ×ガス種類補正係数







ただし，7セグメント表示が2560より大きい値の表示はできません。

（機種により小数点位置が変わります）

※ 2：ガス種類補正係数はユーザーにて設定可能（0.10～8.00）

※ ３：酸素形番のみの対応です。

4

別表-3　 CMS0020/0050

別表-4　 CMS0200/0500

別表-1　 CMS9500

別表-2　 CMS0002/0005

イベント機能イベント番号機　能設定範囲動作隙間オンディレイイベント待機

EV1 (イベント1) 瞬時流量上限最大流量レンジ 0～100mL/min (standard) 0～60s可変－起動時に流量が下限値

瞬時流量下限に対応可変 ○ を上回るまでイベント

瞬時流量カウントアップ 0～99999999×10－－－

動作を停止する機能

逆積算流量カウントダウン mL

流量データシリアル出力　　　－　　　　　－　　　－－

EV2 (イベント2) 瞬時流量上限最大流量レンジ 0～100mL/min (standard) 0～60s可変－

瞬時流量下限に対応可変 ○

瞬時流量カウントアップ0～99999999L －－－

逆積算流量カウントダウン

積算パルス出力 10mL/パルス積算パルス出力仕様：

積算パルス出力 100mL/パルス　パルス幅　100ms±10％

積算パルス出力 1000mL/パルス　パルスウエイト　10mL，100mL，1000mL/パルス（キー操作で変更可能）

イベント番号機　能設定範囲動作隙間オンディレイイベント待機

EV1 (イベント1) 瞬時流量上限最大流量レンジ 0.0～10.0L/min (standard) 0～60s可変－起動時に流量が下限値






EV2 (イベント2) 瞬時流量上限最大流量レンジ 0.0～10.0L/min (standard) 0～60s可変－




積算パルス出力 1L/パルス積算パルス出力仕様：

積算パルス出力 10L/パルス　パルス幅　100ms±10％

積算パルス出力 100L/パルス　パルスウエイト　1，10，100L/パルス（キー操作で変更可能）

イベント機能

EV2 (イベント2) 瞬時流量上限最大流量レンジ 0～100L/min (standard) 0～60s可変－


瞬時流量カウントアップ 0～99999999 ×－－－－

逆積算流量カウントダウン 10L




起動時に流量が下限値を上回るまでイベント動作を停止する機能

イベント番号機能設定範囲動作隙間オンディレイイベント待機

EV1 (イベント1) 瞬時流量上限最大流量レンジ 0～100L/min (standard) 0～60s可変－起動時に流量が下限値


瞬時流量カウントアップ 0～99999999 × 動作を停止する機能

逆積算流量カウントダウン 10L 　　　　　－　　　－－


イベント機能

イベント番号機　能設定範囲動作隙間オンディレイイベント待機

EV1 (イベント1) 瞬時流量上限最大流量レンジ 0.00～1.00mL/min 0～60s可変－起動時に流量が下限値

瞬時流量下限に対応 (standard)可変 ○ を上回るまでイベント





EV2 (イベント2) 瞬時流量上限最大流量レンジ 0.00～1.00mL/min 0～60s可変－

瞬時流量下限に対応 (standard)可変 ○






イベント機能

5

形番構成

● SUSモデル I II III IV V VI VII VIII IX X XI XII 例：CMS9500BSRN000000

I II III IV V VI VII VIII IX X XI XII内　　　　　　　容

基本形番流量レンジ機種材質接続ガス種出力付加1 付加2 付加3 付加4 付番

CMS 気体用マスフローメータ

9500 空気流量レンジ0～500mL/min(standard) *1 *3

0002 空気流量レンジ0～2L/min(standard) *1 *3




0200 空気流量レンジ0～200L/min(standard)　　 *1 *3

0500 空気流量レンジ0～500L／min (standard)　　 *1 *3

B 表示付き，流れ方向　左→右

S ステンレスSUS303およびSUS316

RRc接続（短面間） CMS9500/0002/0005/0020/0050：1/4Rc

CMS0200/0500：1/2Rc

N 空気／窒素（標準対応ガスに設定変更が可能　 *3）

S 酸素 *2

0 出力：DC 0～5V

0 付加機能無し



1 接ガス部に禁油処理


D 検査成績書付き

Y トレーサビリティ証明対応

0 製品バージョン

● SUS316モデル I II III IV V VI VII VIII IX X XI XII 例：CMS9500BTTN000000

I II III IV V VI VII VIII IX X XI XII内　　　　　　　容

基本形番流量レンジ機種材質接続ガス種出力付加1 付加2 付加3 付加4 付番

CMS 気体用マスフローメータ

9500 空気流量レンジ0～500mL/min(standard) *1 *3





0200 空気流量レンジ0～200L/min(standard)　　 *1 *3

0500 空気流量レンジ0～500L／min (standard)　　 *1 *3

B 表示付き，流れ方向　左→右

T ステンレスSUS316

UUNF接続　 CMS9500/0002/0005/0020/0050：9/16-18 UNF

CMS0200/0500：3/4-16 UNF

TRc継ぎ手接続　 CMS9500/0002/0005/0020/0050：1/4Rc

CMS0200/0500：1/2Rc

SSwl接続　 CMS9500/0002/0005/0020/0050：1/4Swagelok

CMS0200/0500：1/2Swagelok

VVCR接続　 CMS9500/0002/0005/0020/0050：1/4VCR

CMS0200/0500：3/8VCR

N 空気／窒素（標準対応ガスに設定変更が可能　 *3）

S 酸素 *2

0 出力：DC 0～5V



0 禁油処理無し

1 接ガス部に禁油処理


D 検査成績書付き

Y トレーサビリティ証明対応

0 製品バージョン

*１ standardとは，20℃，1atmに換算した流量を表します。*２酸素（ガス種：Ｓ）をご使用の場合，付加３「１:接ガス部に禁油処

理」を必ず選択して下さい。酸素形番以外で酸素はご使用になれませんのでご注意ください。

*３工場出荷時には空気/窒素に設定されています。本体キーにより以下のガス種類に変更が可能です。ガス種類を変更しますと流量レンジが変わる場合がありますので選定の際には，各機種の仕様「各ガス種毎の最大計測流量」をご覧下さい。対応ガス種類：空気/窒素，アルゴン，炭酸ガス，都市ガス13A (LNG

から生成されたメタン88%のガス)，メタン100%，プロパン100%，ブタン100%

その他のガスにつきましては，当社までお問い合わせ下さい。* 専用コネクタ付きハーネス　CMS1台に1つ必要です。あわせてご用命ください。　　ハーネス長2m：81446594-005　　ハーネス長5m：81446594-006

6

接　続● コネクタ信号表

● 接続例

● シリアルデータ出力を使用する場合

・接続例

・通信プロトコル表示している瞬時流量データ，積算流量データをアスキーコードにて送信します。瞬時，積算の順で送信し，瞬時流量データの前には "F"，積算流量データの前には "T"を送信します。　例：瞬時流量100L/min(standard)，積算流量100×10Lの　　　場合

項　目内　容

通信方式 RS-232C準拠　調歩同期式

伝送速度 2400bps

キャラクタ長 8ビット

ストップビット 1ビット

パリティなし

データ送信周期 100± 10ms

1 DC OUT＋　茶�

瞬時流量出力�0～5V2 DC OUT－　赤�

3 V＋　橙�

DC12～24V4 GND　黄�

5

6

7 積算カウントリセット入力　緑�

8 EV2　　灰� 負荷�

外部に設置�

9 EV1　　白� 負荷�

10 EV COM　黒�

イベント出力の定格はDC30V、50mAです�

外部接続例�内部回路�

9 EV110kΩ� 232Cドライブ�

RXD

＋5V

10 EV COM

CMS

GND

RTS

CTS

コンピュータ�RS-232Cポート�

インタフェース�

ピン番号信号名内　容備　考

1 DC OUT＋瞬時流量出力＋

2 DC OUT－瞬時流量出力－

3 V＋電源＋(DC12～ 24V)

4 GND 電源GND

5 　　マルチチャンネル表示器接続用マルチチャンネル表示器を使用するときだけ接続してください

6 　　

7 DI 積算カウントリセット入力

8 EV2 イベント2出力/積算パルス出力

9 EV1 イベント1出力/シリアルデータ出力

10 EV COM イベント出力コモン

・通信仕様

" Ｆ０１００ . Ｔ０００００１００. " ＣＲＬＦ�

0Ah0Dh100×10L積算流量�

瞬時流量�

100 L/min(standard)

7

● SUSモデル・CMS9500/0002/0005/0020/0050

外形寸法図（単位：mm）

■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■

TOKYO JAPAN

DISP MODE ENT ▲� ▼�

L/min

×1L

EV1

EV2

Massflow CMSMicro Flow

9137

接続ねじ 2-RC1/4

69.1

32

17

(48.7)

本体固定ねじ�2-M4ねじ深さ5

(21.5) 48±0.3

(7.5)

15±0.3

CMS9500は�mL/min�×10mL

・CMS0200

■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■

TOKYO JAPAN

DISP MODE ENT ▲�▼�

L/min

×10L

EV1

EV2

Massflow CMS

98.650

2-Rc1/2

82

4523

48±0.325.3

27±0.3 13.5

4-M4深さ6

・CMS0500

×10L

L/min

EV2

EV1

ENTMODEDISP

Massflow CMS

9.3 80±0.3

30±0.3

15

4-M5,ねじ深さ8�本体固定ねじ�

29.5

59

(76)

6098.6

16.4 16.4

96.1

2-Rc1/2

88

（単位：mm）● SUS316モデル・CMS9500/0002/0005/0020/0050

9/16-18UNF接続タイプ（標準）�91

15.7 15.7

69.1

本体固定ねじ�2-M4, ねじ深さ5

21.5 48±0.3

7.5 15

±0.3

32

MADE IN JAPAN

2-Rc1/4継手�

Rc1/4 接続タイプ（オプション）�

23.523.5

(138)

HEX21

MADE IN JAPAN

(142.4)

2-1/4Swagelok�<Swagelok社製 SS-400-1-6STSC11>

適用パイプ：外径 1/4� 材質 SUS316

(25.7) (25.7)

HEX9/16

1/4Swagelok 接続タイプ（オプション）�

MADE IN JAPAN

2-1/4VCR継手�<Swagelok社製 SS-4-VCR-1-000325SC11>

材質 SUS316(138.8)

(23.9) (23.9)

1/4VCR 接続タイプ（オプション）�

MADE IN JAPAN

DISP MODE ENT

×1L

L/min EV1

EV2

Massflow CMSMicro FlowMicro Flow

37

2-9/16-18UNF

17

(48.7)

CMS9500は�mL/min�×10mL

9

（単位：mm）・CMS0200（SUS316モデル）

3/4-16UNF接続タイプ（標準）� 98.618.7 18.7

82.1

DISP MODE ENT

L/min

×10L

EV1

EV2

Massflow CMSMicro FlowMicro Flow

2-Rc1/2継手�

Rc1/2 接続タイプ（オプション）�

2525(148.6)

HEX26

MADE IN JAPAN

MADE IN JAPAN

(160)

2-1/2Swagelok�<Swagelok社製 SS-810-1-8STSC11>適用パイプ：外径 1/2� 材質 SUS316

(30.7) (30.7)

HEX7/8

1/2Swagelok 接続タイプ（オプション）�

MADE IN JAPAN

4-M4, ねじ深さ6�本体固定ねじ��

25.3 48±0.3

13.5 27±0.3

2-3/4-16UNF

(62)

50

23.2

45

(161.6)

2-3/8-VCR継手�<Swagelok社製 SS-8-VCR-1-8STSC11または相当品> 材質 SUS316

(31.5) (31.5)

3/8VCR 接続タイプ（オプション）�

MADE IN JAPAN

10

● 取付け金具・81446628－001 (CMS9500/0002/0005/0020/0050用) ・81446721－001（CMS0200専用）

5.550

12.5

12.5

18276375

6

15 48

6 7890

4.5

A

A（2 : 1）4箇所�

6.5

4－φ4.5穴�

(R)

● 専用コネクタハーネス（接続ケーブル）

5000+250�0

2000+50�0

50+10�0

（2mの場合）�

（5mの場合）�

81446594－005（ハーネス長さ2m），8芯81446594－006（ハーネス長さ5m），8芯

（単位：mm）・CMS0500（SUS316モデル）

(25) (25)

(31.5) (31.5)

(161.6)

HEX 26

(160)

(30.7) (30.7)

(148.6)

98.6

16.416.4

96.1

29.5

59

(76)

60

9.3 80±0.3

30±0.3

15

HEX7/8

　　　　　　材質　SUS316適用パイプ：外径　1/2

SS-810-1-8STSC112-1/2Swagelok社製継手�

1/2Swagelok接続タイプ�

Rc1/2接続タイプ�

2-Rc1/2継手�

3/4-16UNF接続タイプ(標準)

本体固定ねじ�

4-M5, ねじ深さ8

×10L

L/min

EV2

EV1

ENTMODEDISP

Massflow CMS

Yamatake CorporationMADE IN JAPAN

3/8VCR接続タイプ�

SS-8-VCR-1-8STSC11 または相当品�2-3/8-VCR　Swagelok社製継手�

　　　　　　�材質　SUS316




2-3/4-16UNF

取付け穴�

6848

R

5875

(58) 48 15

3.2

10

5.5

4.5(R)

2－φ4.5穴

11

・81446856－001（CMS0500専用）

6.5

5.5

A

A（2 : 1）4箇所�

92

6 80

22.5

307587

6

(R)

5715

6.5

4-φ5.5穴�

圧力損失

グラフは空気におけるデータです。空気以外のガスで算出する場合，下記の比重を乗じてください。例：機種CMS9500，一次圧力100kPa，流量500mL/min時、アルゴンにおける圧力損失を求める。

CMS9500のグラフより、一次圧力100kPa、流量500mL/min時の圧力損失は約4.3Paとなります。これにアルゴン比重1.38で乗じますと4.3×1.38 = 5.934Paとなります。

0.5kPa�100kPa�300kPa�500kPa�700kPa

0.0

1.0

2.0

3.0

4.0

5.0

6.0

7.0

8.0

9.0

0 100 200 300 400 500 600流量 [mL/min]

圧力損失 [Pa] 0.5kPa�

100kPa�300kPa�500kPa�700kPa

50.0

45.0

40.0

35.0

30.0

25.0

20.0

15.0

10.0

5.0

0.00 0.5 1 1.5 2 2.5

流量 [L/min]

圧力損失 [Pa]


0.0

20.0

40.0

60.0

80.0

100.0

120.0

140.0

160.0

180.0

0 1 2 3 4 5 6流量 [L/min]

圧力損失 [Pa]


0.0

50.0

100.0

150.0

200.0

250.0

0 5 10 15 20 25流量 [L/min]

圧力損失 [Pa]

各ガスの比重（空気＝1.0とした場合）

アルゴン 1.38

炭酸ガス 1.53

酸素 1.11

都市ガス13A (LNGベース) 0.64

メタン100％ 0.56

プロパン100％ 1.56

ブタン100％ 2.08

● CMS9500の場合 ● CMS0002の場合


12

30

1kPa�100kPa�300kPa�500kPa�700kPa

0.0

800.0

700.0

600.0

500.0

400.0

300.0

200.0

100.0

0 10 20 40 50 60流量 [L/min]

圧力損失 [Pa] 1kPa�

100kPa�300kPa�500kPa�700kPa

0.0

800.0

700.0

600.0

500.0

400.0

300.0

200.0

100.0

0 50 100 150 200 250流量 [L/min]

圧力損失 [Pa]

3kPa�100kPa�300kPa�500kPa�700kPa

0

500

1000

1500

2000

2500

0 100 200 300 400 500 600流量 [L/min]

圧力損失 [Pa]


● CMS0500の場合

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アドバンスオートメーションカンパニー

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平成14（2002）年 7 月　初版発行平成15（2003）年10月　改訂 3 版

本製品は，一般機器での使用を前提に，開発・設計・製造されております。

特に，下記のような安全性が必要とされる用途に使用する場合は，フェールセーフ設計，冗長設計および定期点検の実施な

ど，システム・機器全体の安全に配慮していただいた上でご使用ください。

・人体保護を目的とした安全装置・輸送機器の直接制御（走行停止など）・航空機

・宇宙機器・原子力機器　　など

本製品の働きが直接人命にかかわる用途には使用しないでください。

注　意

（06）

気体用マスフローメータ cmsシリー …1 気体用マスフローメータ...

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